【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶棒检测设备，尤其是一种全自动多功能检测设备。
技术介绍
1、晶棒是半导体生产制造过程中的基础原材料。晶棒的生产过程主要包括晶棒成长、晶棒裁切与检测、外径研磨等步骤，在晶棒的生产过程中需要对晶棒的尺寸参数及材料性能进行多次检测。
2、现有技术中，每个检测步骤都需要专门设置一套检测系统进行相应的检测，成本高，检测设备的通用性差，且由于设备数量设置较多，造成数据传输过程复杂，增加了控制成本。
技术实现思路
1、本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种全自动多功能检测设备，通过设置支撑座，能够将不同类型的工件输送至指定位置以完成检测，从而提高了检测设备的通用性；同时，通过设置检测仪安装座，能够到达使用一套检测设备完成多种检测任务的目的，有效节省成本，一机多用，有效降低检测成本。
2、本技术所采用的技术方案如下：
3、一种全自动多功能检测设备，包括外框架，所述外框架的中部配合安装有用于输送工件的输送线，所述输送线上固定驱动电机，所述驱动电机通过链条传动机构驱动输送线沿直线方向输送工件，所述输送线的顶部放置支撑座，输送线通过支撑座输送多种尺寸的工件；
4、所述支撑座的结构为：包括顶部设置有敞口的托盘，所述托盘的敞口中部对称安装有用于支撑工件的料座组，单组料座组包括数个呈l型的料座，单个料座的一个端头设置有第一斜面，同时另一个端头设置有第二斜面，单组料座组的顶部同时配合安装有垫板；
5、所述外框架的顶部配合安装有对称布
6、作为上述技术方案的进一步改进：
7、所述支撑座通过垫板支撑呈方状的工件，此时垫板安装在料座的水平段端面上，料座的竖直段端面对方状工件产生限位作用；
8、所述支撑座通过第一斜面或第二斜面支撑呈柱状的工件，第一斜面支撑的柱状工件的直径大于第二斜面支撑的柱状工件的直径。
9、所述托盘的敞口内还配合安装有对称布置的缓冲块，所述缓冲块防止工件与托盘的边缘发生碰撞。
10、所述输送线上配合安装有数个用于阻止支撑座前进的阻挡器，所述阻挡器采用重型卧式阻挡器。
11、所述托盘的壁面上开有数个与阻挡器对应的凹槽，单个凹槽内设置有与阻挡器输出端对应的挡板。
12、所述输送线的结构为：包括输送框架，所述输送框架的顶部配合安装有数个平行布置的输送辊轮，输送框架上还配合安装有链条传动机构；
13、所述链条传动机构的结构为：包括与驱动电机输出端连接的主动链轮，以及安装在输送辊轮端头的第一传动链轮，主动链轮上方的输送框架上转动安装数个第二传动链轮，所述第二传动链轮与第一传动链轮之间配合安装传动链条，主动链轮位于相邻两个第二传动链轮之间并与传动链条啮合，驱动电机通过主动链轮驱动传动链条转动，从而带动第一传动链轮与第二传动链轮转动，进而带动输送辊轮转动。
14、单个移动机构的结构为：包括固定在外框架顶部的第一滑台，所述第一滑台的底部配合安装有第一滑块，所述第一滑块的底部固定第二滑台，所述第二滑台与第二滑块配合安装，第二滑块的底部固定第三滑台，所述第三滑台与第三滑块配合安装，所述第三滑块上固定安装板，所述安装板上配合安装有检测仪安装座；
15、所述第一滑台与第二滑台均沿水平方向布置，第三滑台沿竖直方向布置，第一滑台与第二滑台的布置方向互相垂直；
16、所述第一滑台通过第一滑块带动第二滑台沿平行于工件输送方向的方向作水平直线运动，第二滑台通过第二滑块带动第三滑台沿垂直于工件输送方向的方向作水平直线运动，第三滑台通过第三滑块带动安装板沿竖直方向作直线运动，从而带动检测仪安装座移动至空间指定位置。
17、单个检测仪安装座的结构为：包括呈u型的第一连接座，所述第一连接座的开口处配合安装有呈圆角矩形状的第二连接座，所述第二连接座与第一连接座之间配合安装有第一拉簧，第二连接座的中部配合安装有呈盒状的固定座，所述固定座与第一连接座之间配合安装有第二拉簧，固定座的中部通过数根第一导杆与仿形座配合安装，仿形座用于夹持检测仪器，仿形座与单根第一导杆之间通过第一直线轴承配合安装，固定座与第一直线轴承之间的第一导杆外圆周面上套有第一压簧；
18、所述固定座的工作端面上开有第一通孔，安装在仿形座上的检测仪器通过第一通孔伸出至固定座的外部，从而检测工件。
