System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种硼扩散装置及其使用方法制造方法及图纸_技高网

一种硼扩散装置及其使用方法制造方法及图纸

技术编号:40158722 阅读:11 留言:0更新日期:2024-01-26 23:33
本发明专利技术属于光伏电池制造技术领域,尤其涉及一种硼扩散装置及其使用方法。本发明专利技术包括:封闭框架,用于封闭所述工作台;进气管,安装在所述封闭框架上,且所述进气管的内端与所述封闭框架内部呈气体连通状态;导气板,设置在所述进气管上,且用于将所述进气管流出的气体向侧向引导;筛板,设置在所述进气管的内端上;所述筛板上设有若干分散孔,所述分散孔倾斜设置,且倾斜方向与所述导气板的气体引导方向一致。通过封闭框架将工作台的四周封闭,在封闭框架多点安装与风机连接的进气管,并且在进气管的内端设置导风组件,使吹向工作台的风尽可能弥散,避免了风量集中在一点,产生的风速导致扬尘效应。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光伏电池制造,尤其涉及一种硼扩散装置及其使用方法


技术介绍

1、太阳能光伏电池是一种将太阳能转化为电能的装置。它利用光伏效应,将太阳光直接转换为电能。光伏电池通常由多个薄片组成,其中每个薄片都是由半导体材料制成。当太阳光照射到光伏电池上时,光子会与半导体材料中的电子发生相互作用,从而产生电流。光伏电池的工作原理可以简单地概括为以下几个步骤:光子的能量被光伏电池吸收,将电子从半导体原子中释放出来,释放的电子在半导体中形成电流,被导线收集起来,通过导线,电流可以被传输到需要使用电能的设备上。光伏电池的使用具有很多优势。首先,它们是一种清洁、可再生的能源形式,不会产生二氧化碳等有害气体。其次,光伏电池可以在无需燃料的情况下直接转换太阳能为电能,因此具有较低的运营成本。另外,光伏电池可以在各种规模上使用,从小型便携式设备到大型太阳能发电站都可以应用。总之,太阳能光伏电池在具备供能的基础上还具有环保、可再生、无噪音和低维护成本等优点,因此受到越来越多人的青睐。

2、太阳能光伏电池的制造过程需要使用到硼扩散炉,硼扩散炉是太阳能光伏电池制备过程中的关键设备之一,它是一种用于在光伏电池表面扩散硼的热处理设备。在制备太阳能光伏电池时,硼扩散炉用于在硅基底,例如晶体硅的表面形成p-n结。这个过程被称为硼扩散,通过向硅材料中引入少量的硼元素,可以改变硅的电学性质,形成具有正电荷的p型区域。硼扩散炉使用高温和适当的气氛,使硼元素在硅材料中扩散,并形成所需的p-n结。

3、硼扩散炉的进气口一端一般设有工作台,工作台的功能是用于临时储存硅基底片,包括未扩散的硅基底片以及已扩散的硅基底片。工作台中设有将未扩散的硅基底送入硼扩散炉,以及将已扩散的硅基底从硼扩散炉中取出的推舟装置,通过推舟装置完成对硅基底片的送入或者取出的工作。然而由于硼扩散设备由于工艺温度较高,导致在工作台内部空间在设备正常运行期间温度较高,对器件的使用寿命,人员的维护都是一个极大的挑战。为降低工作台内部温度常用的做法是增加风循环,把工作台内部和外部的空气循环起来,实现温度置换,从而降低工作台内部的温度。

4、然而,气体在循环过程中,会把外面的灰尘带入,即使在风机进气口安装过滤网使得进入工作台内的空气符合标准,也不能完全阻挡灰尘进入,此外气体的循环过程也容易把工作台内部已存在的灰尘扬起,上述灰尘都会导致扩散炉工作台洁净度的降低,甚至导致硅基底片的质量下降。

5、综上所述,目前需要一种硼扩散装置,其能够有效抑制上述扬尘现象的产生,以维持扩散炉工作台的洁净程度。


技术实现思路

1、本专利技术目的是提供一种硼扩散装置。通过封闭框架将工作台的四周封闭,在封闭框架多点安装与风机连接的进气管,并且在进气管的内端设置导风组件,使吹向工作台的风尽可能弥散,避免了风量集中在一点,产生的风速导致扬尘效应。

2、本专利技术解决上述问题采用的技术方案是:一种硼扩散装置,包括:

3、封闭框架,用于封闭所述工作台;

4、进气管,安装在所述封闭框架上,且所述进气管的内端与所述封闭框架内部呈气体连通状态;

5、导气板,设置在所述进气管上,且用于将所述进气管流出的气体向侧向引导;

6、筛板,设置在所述进气管的内端上;所述筛板上设有若干分散孔,所述分散孔倾斜设置,且倾斜方向与所述导气板的气体引导方向一致。

7、其中,倾斜分散孔的设置可以帮助将颗粒物和杂质引导到封闭框架内侧面,在气流行进的过程中,颗粒物会因惯性作用而更容易沉积在内侧面上,减少对设备、工作台或产品的直接影响,这样可以提高颗粒物的沉积效率,减少其在其他位置积聚的可能性。此外,通过倾斜设置分散孔,使颗粒物沉积在封闭框架内侧面上,可以方便后续的清理和维护。相比于颗粒物积聚在设备或产品表面,清理封闭框架内侧面要相对容易得多,可以减少清理工作的复杂性和时间成本。

