【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于cmp化学机械抛光，具体涉及一种新型的抛光布及其制造方法。
技术介绍
1、抛光是利用柔性抛光工具和抛光颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工，抛光的目的是使工件获得光滑的表面或得到镜面光泽，有时也用以消除光泽(即消光)，但是抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度。
2、现有技术中，公开号：cn214980359u的中国技术，公开了一种新型的高效抛光布，所述抛光布的上表面固定安装有抛光颗粒，所述抛光布的上表面开设有流液槽，所述流液槽将抛光布的上表面分成12-20组区域所述固定贯穿玻璃纤维层、绒毛层、碳纤维支撑层、海绵层、聚氨脂打底层和静电吸附层，所述抛光布的上表面贴设安装有聚氨脂抛光皮，所述聚氨脂抛光皮的下表面紧贴安装有玻璃纤维层，所述玻璃纤维层的下表面贴设安装有绒毛层，所述绒毛层的下表面紧贴安装有碳纤维支撑层，所述碳纤维支撑层的下表面加设有海绵层，所述海绵层的下部装设有聚氨脂打底层，所述聚氨脂打底层的下表面加设安装有静电吸附层，所述抛光布的两端均加设有包边结构。
3、但是传统的抛光布原料在切割成圆形时，抛光布原料的边料会造成25％的浪费，降低了抛光布原料的使用效率，从而增加了抛光布生产的成本，增加了资源浪费。
4、为此，我们提出一种新型的抛光布来解决现有技术中存在的问题，通过将抛光布原料制成抛光布圆柱，并且根据需要卷制成不同半径的抛光布圆柱，并且能够根据需要能够切割出不同厚度的抛光布。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提
2、为实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种新型的抛光布，包括抛光布本体，其特征在于：所述抛光布本体包括基层和外层，所述基层主要由尼龙纤维丝和碳纤维丝层交错缠绕制成，所述外层为尼龙纤维丝与碳纤维丝间隙中粘接的高分子覆盖层，所述抛光布本体呈圆柱筒状设置，所述抛光布本体的上表面中部开设有供收卷辊契合的圆形通孔，所述抛光布本体按任意厚度裁切后的上表面设置有刷毛层，且刷毛层为尼龙纤维丝的端口和碳纤维丝的断面。
4、一种新型的抛光布的制造方法，按质量组份计，所述高分子覆盖层包括如下原料：双苯酚1800-2200份、多聚甲醛100-150份、有机酸50-80份以及甲苯500-800份：
5、所述基层在制备时，包括如下步骤：
6、s1、将双苯酚、多聚甲醛、有机酸以及甲苯进行混合，加热到60-80℃，并在此过程中搅拌10-30分钟，此时放热激烈并停止加热，15-25分钟后温度自行上升到85-95℃，随后温度开始下降，再重新加热，使温度上升到98-99℃并保温反应4.5-5.5小时；
7、s2、加入水和碳酸氢钠，中和未反应的有机酸，在压力作用下，蒸馏温度升到110-130℃，除去水和甲苯，冷却后，加入溶剂溶解合成出的a型酚醛树脂，过滤去除杂质备用；
8、s3、将尼龙纤维丝交错缠绕在碳纤维丝上，形成纺布经纬线，从而将尼龙纤维丝和的碳纤维丝交错缠绕制成纺布经纬线纺织呈底布；
9、s4、将制备的a型酚醛树脂、环氧树脂、端氨基聚醚、磨料、消泡剂、水组成上胶处理液；
10、s5、将雾化后的上胶处理液喷洒到经预固结处理的纺织底布的一面，上胶处理液要渗透到纺织布厚度的一半以上，未固化前，将纺织布翻过来，将上胶处理液经充分雾化后喷洒到不织布的另一面，通过高拉力卷制成圆柱状，并烘干使树脂全部固化，即得到抛光布圆柱；
11、s6、将抛光布圆柱固定后通过线切割片状，从而形成抛光布，并且抛光布的切面形成刷毛层。
12、优选的，步骤s1中，所述双苯酚为3.3-乙二烯双苯酚，所述有机酸为无水乙二酸。
13、优选的，按质量组分计，所述高分子覆盖层包括如下原料：双苯酚1800份、多聚甲醛100份、有机酸50份以及甲苯500份。
14、优选的，按质量组分计，所述高分子覆盖层包括如下原料：双苯酚2200份、多聚甲醛150份、有机酸80份以及甲苯800份。
15、优选的，步骤s2中，所述水与碳酸氢钠的比例为6:1，所述水与双苯酚的比例为1:3。
16、优选的，步骤s2中，中和未反应有机酸时的压力为5mm汞柱，a型酚醛树脂合成时加入的溶剂为丙酮。
17、优选的，步骤s3中，所述尼龙纤维丝为聚酰胺纤维缠绕制成，所述碳纤维丝由缩合多环芳烃构成的石墨片层所组成。
18、优选的，步骤s4中，按质量组分计，上胶处理液的的使用组分为：1000份a型酚醛树脂、20份环氧树脂、20份端氨基聚醚、1000份磨料、2份消泡剂、1000份水。
19、优选的，步骤s5中，所述刷毛层为尼龙纤维丝和碳纤维丝交错形成的刷面结构。
20、本专利技术提出的一种新型的抛光布，与现有技术相比，具有以下优点：