19、所述固定座的工作端面外部通过第二导杆配合安装有端板，所述端板的端面上开有与第一通孔对应的第二通孔，第二导杆与固定座工作端面之间配合安装有第二直线轴承，第二导杆与端板之间配合安装有聚氨酯法兰，所述聚氨酯法兰与第二直线轴承之间的第二导杆外圆周面上套有第二压簧。
20、所述固定座的工作端面上安装有对称布置的传感器，所述传感器用于检测检测仪器与工件之间的距离。
21、本技术的有益效果如下：
22、本技术结构紧凑、合理，操作方便，通过设置支撑座和检测仪安装座，使得检测设备能够匹配多种尺寸、多种形状的工件，能够更换多种类型的检测仪器，从而设置一套检测设备即可对多种工件完成多项检测任务，检测设备的通用性好，能够有效降低成本。
23、本技术还包括如下优点：
24、(1)本技术中通过设置呈l型的料座，并在料座上设置斜面，使得支撑座能够完成对柱状工件和方状工作的支撑，有效提高检测设备的通用性。
25、(2)本技术中的检测仪安装座设置有具备自适应功能的端板，端板能够保护检测仪器，防止检测过程中工件碰撞检测仪器导致检测仪器损坏；同时，由于端板与固定座之间设置有第二导杆、第二直线轴承、聚氨酯法兰以及第二压簧，使得端板具有一定的空间自由度，能够更好地贴合不平整的工件端面，提高检测精度。
26、(3)本技术中通过设置第一导杆、第一直线轴承与第一压簧，使得仿形座具备一定的空间自由度，从而使检测仪器的检测头能够更好地贴合工件的端面，提高检测精度。
27、(4)本技术中通过在检测仪安装座内部设置多个压簧、拉簧，能够使检测仪安装座内各部件在完成检测后自动复位，保证下次检测的检测精度。
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1.一种全自动多功能检测设备，包括外框架(1)，所述外框架(1)的中部配合安装有用于输送工件(8)的输送线(2)，所述输送线(2)上固定驱动电机(4)，所述驱动电机(4)通过链条传动机构驱动输送线(2)沿直线方向输送工件(8)，其特征在于：所述输送线(2)的顶部放置支撑座(3)，输送线(2)通过支撑座(3)输送多种尺寸的工件(8)；
2.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述支撑座(3)通过垫板(302)支撑呈方状的工件(8)，此时垫板(302)安装在料座(303)的水平段端面上，料座(303)的竖直段端面对方状工件(8)产生限位作用；
3.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述托盘(301)的敞口内还配合安装有对称布置的缓冲块(308)，所述缓冲块(308)防止工件(8)与托盘(301)的边缘发生碰撞。
4.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述输送线(2)上配合安装有数个用于阻止支撑座(3)前进的阻挡器(7)，所述阻挡器(7)采用重型卧式阻挡器。
5.如权利要求4
6.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述输送线(2)的结构为：包括输送框架(205)，所述输送框架(205)的顶部配合安装有数个平行布置的输送辊轮(201)，输送框架(205)上还配合安装有链条传动机构；
7.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：单个移动机构(5)的结构为：包括固定在外框架(1)顶部的第一滑台(501)，所述第一滑台(501)的底部配合安装有第一滑块(504)，所述第一滑块(504)的底部固定第二滑台(502)，所述第二滑台(502)与第二滑块(505)配合安装，第二滑块(505)的底部固定第三滑台(503)，所述第三滑台(503)与第三滑块(506)配合安装，所述第三滑块(506)上固定安装板(507)，所述安装板(507)上配合安装有检测仪安装座(6)；
