一种自动化切片上下料装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种自动化切片上下料装置，属于晶棒切片技术领域，包括设置在支撑座上的防护板、横移机构、晶拖装配体连接机构和晶拖装配体，横移机构包括设置在防护板上的固定托板，固定托板上设置有横移电机，横移电机输出端通过齿传动组件连接有横移滑板，横移滑板通过轨道限位件与固定托板连接，横移滑板两侧均设置有辅助拖链组件，晶拖装配体吸附设置在电磁铁底部，被驱动气缸驱动进行水平移动。本发明专利技术通过晶托装配体，实现自动化切片上下料，采用自动化代替人工，提高精效率、生产力，保证精度，设置晶托装配体代替一般抓取，结合了晶托装配体的优势和机械手的灵活性，能够实现高效和精准的操作，并具备晶片保护的特性。并具备晶片保护的特性。并具备晶片保护的特性。

【技术实现步骤摘要】
一种自动化切片上下料装置


[0001]本专利技术涉及晶棒切片
，尤其涉及一种自动化切片上下料装置。

技术介绍

[0002]硅晶片的生产流程是先在铸锭炉中铸锭形成晶锭，再将晶锭在开方机上开方形成晶棒，然后将晶棒粘接在晶托上，最后将载有晶棒的晶托通过切片机上进行切片制成硅晶片。
[0003]在此过程中，现今很多都是使用人工进行机床上下料的方式，这在产品比较单一、产能不高的情况下是非常适合的，但是随着社会的进步和发展，科技的日益进步，产品更新换代加快，使用人工进行机床上下料就暴露出了很多的不足和弱点，使用人工会造成劳动强度的增加，容易产生工伤事故，效率也比较低下，且使用人工上下料的产品质量的稳定性不够，不能满足大批量生产的需求，为此现提出一种自动化切片上下料装置，用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术使用人工进行机床上下料就暴露出了很多的不足和弱点，使用人工会造成劳动强度的增加，容易产生工伤事故，效率也比较低下，且使用人工上下料的产品质量的稳定性不够，不能满足大批量生产的需求问题，而提出的一种自动化切片上下料装置，其通过晶托装配体，实现自动化切片上下料，采用自动化代替人工，提高精效率、生产力，保证精度，设置晶托装配体代替一般抓取，结合了晶托装配体的优势和机械手的灵活性，能够实现高效和精准的操作，并具备晶片保护的特性。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种自动化切片上下料装置，包括设置在支撑座上的防护板、横移机构、晶拖装配体连接机构和晶拖装配体；
[0007]所述横移机构包括设置在防护板上的固定托板，所述固定托板上设置有横移电机，所述横移电机输出端通过齿传动组件连接有横移滑板，所述横移滑板通过轨道限位件与固定托板连接，所述横移滑板两侧均设置有辅助拖链组件；
[0008]所述晶拖装配体连接机构包括固定设置在横移滑板一端的驱动电机，所述驱动电机输出端连接有调节丝杠柱，所述调节丝杠柱另一端通过转动连接的连接座与横移滑板连接，所述调节丝杠柱通过螺母滑块连接有驱动滑板，所述驱动滑块上设置有驱动气缸，所述驱动气缸上端部通过磁铁安装板连接有电磁铁，所述驱动滑板通过导向组件与横移滑板连接；
[0009]所述晶拖装配体吸附设置在电磁铁底部，被驱动气缸驱动进行水平移动。
[0010]优选地，所述齿传动组件包括固定设置在横移滑板上的移动齿条，所述横移电机输出端贯穿固定托板向下延伸，并固定连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮与移动齿条啮合连接。
[0011]优选地，所述固定托板上设置有转轴连接器，所述转轴连接器输出端连接有毛毡轮，所述毛毡轮与移动齿条啮合连接。
[0012]优选地，所述轨道限位件包括固定设置在固定托板底部呈相对设置的固定导轨条，所述横移滑板上表面对称设置有多个滑轨块，所述滑轨块与固定导轨条滑动接触，所述固定导轨条呈“工”型设置，与滑轨块实现上下限位。
[0013]优选地，所述辅助拖链组件包括设置在防护板一侧的U型支撑架，所述U型支撑架内设置有对管线进行引导的拖链件，所述防护板上开设有管线进行移动的开口。
[0014]优选地，所述导向组件包括设置在横移滑板底部呈对称设置的限位导轨，所述限位导轨上滑动设置有多个限位导块，所述限位导块固定设置在驱动滑板上。
[0015]优选地，所述限位导轨两端均通过支柱连接有聚氨酯缓冲块，用于对驱动滑板的吸能缓冲保护。
[0016]优选地，所述固定托板的两端均设置有多横移滑板移动行程进行限位的阻挡块。
[0017]相比现有技术，本专利技术的有益效果为：
[0018]1、采用自动化代替人工，提高精效率、生产力，保证精度，设置晶托装配体代替一般抓取，结合了晶托装配体的优势和机械手的灵活性，能够实现高效和精准的操作，并具备晶片保护的特性。