8、其中,筛板在进气管上的功能是过滤空气中的颗粒物和杂质,防止其进入封闭框架内部。导气板以及分散孔倾斜设置,能够将气流导向沿着封闭框架内侧面行进。这样可以在封闭框架内侧面形成均匀的气流分布,以确保整个框架内的空气流动更加均匀,避免局部死角或气流不畅的情况。

9、进一步优选的技术方案在于:硼扩散装置还包括设置在所述进气管内端侧的集尘槽单元;所述集尘槽单元的集尘方向与气流方向相反。

10、其中,集尘槽能够有效地收集上述因环形气流而沉积在封闭框架内侧面上的颗粒物。这些颗粒物可能是通过进气管进入封闭框架的空气中带入的,或者是由工作过程中产生的。集尘槽的设置可以防止颗粒物在封闭框架内部扩散和积聚,保持框架内部的清洁。

11、进一步优选的技术方案在于:硼扩散装置还包括用于调整所述导气板角度的转轴单元。转轴的设置可以更方便地调整导气板的角度,以应对不同场景的需求。

12、进一步优选的技术方案在于:所述集尘槽单元包括正向阻挡板,设置在所述正向阻挡板上侧端的侧向阻挡板,以及位于所述侧向阻挡板上的集尘槽。

13、进一步优选的技术方案在于:所述集尘槽单元还包括设置在所述正向阻挡板与所述侧向阻挡板之间的导尘板。

14、进一步优选的技术方案在于:所述转轴单元包括用于安装所述导气板的转轴,设置在所述转轴底端的限位齿轮,以及用于安装所述限位齿轮的限位齿槽。

15、进一步优选的技术方案在于:所述分散孔的孔径为5mm~15mm。

16、进一步优选的技术方案在于:所述导气板的倾斜角度为15°~30°,所述分散孔的倾斜角度为45°~60°。

17、进一步优选的技术方案在于:所述分散孔在筛板上的分布数量沿着导气方向逐渐减少。

18、上述任一项硼扩散装置的使用方法,包括如下步骤:

19、s01.使用所述封闭框架将所述工作台的四周封闭,将风机安装在所述进气管的外端;

20、s02.将所述筛板安装在所述进气管的内端,且调整所述导气板的倾斜角度;

21、s03.打开所述风机,将外部的空气经过过滤器和冷凝器后,送入到所述封闭框架内部。

22、综上,本专利技术具有以下有益之处:

23、1.导气板引导气体在封闭框架内形成环形气流,均匀气流的流向,使得颗粒物沉积在封闭框架内侧面上,可以方便后续的清理和维护;

24、2.倾斜分散孔的设置可以辅助导气板将颗粒物和杂质引导到封闭框架内侧面,并且过滤部分外部可能存在的颗粒物;

25、3.封闭框架内侧面设有集尘槽,能够收集大部分来自环形气流引导的位于封闭框架内侧面上的颗粒物;

26、4.导气板的倾斜角度能够通过转轴进行调整,以适配各种场景的需求。

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【技术保护点】

1.一种硼扩散装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种硼扩散装置,其特征在于,还包括用于调整所述导气板(3)角度的转轴单元(6)。

3.根据权利要求1所述的一种硼扩散装置,其特征在于,所述集尘槽单元(5)包括正向阻挡板(501),设置在所述正向阻挡板(501)上侧端的侧向阻挡板(502),以及位于所述侧向阻挡板(502)上的集尘槽(503)。

4.根据权利要求3所述的一种硼扩散装置,其特征在于,所述集尘槽单元(5)还包括设置在所述正向阻挡板(501)与所述侧向阻挡板(502)之间的导尘板(504)。

5.根据权利要求2所述的一种硼扩散装置,其特征在于,所述转轴单元(6)包括用于安装所述导气板(3)的转轴(601),设置在所述转轴(601)底端的限位齿轮(602),以及用于安装所述限位齿轮(602)的限位齿槽(603)。

6.根据权利要求1所述的一种硼扩散装置,其特征在于,所述分散孔(401)的孔径为5mm~15mm。

7.根据权利要求1所述的一种硼扩散装置,其特征在于,所述导气板(3)的倾斜角度为15°~30°,所述分散孔(401)的倾斜角度为45°~60°。

8.根据权利要求1所述的一种硼扩散装置,其特征在于,所述分散孔(401)在筛板(4)上的分布数量沿着导气方向逐渐减少。

9.如权利要求1~8任一项所述的一种硼扩散装置的使用方法,其特征在于,包括如下步骤:

...

【技术特征摘要】

1.一种硼扩散装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种硼扩散装置,其特征在于,还包括用于调整所述导气板(3)角度的转轴单元(6)。

3.根据权利要求1所述的一种硼扩散装置,其特征在于,所述集尘槽单元(5)包括正向阻挡板(501),设置在所述正向阻挡板(501)上侧端的侧向阻挡板(502),以及位于所述侧向阻挡板(502)上的集尘槽(503)。

4.根据权利要求3所述的一种硼扩散装置,其特征在于,所述集尘槽单元(5)还包括设置在所述正向阻挡板(501)与所述侧向阻挡板(502)之间的导尘板(504)。

5.根据权利要求2所述的一种硼扩散装置,其特征在于,所述转轴单元(6)包括用于...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈庆敏郁世杰李丙科
申请(专利权)人:无锡松煜科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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