8.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：单个检测仪安装座(6)的结构为：包括呈U型的第一连接座(601)，所述第一连接座(601)的开口处配合安装有呈圆角矩形状的第二连接座(602)，所述第二连接座(602)与第一连接座(601)之间配合安装有第一拉簧(603)，第二连接座(602)的中部配合安装有呈盒状的固定座(604)，所述固定座(604)与第一连接座(601)之间配合安装有第二拉簧(605)，固定座(604)的中部通过数根第一导杆(606)与仿形座(608)配合安装，仿形座(608)用于夹持检测仪器(9)，仿形座(608)与单根第一导杆(606)之间通过第一直线轴承(607)配合安装，固定座(604)与第一直线轴承(607)之间的第一导杆(606)外圆周面上套有第一压簧(612)；
9.如权利要求8所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述固定座(604)的工作端面外部通过第二导杆(614)配合安装有端板(613)，所述端板(613)的端面上开有与第一通孔(609)对应的第二通孔(610)，第二导杆(614)与固定座(604)工作端面之间配合安装有第二直线轴承(615)，第二导杆(614)与端板(613)之间配合安装有聚氨酯法兰(617)，所述聚氨酯法兰(617)与第二直线轴承(615)之间的第二导杆(614)外圆周面上套有第二压簧(616)。
10.如权利要求8所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述固定座(604)的工作端面上安装有对称布置的传感器(611)，所述传感器(611)用于检测检测仪器(9)与工件(8)之间的距离。
...【技术特征摘要】
1.一种全自动多功能检测设备，包括外框架(1)，所述外框架(1)的中部配合安装有用于输送工件(8)的输送线(2)，所述输送线(2)上固定驱动电机(4)，所述驱动电机(4)通过链条传动机构驱动输送线(2)沿直线方向输送工件(8)，其特征在于：所述输送线(2)的顶部放置支撑座(3)，输送线(2)通过支撑座(3)输送多种尺寸的工件(8)；
2.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述支撑座(3)通过垫板(302)支撑呈方状的工件(8)，此时垫板(302)安装在料座(303)的水平段端面上，料座(303)的竖直段端面对方状工件(8)产生限位作用；
3.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述托盘(301)的敞口内还配合安装有对称布置的缓冲块(308)，所述缓冲块(308)防止工件(8)与托盘(301)的边缘发生碰撞。
4.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述输送线(2)上配合安装有数个用于阻止支撑座(3)前进的阻挡器(7)，所述阻挡器(7)采用重型卧式阻挡器。
5.如权利要求4所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述托盘(301)的壁面上开有数个与阻挡器(7)对应的凹槽(306)，单个凹槽(306)内设置有与阻挡器(7)输出端对应的挡板(307)。
6.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：所述输送线(2)的结构为：包括输送框架(205)，所述输送框架(205)的顶部配合安装有数个平行布置的输送辊轮(201)，输送框架(205)上还配合安装有链条传动机构；
7.如权利要求1所述的一种全自动多功能检测设备，其特征在于：单个移动机构(5)的结构为：包括固定在外框架(1)顶部的第一滑台(501)，所述第一滑台(501)的底部配合安装有第一滑块(504)，所述第一滑块(504)的底部固定第二滑台(502)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：阳鹏程，吴晓杰，武来军，高兴民，
申请(专利权)人：无锡多恩多自动化有限公司，
类型：新型
国别省市：
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