System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺及设备制造技术_技高网

一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺及设备制造技术

技术编号:40539511 阅读:4 留言:0更新日期:2024-03-05 18:54
本发明专利技术公开了一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺及设备,涉及柔性线路板加工技术领域。本发明专利技术使用过程中,柔性电路板由传送带一得到间歇输送,一方面,触发气缸一伸长并抵触位于上料位置的自锁夹紧组件的触发杆,使得活动夹块克服弹簧的弹力背离固定夹块运动,打开位于活动夹块与固定夹块相对面开设的与柔性电路板相适配的工件槽,另一方面,传送带一侧面设置的安装架通过旋转气缸驱使直角杆转动,进而通过直角杆末端的吸盘抓取柔性电路板,翻转后将柔性电路板置于导向板斜面顶端的卸料槽后解除吸盘的吸力,因柔性电路板外形大于卸料槽开口宽度,故而柔性电路板可以顺着导向板的斜面滑向活动夹块与固定夹块相对面开设的工件槽实现自动上料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及柔性线路板加工,具体一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺及设备


技术介绍

1、覆晶薄膜是将集成电路(ic)固定在柔性线路板上的晶粒软膜构装技术,集成电路(ic)固定在柔性线路板上后往往需要进行电镀作业以形成金属镀层,金属镀层可以提供电子元件的导电性能、防腐性能和耐磨性能,在半导体或电路板制造的过程中,经常会用到烘烤装置对半导体或电路板进行加热,以使得半导体或电路板表面涂覆的材料固化,以便于半导体或电路板的后续加工和使用。

2、目前电路板烘烤所采用的烘烤箱包括一主箱体,主箱体通常是内外双层钢板箱体结构,内外双层钢板之间设有热管,对烘烤箱中的空气进行加热后对电路板进行烘烤。在对电路板进行烘烤时,空气的流通循环很重要,因此需在主箱体的顶部开设进风道和排风道,从进风道进来的空气经热管加热后在烘烤室中流动,即可对放置在烘烤室中的电路板进行烘烤,经过烘烤后产生的废气会再经排风道被排出,在烘烤时为增加烘烤效率,往往将电路板放置在多层电路板放置架上,烘烤时间约为四小时,烘烤时间较长,不利于车间大规模生产和流水线生产。

3、于是,有鉴于此,针对现有的结构不足予以研究改良,提出一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺及设备。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺及设备,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺及设备,包括以下步骤:

3、s1:柔性电路板由传送带一得到间歇输送,一方面,触发气缸一伸长并抵触位于上料位置的自锁夹紧组件的触发杆,使得活动夹块克服弹簧的弹力背离固定夹块运动,打开位于活动夹块与固定夹块相对面开设的与柔性电路板相适配的工件槽,另一方面,传送带一侧面设置的安装架通过旋转气缸驱使直角杆转动,进而通过直角杆末端的吸盘抓取柔性电路板,翻转后将柔性电路板置于导向板斜面顶端的卸料槽后解除吸盘的吸力,因柔性电路板外形大于卸料槽开口宽度,故而柔性电路板可以顺着导向板的斜面滑向活动夹块与固定夹块相对面开设的工件槽实现自动上料;

4、s2:基座顶部固连的固定盘中部贯穿开设有穿孔,且固定盘有一半的体积置于烘箱内部,并且固定盘圆周下边沿开设的两处翻转槽一处位于烘箱内部,另一处位于烘箱外部,通过在基座底部开设空腔的方式为凸轮分割器提供安装空间,凸轮分割器输出端固连的轴杆贯穿穿孔并向旋转盘旋转传动,旋转盘套装于固定盘外部并且旋转盘内径大于固定盘外径,旋转盘圆周环形阵列分布有多处轴承孔,轴承孔内通过转杆转动安装有自锁夹紧组件,轴杆一端固连有为柔性电路板提供夹持的固定夹块与活动夹块,轴杆另一端固连有翻转板,翻转板后端两侧的贴合辊与固定盘圆周下边沿滑动配合,通过翻转板位于翻转槽内的翻转带动转杆滚动,进而带动自锁夹紧组件整体翻转,自锁夹紧组件位于烘箱内的翻转可以使柔性电路板两面受热,从而保证柔性电路板均匀烘烤,加速柔性电路板双面烘烤固化进程,而自锁夹紧组件位于烘箱外的翻转可以使其自动复位,从而实现对下一批次柔性电路板的连续夹持;

