下载一种自动化切片上下料装置的技术资料

文档序号:39441259

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本发明公开了一种自动化切片上下料装置,属于晶棒切片技术领域,包括设置在支撑座上的防护板、横移机构、晶拖装配体连接机构和晶拖装配体,横移机构包括设置在防护板上的固定托板,固定托板上设置有横移电机,横移电机输出端通过齿传动组件连接有横移滑板,横...
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