21、本专利技术的新型抛光布通过采用纺织和线切割工艺，将抛光布卷制成抛光布圆柱，并根据需求线切割成不同厚度，提高了适用范围，并综合各种传统抛光布的优点，搭配不同recipe，可适用于各种产品、各种抛光工艺，抛光后产品的几何形貌和微粗糙度等表面质量良好，且制造工序简单、成本低，客制化程度高。
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1.一种新型的抛光布，包括抛光布本体(1)，其特征在于：所述抛光布本体(1)包括基层和外层，所述基层主要由尼龙纤维丝(11)和碳纤维丝(12)层交错缠绕制成，所述外层为尼龙纤维丝(11)与碳纤维丝(12)间隙中粘接的高分子覆盖层(13)，所述抛光布本体(1)呈圆柱筒状设置，所述抛光布本体(1)的上表面中部开设有供收卷辊契合的圆形通孔，所述抛光布本体(1)按任意厚度裁切后的上表面设置有刷毛层，且刷毛层为尼龙纤维丝(11)的端口和碳纤维丝(12)的断面。
2.权利要求1所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：按质量组份计，所述高分子覆盖层(13)包括如下原料：双苯酚1800-2200份、多聚甲醛100-150份、有机酸50-80份以及甲苯500-800份：
3.根据权利要求2所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：步骤S1中，所述双苯酚为3.3-乙二烯双苯酚，所述有机酸为无水乙二酸。
4.根据权利要求2所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：按质量组分计，所述高分子覆盖层(13)包括如下原料：双苯酚1800份、多聚甲醛100份、有
5.根据权利要求2所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：按质量组分计，所述高分子覆盖层(13)包括如下原料：双苯酚2200份、多聚甲醛150份、有机酸80份以及甲苯800份。
6.根据权利要求2所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：步骤S2中，所述水与碳酸氢钠的比例为6:1，所述水与双苯酚的比例为1:3。
7.根据权利要求2所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：步骤S2中，中和未反应有机酸时的压力为5mm汞柱，A型酚醛树脂合成时加入的溶剂为丙酮。
8.根据权利要求2所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：步骤S3中，所述尼龙纤维丝(11)为聚酰胺纤维缠绕制成，所述碳纤维丝(12)由缩合多环芳烃构成的石墨片层所组成。
9.根据权利要求2所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：步骤S4中，按质量组分计，上胶处理液的的使用组分为：1000份A型酚醛树脂、20份环氧树脂、20份端氨基聚醚、1000份磨料、2份消泡剂、1000份水。
10.根据权利要求2所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：步骤S5中，所述刷毛层为尼龙纤维丝(11)和碳纤维丝(12)交错形成的刷面结构。
...【技术特征摘要】
1.一种新型的抛光布，包括抛光布本体(1)，其特征在于：所述抛光布本体(1)包括基层和外层，所述基层主要由尼龙纤维丝(11)和碳纤维丝(12)层交错缠绕制成，所述外层为尼龙纤维丝(11)与碳纤维丝(12)间隙中粘接的高分子覆盖层(13)，所述抛光布本体(1)呈圆柱筒状设置，所述抛光布本体(1)的上表面中部开设有供收卷辊契合的圆形通孔，所述抛光布本体(1)按任意厚度裁切后的上表面设置有刷毛层，且刷毛层为尼龙纤维丝(11)的端口和碳纤维丝(12)的断面。
2.权利要求1所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：按质量组份计，所述高分子覆盖层(13)包括如下原料：双苯酚1800-2200份、多聚甲醛100-150份、有机酸50-80份以及甲苯500-800份：
3.根据权利要求2所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：步骤s1中，所述双苯酚为3.3-乙二烯双苯酚，所述有机酸为无水乙二酸。
4.根据权利要求2所述的一种新型的抛光布的制造方法，其特征在于：按质量组分计，所述高分子覆盖层(13)包括如下原料：双苯酚1800份、多聚甲醛100份、有机酸50份以及甲苯500份。
5.根据权利要求2所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪祖一，
申请(专利权)人：上海合晶硅材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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