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本发明是一种微机电系统（Ｍｉｃｒｏ－Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ－Ｓｙｓｔｅｍ；ＭＥＭＳ）互连引脚及其形成方法，该微机电系统互连引脚形成于牺牲层上，所述牺牲层形成于导电层和基板上。所述ＭＥＭＳ互连引脚具有附连到框架上的引脚基座，所述...
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