【技术实现步骤摘要】
本技术总的来说涉及半导体设备。具体而言，本技术涉及一种晶圆固定切换装置。
技术介绍
1、晶圆全检是指通过相机对半导体晶圆进行扫描拍摄，以检查晶圆是否存在缺陷的过程，其通常包括内环检查和边缘检查两个部分。例如中国专利“cn215179745u”公开了一种检测设备，包括底座组件、设置于底座组件之上的遮光箱、以及设置于底座组件上且位于遮光箱内的检测机构，检测机构包括：多个夹具组件，设于底座组件之上，每个夹具组件可固定至少一待测物件；支架组件，设于底座组件之上；至少一光学成像模块，设于支架组件上、且位于夹具组件的上方；驱动组件，用于驱动夹具组件和光学成像模块当中的一个相对另一个移动，以使光学成像模块对每个夹具组件固定的待测物件进行扫描成像。
2、然而在现有的检查设备中，由于检测设备需要通过夹具与晶圆的下表面以及侧面接触以将晶圆定位固定，因此相机无法在接触区域扫描拍摄处无干扰的图像，传统上通常通过在至少两个工位上进行扫描拍摄来解决该问题，然而这会大大增加设备的复杂度。
技术实现思路
1、为至少部分解决现有技术中的上述问题，本技术提出一种晶圆固定切换装置，包括：
2、安装板，其被配置为放置晶圆；
3、相机，其布置在所述安装板的上方，所述相机被配置为扫描所述晶圆；
4、第一气缸，其布置在所述安装板上，其中所述第一气缸被配置为伸出以使所述晶圆固定在第一位置，并且所述相机被配置为对晶圆进行第一扫描；以及
5、第二气缸，其布置在所述安装板上，
6、在本技术一个实施例中规定，所述晶圆固定切换装置还包括：
7、第一电磁阀，其与所述第一气缸连接，所述第一电磁阀被配置为驱动所述第一气缸伸出或者缩回。
8、在本技术一个实施例中规定，所述晶圆固定切换装置还包括：
9、第二电磁阀，其与所述第二气缸连接，所述第二电磁阀被配置为驱动所述第二气缸伸出或者缩回。
10、在本技术一个实施例中规定，所述第一电磁阀和\或所述第二电磁阀是三位五通中封电磁阀。
11、在本技术一个实施例中规定，所述晶圆固定切换装置包括多个第一气缸，其中多个第一气缸围绕所述安装板的中心等间隔布置在所述安装板的外围上。
12、在本技术一个实施例中规定，所述第一气缸的数量为3个，其中3个第一气缸围绕所述安装板的中心彼此间隔120°布置在所述安装板上。
13、在本技术一个实施例中规定，所述晶圆固定切换装置包括多个第二气缸，其中多个第二气缸围绕所述安装板的中心等间隔布置在所述安装板的外围上。
14、在本技术一个实施例中规定，所述第二气缸的数量为3个，其中3个第二气缸围绕所述安装板的中心彼此间隔120°布置在所述安装板上。
15、在本技术一个实施例中规定，所述晶圆固定切换装置还包括：
16、晶圆夹爪，其布置在所述第一气缸以及第二气缸上，所述晶圆夹爪被配置为在所述第一气缸以及第二气缸伸出时与所述晶圆接触以将所述晶圆夹持固定。
17、在本技术一个实施例中规定，所述晶圆固定切换装置还包括：
18、晶圆取放装置，其被配置为从所述安装板上取放晶圆。
19、本技术至少具有如下有益效果：本技术提出一种晶圆固定切换装置，通过第一气缸和第二气缸将晶圆固定在同一位置，并且对晶圆进行第一扫描和第二扫描，可以在不需要调整工位的情况下，消除由于夹具的遮挡对相机扫描的影响，相比与现有技术大大减少了设备的复杂度。
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1.一种晶圆固定切换装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，所述第一电磁阀和\或所述第二电磁阀是三位五通中封电磁阀。
5.根据权利要求1所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，包括多个第一气缸，其中多个第一气缸围绕所述安装板的中心等间隔布置在所述安装板的外围上。
6.根据权利要求5所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，所述第一气缸的数量为3个，其中3个第一气缸围绕所述安装板的中心彼此间隔120°布置在所述安装板上。
7.根据权利要求1所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，包括多个第二气缸，其中多个第二气缸围绕所述安装板的中心等间隔布置在所述安装板的外围上。
8.根据权利要求7所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，所述第二气缸的数量为3个，其中3个第二气缸围绕所述安装板的中心彼此间隔120°布置在所述安装板上。
9.根据权利要求1所
10.根据权利要求1所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆固定切换装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，所述第一电磁阀和\或所述第二电磁阀是三位五通中封电磁阀。
5.根据权利要求1所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，包括多个第一气缸，其中多个第一气缸围绕所述安装板的中心等间隔布置在所述安装板的外围上。
6.根据权利要求5所述的晶圆固定切换装置，其特征在于，所述第一气缸的数...
【专利技术属性】
技术研发人员：殷鑫，张兴华，
申请(专利权)人：上海优睿谱半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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