The invention of the fixed beam direct heating type microwave signal detection instrument is composed of sensors, analog digital conversion, MCS51 MCU and LCD display four modules, sensor consists of six port beam coupler, channel selection switch, microwave frequency detector, microwave phase detector, direct cascade heated type microwave power sensor; six port clamped the first beam coupler port to the third port and fourth port to the first port and to the fifth port and sixth port power coupling degree are the same, the first signal input port and output port second, by direct heating type microwave power sensor, composed of fourth port, sixth port microwave phase detector, composed of third port, fifth port output the channel selection switch; channel selection switch seventh and eighth port direct heating type microwave power transmission The tenth port is connected with a microwave frequency detector, and the power, the phase and the frequency of the microwave signal are detected simultaneously at the ninth port of the channel selection switch.
【技术实现步骤摘要】
固支梁直接加热式微波信号检测仪器
本专利技术提出了固支梁直接加热式微波信号检测仪器,属于微电子机械系统的
技术介绍
在现代化的技术背景下,微波信号检测在相移键控(PSK)、锁相环(PLL)、微波定位、天线相位方向图的测试及测量各种微波器件的相位特性等等方面都有极其广泛的应用。这些系统在实际应用中迫切需要重量轻、体积小、功耗低、集成度高的电子设备。而现有的微波功率、相位、频率检测器都为分立电路且体积较大,为此急需一种可对三种微波参量实现集成检测的系统来满足微波通讯领域的应用需求。本专利技术即是基于Si工艺设计一种单个芯片同时实现检测微波功率、相位、频率的固支梁直接加热式微波信号检测仪器。
技术实现思路
技术问题:本专利技术的目的是提供一种固支梁直接加热式微波信号检测仪器,应用六端口固支梁耦合器端口来耦合连接不同的检测功能模块,并通过模数转换将待测的参量直接显示在液晶屏幕上,从而实现了一个芯片同时对微波信号的功率、相位、频率三种微波参量的检测、具有低功耗、低成本的益处。技术方案:本专利技术的固支梁直接加热式微波信号检测仪器是由传感器、模数转换、MCS51单片机和液晶显示四个大模块组成,这四个大模块又由一些基础的小模块和电路构成。其中传感器部分由六端口固支梁耦合器,通道选择开关,微波频率检测器,微波相位检测器,直接加热式微波功率传感器组成;固支梁直接加热式微波信号检测仪器,其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器,通道选择开关,微波频率检测器,微波相位检测器,第一直接加热式微波功率传感器级联构成;其中,六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口以及 ...
【技术保护点】
一种固支梁直接加热式微波信号检测仪器,其特征在于该相位检测器的传感器部分由六端口固支梁耦合器(1),通道选择开关(2),微波频率检测器(3),微波相位检测器(4),第一直接加热式微波功率传感器(5‑1)级联构成;其中,六端口固支梁耦合器(1)的第一端口(1‑1)到第三端口(1‑3)、第四端口(1‑4)以及第一端口(1‑1)到第五端口(1‑5)、第六端口(1‑6)的功率耦合度相同,待测信号经第一端口(1‑1)输入,并由第二端口(1‑2)输出到第一直接加热式微波功率传感器(5‑1),由第四端口(1‑4)和第六端口(1‑6)输出到微波相位检测器(4),由第三端口(1‑3)和第五端口(1‑5)输出到通道选择开关(2);通道选择开关(2)的第七端口(2‑1)和第八端口(2‑2)分别接第二直接加热式微波功率传感器(5‑2)和第三直接加热式微波功率传感器(5‑3);通道选择开关(2)的第九端口(2‑3)和第十端口(2‑4)接微波频率检测器(3),在每个直接式热电式功率传感器之后都连接着模数转换模块,然后将这些模数转换得到的数字信号都接入MCS51单片机进行公式计算,最后通过液晶显示屏显示输出频率、相 ...
【技术特征摘要】
1.一种固支梁直接加热式微波信号检测仪器,其特征在于该相位检测器的传感器部分由六端口固支梁耦合器(1),通道选择开关(2),微波频率检测器(3),微波相位检测器(4),第一直接加热式微波功率传感器(5-1)级联构成;其中,六端口固支梁耦合器(1)的第一端口(1-1)到第三端口(1-3)、第四端口(1-4)以及第一端口(1-1)到第五端口(1-5)、第六端口(1-6)的功率耦合度相同,待测信号经第一端口(1-1)输入,并由第二端口(1-2)输出到第一直接加热式微波功率传感器(5-1),由第四端口(1-4)和第六端口(1-6)输出到微波相位检测器(4),由第三端口(1-3)和第五端口(1-5)输出到通道选择开关(2);通道选择开关(2)的第七端口(2-1)和第八端口(2-2)分别接第二直接加热式微波功率传感器(5-2)和第三直接加热式微波功率传感器(5-3);通道选择开关(2)的第九端口(2-3)和第十端口(2-4)接微波频率检测器(3),在每个直接式热电式功率传感器之后都连接着模数转换模块,然后将这些模数转换得到的数字信号都接入MCS51单片机进行公式计算,最后通过液晶显示屏显示输出频率、相位和功率的数值大小,从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测;其中,六端口固支梁耦合器(1)由共面波导(10),介质层(12),空气层(15...
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