一种硅片表面自动清洁装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片表面自动清洁装置，属于硅片加工技术领域，包括底座外框装配体，放置在底座外框装配体顶端的上料机构，设置在底座外框装配体下料口处的小车装配体以及安装在底座外框装配体上的旋转快换装配体，底座外框装配体包括台面，台面的顶端固定连接有横向线轨，横向线轨上滑动连接有横向滑块，横向滑块的顶端固定连接有滑板，滑板的顶端固定连接有纵向线轨，纵向线轨上滑动连接有纵向滑块

【技术实现步骤摘要】
一种硅片表面自动清洁装置


[0001]本专利技术涉及硅片加工
，尤其涉及一种硅片表面自动清洁装置
。

技术介绍

[0002]随着集成电路制造工艺的不断进步，半导体器件的体积正变得越来越小，这也导致了硅片上非常微小的颗粒如果没有清洗干净，也会影响最终半导体器件的制造和性能
。
传统的人工清洗方法并不能够非常有效地去除这些微小的颗粒，并且效率很低，为了解决改善传统的清洗方法，提出一种硅片表面自动清洁装置
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中传统的人工清洗方法并不能够非常有效地去除这些微小的颗粒，并且效率很低的问题，而提出的一种硅片表面自动清洁装置
。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0005]一种硅片表面自动清洁装置，包括底座外框装配体，放置在底座外框装配体顶端的上料机构，设置在底座外框装配体下料口处的小车装配体以及安装在底座外框装配体上的旋转快换装配体，所述底座外框装配体包括台面，所述台面的顶端固定连接有横向线轨，所述横向线轨上滑动连接有横向滑块，所述横向滑块的顶端固定连接有滑板，所述滑板的顶端固定连接有纵向线轨，所述纵向线轨上滑动连接有纵向滑块；
[0006]所述底座外框装配体包括固定连接在纵向滑块顶端的安装板，转动连接在安装板侧壁上的转盘，固定连接在转盘四周的球头柱塞快换装配体以及可拆卸安装在球头柱塞快换装配体上的下工装装配体；
[0007]所述上料机构包括安装在底座外框装配体顶端靠近下料口处的储料盘，安装在储料盘底端的滚珠丝杆以及堆叠放置在储料盘内侧的下工装装配体
。
[0008]优选的，所述下工装装配体的背面固定连接有插销筒，所述插销筒的内壁设置有磁吸块，所述球头柱塞快换装配体的表面固定连接有与插销筒相适配的且能够被磁吸的金属插杆
。
[0009]优选的，所述安装板的一侧面安装有旋转电机，所述旋转电机通过减速箱与转盘连接，所述安装板的侧壁上安装有喷头
。
[0010]优选的，所述安装板上安装有纵向电机，所述纵向电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的贯穿安装板的底端固定连接有斜齿轮，所述纵向线轨的侧壁固定连接有斜齿轮啮合的斜齿板
。
[0011]优选的，所述横向线轨的侧壁同样固定连接有斜齿板，所述横向线轨的下方设置有横向电机，所述横向电机输出轴的一端固定连接有与斜齿板啮合的斜齿轮
。
[0012]优选的，所述底座外框装配体的顶端靠近下料口处设置有拔料组件，所述拔料组件包括安装在底座外框装配体侧壁上的气缸底座，安装在气缸底座上的气缸以及固定连接在气缸输出端的
U
型件
。
[0013]优选的，所述小车装配体上安装有回收盒
。
[0014]相比现有技术，本专利技术的有益效果为：
[0015]本专利技术通过设置有旋转快换装配体
、
上料机构
、
小车装配体和拔料组件，实现自动化清洁硅片表面，它用自动化代替人工，提高了工作效率，降低了人力成本，提高了安全性又提升了产品质量的稳定性
。
附图说明
[0016]图1为本专利技术提出的一种硅片表面自动清洁装置的立体结构示意图；
[0017]图2为本专利技术提出的一种硅片表面自动清洁装置中旋转快换装配体的结构示意图；
[0018]图3为本专利技术提出的一种硅片表面自动清洁装置中小车装配体的结构示意图；
