一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺及设备制造技术

技术编号:40539511 阅读:19 留言:0更新日期:2024-03-05 18:54
本发明专利技术公开了一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺及设备,涉及柔性线路板加工技术领域。本发明专利技术使用过程中,柔性电路板由传送带一得到间歇输送,一方面,触发气缸一伸长并抵触位于上料位置的自锁夹紧组件的触发杆,使得活动夹块克服弹簧的弹力背离固定夹块运动,打开位于活动夹块与固定夹块相对面开设的与柔性电路板相适配的工件槽,另一方面,传送带一侧面设置的安装架通过旋转气缸驱使直角杆转动,进而通过直角杆末端的吸盘抓取柔性电路板,翻转后将柔性电路板置于导向板斜面顶端的卸料槽后解除吸盘的吸力,因柔性电路板外形大于卸料槽开口宽度,故而柔性电路板可以顺着导向板的斜面滑向活动夹块与固定夹块相对面开设的工件槽实现自动上料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及柔性线路板加工,具体一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺及设备


技术介绍

1、覆晶薄膜是将集成电路(ic)固定在柔性线路板上的晶粒软膜构装技术,集成电路(ic)固定在柔性线路板上后往往需要进行电镀作业以形成金属镀层,金属镀层可以提供电子元件的导电性能、防腐性能和耐磨性能,在半导体或电路板制造的过程中,经常会用到烘烤装置对半导体或电路板进行加热,以使得半导体或电路板表面涂覆的材料固化,以便于半导体或电路板的后续加工和使用。

2、目前电路板烘烤所采用的烘烤箱包括一主箱体,主箱体通常是内外双层钢板箱体结构,内外双层钢板之间设有热管,对烘烤箱中的空气进行加热后对电路板进行烘烤。在对电路板进行烘烤时,空气的流通循环很重要,因此需在主箱体的顶部开设进风道和排风道,从进风道进来的空气经热管加热后在烘烤室中流动,即可对放置在烘烤室中的电路板进行烘烤,经过烘烤后产生的废气会再经排风道被排出,在烘烤时为增加烘烤效率,往往将电路板放置在多层电路板放置架上,烘烤时间约为四小时,烘烤时间较长,不利于车间大规模生产和流水线生产。

3、于是,有鉴于此,本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺,其特征在于,包括以下步骤:

2.一种应用如权利要求1所述的用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺的烘烤设备,包括底座(1)和烘箱(2),所述底座(1)左侧中端固定安装有烘箱(2),且烘箱(2)正面顶部嵌入有集成式温显屏(3),所述烘箱(2)正面底部开设有门洞(4),且门洞(4)开口上边沿横向排列有隔热帘(5),所述烘箱(2)内部底端固定安装有电热模块(6),且烘箱(2)内部侧壁连通有抽风通道(7),所述烘箱(2)顶端固定安装有鼓风机(8),且鼓风机(8)一端通过抽风通道(7)与烘箱(2)下半部分相连通,并且鼓风机(8)另一端与烘箱(2)上半部分相连通。...

【技术特征摘要】

1.一种用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺,其特征在于,包括以下步骤:

2.一种应用如权利要求1所述的用于覆晶薄膜制备的烘烤工艺的烘烤设备,包括底座(1)和烘箱(2),所述底座(1)左侧中端固定安装有烘箱(2),且烘箱(2)正面顶部嵌入有集成式温显屏(3),所述烘箱(2)正面底部开设有门洞(4),且门洞(4)开口上边沿横向排列有隔热帘(5),所述烘箱(2)内部底端固定安装有电热模块(6),且烘箱(2)内部侧壁连通有抽风通道(7),所述烘箱(2)顶端固定安装有鼓风机(8),且鼓风机(8)一端通过抽风通道(7)与烘箱(2)下半部分相连通,并且鼓风机(8)另一端与烘箱(2)上半部分相连通。

3.根据权利要求2所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述底座(1)右侧中端固定安装有翻转组件(9),所述翻转组件(9)包括基座(901)、固定盘(902)、穿孔(903)和翻转槽(904),所述基座(901)顶端固定安装有固定盘(902),且固定盘(902)有一半的体积置于烘箱(2)内部,并且固定盘(902)中部贯穿开设有穿孔(903),所述固定盘(902)圆周下边沿开设有两处翻转槽(904),且一处翻转槽(904)位于烘箱(2)内部,并且另一处翻转槽(904)位于烘箱(2)外部。

4.根据权利要求3所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述翻转组件(9)还包括空腔(905)、凸轮分割器(906)、轴杆(907)、旋转盘(908)和轴承孔(909),所述基座(901)中部开设有空腔(905),且空腔(905)内置有凸轮分割器(906),所述凸轮分割器(906)顶部输出端固定连接有轴杆(907),且轴杆(907)外径小于穿孔(903)内径,所述轴杆(907)输出末端共轴固定有旋转盘(908),且旋转盘(908)内径大于固定盘(902)外径,并且旋转盘(908)圆周环形阵列设置有轴承孔(909)。

5.根据权利要求4所述的一种用于覆晶薄膜制备的烘烤设备,其特征在于,所述轴承孔(909)内部转动配合有自锁夹紧组件(10),所述自锁夹紧组件(10)包括翻转板(1001)、贴合辊(1002)和转杆(1003),所述翻转板(1001)后端两侧转动安装有两处贴合辊(1002),且贴合辊(1002)与固定盘(902)圆周下边沿滑动配合,所述翻转板(1001)前端中部固定连接有转杆(1003),且转杆(1003)与轴承孔(909)转动配合。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:江祖平赵一辉王宏庆
申请(专利权)人:浙江晶引电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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