5、s3:烘箱正面门洞处挂装的隔热帘,将烘箱的内部环境与外部环境相隔离,减少烘烤过程中的热量流失,同时也不干涉翻转组件对柔性电路板的旋转供料,位于烘箱内部底端的电热模块发热对烘箱内部环境进行加热,门洞上方的集成温湿屏通过温度传感器监测烘箱内的温度并通过显示屏进行实时反馈,使用时,通过抽风管道将汇聚于烘箱下半部分的热量抽出,并通过鼓风机将热量吹入烘箱上半部分,进而有效提升柔性电路板的烘烤固化速率,在柔性电路板由烘箱通出的过程中,烘箱内的温度由一百三十度缓慢下降至室温,避免因温度骤降导致柔性电路板质量受损,具体来说就是将电热模块集中安置在烘箱的中部位置,使得柔性电路板在烘箱中部位置集中受热,而在通出的过程中因为距离热源间距加大从而实现温度的阶梯式调整;

6、s4:位于烘箱内翻转后的自锁夹紧组件会使柔性电路板面朝底座放置,在由烘箱内通出并行进至自动下料组件时,触发气缸二伸长并抵触位于下料位置的自锁夹紧组件的触发杆,使得柔性电路板脱离活动夹块与固定夹块的夹持,在重力作用下落入传送带二并得到自动移栽,在经过支架底端的视觉检测探头时对柔性电路板的烘烤固化效果进行检验,并对不良品进行识别排出。

7、进一步的,包括底座和烘箱,所述底座左侧中端固定安装有烘箱,且烘箱正面顶部嵌入有集成式温显屏,所述烘箱正面底部开设有门洞,且门洞开口上边沿横向排列有隔热帘,所述烘箱内部底端固定安装有电热模块,且烘箱内部侧壁连通有抽风通道,所述烘箱顶端固定安装有鼓风机,且鼓风机一端通过抽风通道与烘箱下半部分相连通,并且鼓风机另一端与烘箱上半部分相连通。

8、进一步的,所述底座右侧中端固定安装有翻转组件,所述翻转组件包括基座、固定盘、穿孔和翻转槽,所述基座顶端固定安装有固定盘,且固定盘有一半的体积置于烘箱内部,并且固定盘中部贯穿开设有穿孔,所述固定盘圆周下边沿开设有两处翻转槽,且一处翻转槽位于烘箱内部,并且另一处翻转槽位于烘箱外部。

9、进一步的,所述翻转组件还包括空腔、凸轮分割器、轴杆、旋转盘和轴承孔,所述基座中部开设有空腔,且空腔内置有凸轮分割器,所述凸轮分割器顶部输出端固定连接有轴杆,且轴杆外径小于穿孔内径,所述轴杆输出末端共轴固定有旋转盘,且旋转盘内径大于固定盘外径,并且旋转盘圆周环形阵列设置有轴承孔。

10、进一步的,所述轴承孔内部转动配合有自锁夹紧组件,所述自锁夹紧组件包括翻转板、贴合辊和转杆,所述翻转板后端两侧转动安装有两处贴合辊,且贴合辊与固定盘圆周下边沿滑动配合,所述翻转板前端中部固定连接有转杆,且转杆与轴承孔转动配合。

11、进一步的,所述自锁夹紧组件还包括基板、端板、固定夹块和活动夹块,所述转杆末端固定连接有基板,且基板顶部后端固定安装有端板,所述基板顶部前端固定安装有固定夹块,且基板顶部中端设置有活动夹块,并且活动夹块与固定夹块相对面开设有与柔性电路板相适配的工件槽。

