【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种扫描技术，特别涉及一种采用电控可变焦透镜作为共焦显微系统 的轴向扫描技术。
技术介绍
1957，哈佛大学的博士后M. Minsky首次提出了共焦成像的概念，目的是希望消除 普通光学显微镜在探测样品时产生的多种散射光，为此他提出一种新的成像模型_共焦成 像。在这种成像模型中引入点光源，并使之成像于被测物表面上，被测物反射的光被很小的 光强探测器(可以认为点探测器)接收。当点光源、被测物和点探测器三者共轭时，点探测 器接收到的光强最大，当被测表面偏离共轭面时，点探测器接收到的光强变小，这一性质表 明被测表面的位置是可以确定的。但是，由于当时受科技水平的限制，共焦技术在应用中一 直停止不前，无任何重大进展。直到80年代，由于微电子、光电子技术的重大发展，共焦技 术才成为研究的热点，其中Wilson和Sheppard提出了飞点剖面扫描获取全场三维深度信 息的新概念，将共焦技术应用到全场三维轮廓检测领域。在共焦三维轮廓检测领域中，轴向扫描极为重要，它直接关系到实际轴向测量精 度。现有的轴向扫描技术中绝大多数使用的是轴向位移台，高精度位移台不仅结构复杂，造...
【技术保护点】
一种采用电控变焦透镜作为共焦显微系统轴向扫描方法，其特征在于，具体包括如下步骤：１）激光器（１）发出的波长为６３３ｎｍ激光光束通过照明针孔（２）形成具有发散角的光束，再通过第一透镜（３），变为平行光束，依次通过无偏振分光棱镜（４）和电控可变焦透镜（５）聚焦在被测物（６）表面，被测物（６）反射的光经可变焦透镜（５）、分光棱镜（４）、第二透镜（８）探测针孔（１０），入射到光强探测器（１１）上，通过ＰＣ机（１２）记录光强度；２）ＰＣ机（１２）通过电压控制器（９）控制加到电控可变焦透镜（５）上的电压，从而使可变焦透镜（５）的焦距改变一个微小的值Δｆ，此时再记录探测器（１１）上的光强...
【技术特征摘要】
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