[0019]2、通过晶托装配体，实现自动化切片上下料，它用自动化代替人工，提高了工作效率，降低了人力成本，提高了安全性又提升了产品质量的稳定性。
附图说明
[0020]图1为本专利技术提出的一种自动化切片上下料装置的立体结构示意图；
[0021]图2为本专利技术提出的一种自动化切片上下料装置的内部结构示意图；
[0022]图3为图2中A处的放大结构示意图；
[0023]图4为本专利技术提出的一种自动化切片上下料装置的立体结构示意图一；
[0024]图5为本专利技术提出的一种自动化切片上下料装置的立体结构示意图二；
[0025]图6为本专利技术提出的一种自动化切片上下料装置的立体结构示意图三；
[0026]图7为本专利技术提出的一种自动化切片上下料装置的立体结构示意图四。
[0027]图中：1、支撑座；2、防护板；3、晶拖装配体；4、横移电机；5、横移滑板；6、固定托板；7、驱动电机；8、调节丝杠柱；9、螺母滑块；10、驱动滑板；11、驱动气缸；12、磁铁安装板；13、电磁铁；14、U型支撑架；15、移动齿条；16、驱动齿轮；17、转轴连接器；18、毛毡轮；19、固定导轨条；20、滑轨块；21、拖链件；22、限位导轨；23、限位导块；24、聚氨酯缓冲块。
具体实施方式
[0028]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0029]实施例一
[0030]参照图1
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7，一种自动化切片上下料装置，包括设置在支撑座1上的防护板2、横移
机构、晶拖装配体连接机构和晶拖装配体3；
[0031]值得注意的是晶拖装配体3为现有技术，其装配结构中含有大量磁材料，这种情况下，能通过电磁铁13的强磁实现对晶拖装配体3的有效吸附夹持。
[0032]横移机构包括设置在防护板2上的固定托板6，固定托板6上设置有横移电机4，横移电机4输出端通过齿传动组件连接有横移滑板5，齿传动组件包括固定设置在横移滑板5上的移动齿条15，横移电机4输出端贯穿固定托板6向下延伸，并固定连接有驱动齿轮16，驱动齿轮16与移动齿条15啮合连接。
[0033]需要进行说明的是，横移电机4输出端设置有减速器，保证驱动齿轮16能进行低速旋转，实现带动移动齿条15进行精准输送的效果，并且横移电机4在此为伺服电机的一种，通过伺服控制器进行控制。
[0034]横移机构的设置，通过横移电机4带动其端部的驱动齿轮16进行旋转，使得在移动齿条15带动下的横移滑板5被带动进行移动，在移动的过程中，将横移滑板5及其底部的晶拖装配体连接机构进行移动。
[0035]进一步地，固定托板6上设置有转轴连接器17，转轴连接器17输出端连接有毛毡轮18，毛毡轮18与移动齿条15啮合连接，采用毛毡轮18，能通过毛毡轮18实现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动化切片上下料装置，其特征在于，包括设置在支撑座(1)上的防护板(2)、横移机构、晶拖装配体连接机构和晶拖装配体(3)；所述横移机构包括设置在防护板(2)上的固定托板(6)，所述固定托板(6)上设置有横移电机(4)，所述横移电机(4)输出端通过齿传动组件连接有横移滑板(5)，所述横移滑板(5)通过轨道限位件与固定托板(6)连接，所述横移滑板(5)两侧均设置有辅助拖链组件；所述晶拖装配体连接机构包括固定设置在横移滑板(5)一端的驱动电机(7)，所述驱动电机(7)输出端连接有调节丝杠柱(8)，所述调节丝杠柱(8)另一端通过转动连接的连接座与横移滑板(5)连接，所述调节丝杠柱(8)通过螺母滑块(9)连接有驱动滑板(10)，所述驱动滑块上设置有驱动气缸(11)，所述驱动气缸(11)上端部通过磁铁安装板(12)连接有电磁铁(13)，所述驱动滑板(10)通过导向组件与横移滑板(5)连接；所述晶拖装配体(3)吸附设置在电磁铁(13)底部，被驱动气缸(11)驱动进行水平移动。2.根据权利要求1所述的一种自动化切片上下料装置，其特征在于，所述齿传动组件包括固定设置在横移滑板(5)上的移动齿条(15)，所述横移电机(4)输出端贯穿固定托板(6)向下延伸，并固定连接有驱动齿轮(16)，所述驱动齿轮(16)与移动齿条(15)啮合连接。3.根据权利要求2所述的一种自动化切片上下料装置，其特征在于，所述固定托板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴晓杰，任彬彬，高原，高兴民，阳鹏程，于忠涛，
申请(专利权)人：无锡多恩多自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：