12、进一步的,所述自锁夹紧组件还包括触发杆、导杆和弹簧,所述活动夹块前端两侧固定连接有触发杆,且活动夹块后端中部固定连接有导杆,所述导杆与端板滑动配合,且导杆中部套装有弹簧。

13、进一步的,所述底座右侧后端固定安装有自动上料组件,所述自动上料组件包括传送带一、导向板、卸料槽和触发气缸一,所述传送带一末端顶部固定安装有导向板,且导向板斜面顶端开设有卸料槽,所述传送带一末端底部固定安装有触发气缸一。

14、进一步的,所述自动上料组件还包括安装架、旋转气缸、直角杆和吸盘,所述传送带一侧面固定安装有安装架,且安装架左端固定安装有旋转气缸,所述旋转气缸输出端固定连接有直角杆,且直角杆末端底部衔接有吸盘。

15、进一步的,所述底座右侧前端固定安装有自动下料组件,所述自动下料组件包括传送带二、支架、视觉检测探头和触发气缸二,所述传送带二初始端固定安装有支架,且支架末端底部设置有视觉检测探头,并且支架本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺,其特征在于,包括以下步骤:

2.一种应用如权利要求1所述的用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺的烘烤设备,包括底座(1)和烘箱(2),所述底座(1)左侧中端固定安装有烘箱(2),且烘箱(2)正面顶部嵌入有集成式温显屏(3),所述烘箱(2)正面底部开设有门洞(4),且门洞(4)开口上边沿横向排列有隔热帘(5),所述烘箱(2)内部底端固定安装有电热模块(6),且烘箱(2)内部侧壁连通有抽风通道(7),所述烘箱(2)顶端固定安装有鼓风机(8),且鼓风机(8)一端通过抽风通道(7)与烘箱(2)下半部分相连通,并且鼓风机(8)另一端与烘箱(2)上半部分相连通。

3.根据权利要求2所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述底座(1)右侧中端固定安装有翻转组件(9),所述翻转组件(9)包括基座(901)、固定盘(902)、穿孔(903)和翻转槽(904),所述基座(901)顶端固定安装有固定盘(902),且固定盘(902)有一半的体积置于烘箱(2)内部,并且固定盘(902)中部贯穿开设有穿孔(903),所述固定盘(902)圆周下边沿开设有两处翻转槽(904),且一处翻转槽(904)位于烘箱(2)内部,并且另一处翻转槽(904)位于烘箱(2)外部。

4.根据权利要求3所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述翻转组件(9)还包括空腔(905)、凸轮分割器(906)、轴杆(907)、旋转盘(908)和轴承孔(909),所述基座(901)中部开设有空腔(905),且空腔(905)内置有凸轮分割器(906),所述凸轮分割器(906)顶部输出端固定连接有轴杆(907),且轴杆(907)外径小于穿孔(903)内径,所述轴杆(907)输出末端共轴固定有旋转盘(908),且旋转盘(908)内径大于固定盘(902)外径,并且旋转盘(908)圆周环形阵列设置有轴承孔(909)。

5.根据权利要求4所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述轴承孔(909)内部转动配合有自锁夹紧组件(10),所述自锁夹紧组件(10)包括翻转板(1001)、贴合辊(1002)和转杆(1003),所述翻转板(1001)后端两侧转动安装有两处贴合辊(1002),且贴合辊(1002)与固定盘(902)圆周下边沿滑动配合,所述翻转板(1001)前端中部固定连接有转杆(1003),且转杆(1003)与轴承孔(909)转动配合。

6.根据权利要求5所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述自锁夹紧组件(10)还包括基板(1004)、端板(1005)、固定夹块(1006)和活动夹块(1007),所述转杆(1003)末端固定连接有基板(1004),且基板(1004)顶部后端固定安装有端板(1005),所述基板(1004)顶部前端固定安装有固定夹块(1006),且基板(1004)顶部中端设置有活动夹块(1007),并且活动夹块(1007)与固定夹块(1006)相对面开设有与柔性电路板相适配的工件槽。