[0019]图4为本专利技术提出的一种硅片表面自动清洁装置的结构示意图中底座外框装配体的结构示意图；
[0020]图5为本专利技术提出的一种硅片表面自动清洁装置中上料机构的结构示意图；
[0021]图6为本专利技术提出的一种硅片表面自动清洁装置中拔料组件的结构示意图
。
[0022]图中：
1、
旋转快换装配体；
11、
下工装装配体；
12、
球头柱塞快换装配体；
13、
旋转电机；
14、
纵向电机；
15、
斜齿轮；
16、
安装板；
17、
喷头；
2、
小车装配体；
21、
回收盒；
3、
底座外框装配体；
31、
台面；
32、
横向线轨；
33、
横向滑块；
34、
滑板；
35、
纵向滑块；
36、
纵向线轨；
4、
上料机构；
41、
储料盘；
42、
滚珠丝杆；
5、
拔料组件；
51、U
型件；
52、
气缸；
53、
气缸底座
。
具体实施方式
[0023]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0024]参照图1‑6，一种硅片表面自动清洁装置，包括底座外框装配体3，放置在底座外框装配体3顶端的上料机构4，设置在底座外框装配体3下料口处的小车装配体2以及安装在底座外框装配体3上的旋转快换装配体1；
[0025]需要说明的是：通过设置有旋转快换装配体
1、
上料机构
4、
小车装配体2和拔料组件5，实现自动化清洁硅片表面，它用自动化代替人工，提高了工作效率，降低了人力成本，提高了安全性又提升了产品质量的稳定性
。
[0026]底座外框装配体3包括台面
31
，台面
31
的顶端固定连接有横向线轨
32
，横向线轨
32
上滑动连接有横向滑块
33
，横向滑块
33
的顶端固定连接有滑板
34
，滑板
34
的顶端固定连接有纵向线轨
36
，纵向线轨
36
上滑动连接有纵向滑块
35
；
[0027]进一步的，安装板
16
上安装有纵向电机
14
，纵向电机
14
的输出端固定连接有转轴，转轴的贯穿安装板
16
的底端固定连接有斜齿轮
15
，纵向线轨
36
的侧壁固定连接有斜齿轮
15
啮合的斜齿板
。
[0028]进一步的，横向线轨
32
的侧壁同样固定连接有斜齿板，横向线轨
32
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅片表面自动清洁装置，包括底座外框装配体
(3)
，放置在底座外框装配体
(3)
顶端的上料机构
(4)
，设置在底座外框装配体
(3)
下料口处的小车装配体
(2)
以及安装在底座外框装配体
(3)
上的旋转快换装配体
(1)
，其特征在于，所述底座外框装配体
(3)
包括台面
(31)
，所述台面
(31)
的顶端固定连接有横向线轨
(32)
，所述横向线轨
(32)
上滑动连接有横向滑块
(33)
，所述横向滑块
(33)
的顶端固定连接有滑板
(34)
，所述滑板
(34)
的顶端固定连接有纵向线轨
(36)
，所述纵向线轨
(36)
上滑动连接有纵向滑块
(35)
；所述底座外框装配体
(3)
包括固定连接在纵向滑块
(35)
顶端的安装板
(16)
，转动连接在安装板
(16)
侧壁上的转盘，固定连接在转盘四周的球头柱塞快换装配体
(12)
以及可拆卸安装在球头柱塞快换装配体
(12)
上的下工装装配体
(11)
；所述上料机构
(4)
包括安装在底座外框装配体
(3)
顶端靠近下料口处的储料盘
(41)
，安装在储料盘
(41)
底端的滚珠丝杆
(42)
以及堆叠放置在储料盘
(41)
内侧的下工装装配体
(11)。2.
根据权利要求1所述的一种硅片表面自动清洁装置，其特征在于：所述下工装装配体
(11)
的背面固定连接有插销筒，所述插销筒的内壁设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：马永青，吴晓杰，高兴民，
申请(专利权)人：无锡多恩多自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：