【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆键合，尤其涉及一种真空腔体的盖板的开合机构。
技术介绍
1、在晶圆键合设备的真空腔体中，当真空腔体的盖板关闭时，盖板与真空腔体间的密封通过与密封圈的紧密贴合来实现，在上料及设备维护时盖板需要开启至一定角度并保持一定的时间。在盖板关闭后，抽真空的过程中，盖板在真空吸附力作用下会产生形变，同时密封圈在盖板压力下会发生变形，使盖板产生位移。
2、目前，盖板大多采用手动开启的方式，由于盖板重量大，开启较为费力。现有的真空腔体的盖板的开合机构，通过气体弹簧实现盖板在一定角度的开启和关闭，减轻劳动强度，在盖板关闭后有真空吸附盖板时，气体弹簧能够补偿盖板由真空吸附作用产生的位移。但是现有技术中的开合机构的结构复杂，虽然气体弹簧能够减轻一定的劳动强度，但是自动化程度低，还是需要人员手动操作。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提出一种真空腔体的盖板的开合机构，能够实现真空腔体的盖板的自动开合。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、真空腔体的盖板的开合机构，盖板的一端与真空腔体铰接，所述盖板与所述真空腔体之间设置有密封圈，其中，所述真空腔体的盖板的开合机构包括：
4、直线驱动件，所述盖板远离所述真空腔体的一侧设置有连接座，所述直线驱动件的固定端铰接于所述真空腔体，所述直线驱动件的驱动端铰接于所述连接座远离所述盖板的一端；
5、所述连接座远离所述盖板的一端设置有铰接座，所述铰接座内设置有容置腔，所述容置腔内设置有第一铰
6、作为真空腔体的盖板的开合机构的一个可选方案，所述第一铰接销的两端均安装有轴承，所述直线驱动件连接于两个所述轴承之间；
7、所述容置腔包括中间腔和设于所述中间腔两侧的轴承腔，所述直线驱动件与所述第一铰接销的连接端位于所述中间腔内，所述轴承位于所述轴承腔内，所述轴承的外径小于所述轴承腔的内径。
8、作为真空腔体的盖板的开合机构的一个可选方案，所述轴承腔内设置有接触式传感器，所述接触式传感器设于所述轴承腔的下止点处，当所述轴承与所述轴承腔的下止点抵接时，所述接触式传感器会发出感应信号。
9、作为真空腔体的盖板的开合机构的一个可选方案，所述直线驱动件为电动推杆，所述电动推杆包括缸体和滑设于所述缸体内的推杆，所述缸体与所述真空腔体铰接，所述推杆通过所述第一铰接销与所述铰接座铰接。
10、作为真空腔体的盖板的开合机构的一个可选方案，所述真空腔体的盖板的开合机构还包括检测件，所述检测件用于检测所述盖板的开启位置。
11、作为真空腔体的盖板的开合机构的一个可选方案，所述检测件为位置传感器，所述位置传感器设于所述推杆的设定位置，当所述推杆伸出至所述设定位置时，所述位置传感器能发出感应信号。
12、作为真空腔体的盖板的开合机构的一个可选方案，所述真空腔体上设置有固定座，所述缸体通过第二铰接销与所述固定座连接，所述固定座上设置有腰形孔，所述真空腔体上设置有螺纹孔，紧固螺栓穿过所述腰形孔与所述螺纹孔螺接。
13、作为真空腔体的盖板的开合机构的一个可选方案，所述盖板和所述真空腔体通过铰链铰接，所述铰链包括固定部和活动部，所述固定部与所述真空腔体连接，所述活动部与所述盖板连接。
14、作为真空腔体的盖板的开合机构的一个可选方案，所述铰链为双轴铰链。
15、作为真空腔体的盖板的开合机构的一个可选方案，所述连接座和所述直线驱动件均设置有两个，两个所述连接座分别设于所述盖板的两侧，且通过横梁连接；每个所述连接座均通过一个所述直线驱动件与所述真空腔体连接；
16、所述连接座为直角三角形状，直角三角形状的所述连接座的短直角边垂直于所述盖板，且靠近所述盖板与所述真空腔体铰接的一端设置，所述铰接座设于直角三角形状的所述连接座的短直角边与斜边的交点位置。
17、本技术的有益效果：
18、本技术提供的真空腔体的盖板的开合机构，在盖板远离真空腔体的一侧设置连接座，将直线驱动件的固定端铰接于真空腔体，驱动端铰接于连接座远离盖板的一端。通过在连接座远离盖板的一端设置铰接座，铰接座内设置有容置腔，直线驱动件的驱动端与容置腔内的第一铰接销连接，第一铰接销的直径小于容置腔的内径，当直线驱动件驱动连接座带动盖板与真空腔体闭合后，第一铰接销与容置腔的下止点抵接，当盖板和真空腔体之间的密封圈受真空吸力发生变形后，盖板继续下移，此时由于第一铰接销和直线驱动件的驱动端与容置腔的上止点之间留有移动空间，因此允许盖板因密封圈变形而下移，直线驱动件的驱动端和第一铰接销不会阻碍盖板下移。该真空腔体的盖板的开合机构，不仅能够实现盖板的自动开启和关闭，而且容置腔内移动空间的设置允许盖板在闭合时产生一定的位移，以适应密封圈的压紧变形，从而保证密封效果。
