【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种面向微装配的亚微米精度同轴共焦对准检测方法与装置。该方法采用基于棱镜的同轴对准激光共聚焦检测实现目标零件和基体零件的实时共像检测，将激光共聚焦高精度检测引入微器件的高精度对准检测过程中，检测精度突破传统显微光学成像衍射极限，能够实现检测精度优于1微米。同轴对准棱镜结构的设计是保证激光共聚焦检测目标零件和基体零件相对位置误差的关键。采用等腰直角三角棱镜的两次反射实现目标零件和基体零件在激光共聚焦像平面的共像，为微器件的装配对准过程的相对位置误差的检测计算提供保证。结合高精度的基体零件夹持精确调整平台和目标零件夹持机械直线位移台，该检测系统可以实现亚微米精度的装配对准精度。【专利说明】面向微装配的亚微米精度同轴共焦对准检测方法与装置
面向微装配的亚微米精度同轴共焦对准检测方法与装置，特别涉及微小型结构的检测、几何光学对准检测光路设计，属于微检测、微操作及微器件高精度装配领域。
技术介绍
对于微器件的高精度装配而言，目标零件和基体零件在装配过程中相对位置关系的精确检测是实现微小型器件高精度装配的关键步骤之一。目标零件和基体零件对准检...
【技术保护点】
一种面向微装配的亚微米精度同轴共焦对准检测方法与装置，所述方法是基于激光共聚焦显微测量的微装配对准关键特征识别检测，对准检测精度能够突破传统光学检测的光学成像衍射极限，其对准检测精度优于1微米。通过同轴对准检测可以实现实时检测目标零件和基体零件的装配对准相对位置误差关系，其具体包括如下步骤：（1）基于同轴棱镜对准模块的多自由度微装配系统方案设计；（2）精确对准同轴棱镜模块的设计、棱镜的夹持及误差调整；（3）同轴棱镜对准模块中目标零件与基本零件的运动夹持与激光共聚焦测量模块的检测光路设计。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张之敬，叶鑫，唐永龙，金鑫，李燕，刘盼，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：北京;11
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