【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于形成微机电系统互连引脚的方法，其特征在于，所述方法包括：在基板上形成导电层；在所述导电层上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成所述微机电系统互连引脚，所述微机电系统互连引脚具有附连到框架上的引脚基座，所述框架直接接触所述导电层；以及至少部分地移除所述牺牲层，以使所述微机电系统互连引脚从所述基板分离。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐曾洋，
申请(专利权)人：稳银科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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