7.根据权利要求6所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述自锁夹紧组件(10)还包括触发杆(1008)、导杆(1009)和弹簧(1010),所述活动夹块(1007)前端两侧固定连接有触发杆(1008),且活动夹块(1007)后端中部固定连接有导杆(1009),所述导杆(1009)与端板(1005)滑动配合,且导杆(1009)中部套装有弹簧(1010)。

8.根据权利要求7所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述底座(1)右侧后端固定安装有自动上料组件(11),所述自动上料组件(11)包括传送带一(1101)、导向板(1102)、卸料槽(1103)和触发气缸一(1104),所述传送带一(1101)末端顶部固定安装有导向板(1102),且导向板(1102)斜面顶端开设有卸料槽(1103),所述传送带一(1101)末端底部固定安装有触发气缸一(1104)。

9.根据权利要求8所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述自动上料组件(11)还包括安装架(1105)、旋转气缸(1106)、直角杆(1107)和吸盘(1108),所述传送带一(1101)侧面固定安装有安装架(1105),且安装架(1105)左端固定安装有旋转气缸(1106),所述旋转气缸(1106)输出端固定连接有直角杆(1107),且直角杆(1107)末端底部衔接有吸盘(1108)。

10.根据权利要求9所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述底座(1)右侧前端固定安装有自动下料组件(12),所述自动下料组件(1...

【技术特征摘要】

1.一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺,其特征在于,包括以下步骤:

2.一种应用如权利要求1所述的用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺的烘烤设备,包括底座(1)和烘箱(2),所述底座(1)左侧中端固定安装有烘箱(2),且烘箱(2)正面顶部嵌入有集成式温显屏(3),所述烘箱(2)正面底部开设有门洞(4),且门洞(4)开口上边沿横向排列有隔热帘(5),所述烘箱(2)内部底端固定安装有电热模块(6),且烘箱(2)内部侧壁连通有抽风通道(7),所述烘箱(2)顶端固定安装有鼓风机(8),且鼓风机(8)一端通过抽风通道(7)与烘箱(2)下半部分相连通,并且鼓风机(8)另一端与烘箱(2)上半部分相连通。

3.根据权利要求2所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述底座(1)右侧中端固定安装有翻转组件(9),所述翻转组件(9)包括基座(901)、固定盘(902)、穿孔(903)和翻转槽(904),所述基座(901)顶端固定安装有固定盘(902),且固定盘(902)有一半的体积置于烘箱(2)内部,并且固定盘(902)中部贯穿开设有穿孔(903),所述固定盘(902)圆周下边沿开设有两处翻转槽(904),且一处翻转槽(904)位于烘箱(2)内部,并且另一处翻转槽(904)位于烘箱(2)外部。

4.根据权利要求3所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述翻转组件(9)还包括空腔(905)、凸轮分割器(906)、轴杆(907)、旋转盘(908)和轴承孔(909),所述基座(901)中部开设有空腔(905),且空腔(905)内置有凸轮分割器(906),所述凸轮分割器(906)顶部输出端固定连接有轴杆(907),且轴杆(907)外径小于穿孔(903)内径,所述轴杆(907)输出末端共轴固定有旋转盘(908),且旋转盘(908)内径大于固定盘(902)外径,并且旋转盘(908)圆周环形阵列设置有轴承孔(909)。

5.根据权利要求4所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述轴承孔(909)内部转动配合有自锁夹紧组件(10),所述自锁夹紧组件(10)包括翻转板(1001)、贴合辊(1002)和转杆(1003),所述翻转板(1001)后端两侧转动安装有两处贴合辊(1002),且贴合辊(1002)与固定盘(902)圆周下边沿滑动配合,所述翻转板(1001)前端中部固定连接有转杆(1003),且转杆(1003)与轴承孔(909)转动配合。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:江祖平赵一辉王宏庆
申请(专利权)人:浙江晶引电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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