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1.真空腔体的盖板的开合机构，盖板(100)的一端与真空腔体(200)铰接，所述盖板(100)与所述真空腔体(200)之间设置有密封圈，其特征在于，所述真空腔体的盖板的开合机构包括：
2.根据权利要求1所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述第一铰接销(4)的两端均安装有轴承(5)，所述直线驱动件连接于两个所述轴承(5)之间；
3.根据权利要求2所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述轴承腔(32)内设置有接触式传感器，所述接触式传感器设于所述轴承腔(32)的下止点处，当所述轴承(5)与所述轴承腔(32)的下止点抵接时，所述接触式传感器会发出感应信号。
4.根据权利要求1所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述直线驱动件为电动推杆(1)，所述电动推杆(1)包括缸体(11)和滑设于所述缸体(11)内的推杆(12)，所述缸体(11)与所述真空腔体(200)铰接，所述推杆(12)通过所述第一铰接销(4)与所述铰接座(3)铰接。
5.根据权利要求4所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述真空腔体的盖板的开合机
6.根据权利要求5所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述检测件为位置传感器，所述位置传感器设于所述推杆(12)的设定位置，当所述推杆(12)伸出至所述设定位置时，所述位置传感器能发出感应信号。
7.根据权利要求4所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述真空腔体(200)上设置有固定座(6)，所述缸体(11)通过第二铰接销(9)与所述固定座(6)连接，所述固定座(6)上设置有腰形孔(61)，所述真空腔体(200)上设置有螺纹孔，紧固螺栓穿过所述腰形孔(61)与所述螺纹孔螺接。
8.根据权利要求1-7任一项所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述盖板(100)和所述真空腔体(200)通过铰链铰接，所述铰链包括固定部和活动部，所述固定部与所述真空腔体(200)连接，所述活动部与所述盖板(100)连接。
9.根据权利要求8所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述铰链为双轴铰链(7)。
10.根据权利要求1-7任一项所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述连接座(2)和所述直线驱动件均设置有两个，两个所述连接座(2)分别设于所述盖板(100)的两侧，且通过横梁(8)连接；每个所述连接座(2)均通过一个所述直线驱动件与所述真空腔体(200)连接；
...【技术特征摘要】
1.真空腔体的盖板的开合机构，盖板(100)的一端与真空腔体(200)铰接，所述盖板(100)与所述真空腔体(200)之间设置有密封圈，其特征在于，所述真空腔体的盖板的开合机构包括：
2.根据权利要求1所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述第一铰接销(4)的两端均安装有轴承(5)，所述直线驱动件连接于两个所述轴承(5)之间；
3.根据权利要求2所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述轴承腔(32)内设置有接触式传感器，所述接触式传感器设于所述轴承腔(32)的下止点处，当所述轴承(5)与所述轴承腔(32)的下止点抵接时，所述接触式传感器会发出感应信号。
4.根据权利要求1所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述直线驱动件为电动推杆(1)，所述电动推杆(1)包括缸体(11)和滑设于所述缸体(11)内的推杆(12)，所述缸体(11)与所述真空腔体(200)铰接，所述推杆(12)通过所述第一铰接销(4)与所述铰接座(3)铰接。
5.根据权利要求4所述的真空腔体的盖板的开合机构，其特征在于，所述真空腔体的盖板的开合机构还包括检测件，所述检测件用于检测所述盖板(100)的开启位置。
6.根据权利要求5所述的真空腔体的...
【专利技术属性】
技术研发人员：白羽，高智伟，母凤文，郭超，
申请(专利权)人：天津中科晶禾电子科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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