多通道碳纳米管传感器及其制备方法技术

技术编号:4034725 阅读:213 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种微电子技术领域的多通道碳纳米管传感器及其制备方法,包括:基片、金属下电极、碳纳米管和金属上电极,其中:基片位于整体结构的最底端,金属下电极位于基片之上,若干根碳纳米管呈垂直分布形成阵列且两端分别与金属下电极和金属上电极相连接形成碳纳米管导电通道,金属下电极、碳纳米管导电通道和金属上电极构成若干个串联单元结构。本发明专利技术制备所得传感器能够实现上下集成,与IC集成电路兼容,可以制造阵列传感器,实现器件的多样化和集成化制造。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多通道碳纳米管传感器,包括:基片、金属下电极、碳纳米管和金属上电极,其特征在于:基片位于整体结构的最底端,金属下电极位于基片之上,若干根碳纳米管呈垂直分布形成阵列且两端分别与金属下电极和金属上电极相连接形成碳纳米管导电通道,金属下电极、碳纳米管导电通道和金属上电极构成若干个串联单元结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:丁桂甫陆闻静王艳邓敏周镇威
申请(专利权)人:上海交通大学
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1