【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅生产，更具体地说，本技术涉及一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒。
技术介绍
1、直拉法是一种常见且成熟的单晶生长方法，广泛应用于半导体、光电子和材料科学领域。它能够实现较大尺寸和高质量的单晶生长，为高性能器件和研究提供了重要的材料基础，单晶硅生长时，通过降低温度，使熔硅液面中心温度低于硅的熔点，能够控制硅晶体的生长。
2、授权公告号为cn213652720u的技术公开了一种单晶炉热屏导流筒，包括导流筒本体，所述导流筒本体包括外热屏和内热屏，外热屏和内热屏之间设有保温层结构，所述内热屏内为空腔体，所述内热屏空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置与导流筒本体之间通过连接杆固定，采用冷却装置增大纵向温度分布并把冷却装置与保温热屏分开，增强保温性能的同时形成保护气通道，使生产单晶更加稳定，降低了加热器消耗，增加了晶体的生长速度、节约了生产成本，使增加保温性、稳定性、和生长速度三者在同一单品炉热屏导流筒中实现。
3、上述专利在使用时，冷却装置与导流筒本体之间通过连接杆固定，即通过四根连接杆将冷却装置固定在导流筒热屏上，一体式结构，在长期的使用过程中不同位置会受到不同程度腐蚀，如果更换整个导流筒，维修成本较高。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供了一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，旨在解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，包
3、进一步的，所述冷却箱活动套设在第一筒体上，所述第一管道以及第二管道均与冷却箱固定连通。
4、进一步的，所述第一管道与第二管道相背的一侧均固定连通有接头。
5、进一步的，所述冷却箱顶端以及底端均固定连接有四个立杆，多个所述立杆一端均固定连接有垫块。
6、进一步的，所述冷却箱顶部设有安装板，所述安装板固定套设在第一筒体上，所述安装板上开设有四个安装槽。
7、进一步的，所述第二筒体上固定套设有支撑板，所述支撑板与第一筒体底端相接触。
8、可以看出，上述技术方案中，通过设置支撑板，支撑板对其中四个垫块进行支撑，从而对冷却箱进行支撑。
9、进一步的，所述螺纹环顶部设有限位板，所述限位板固定安装在第一筒体内部。
10、可以看出，上述技术方案中，通过设置限位板，限位板限制螺纹环向上移动的距离。
11、本技术的技术效果和优点：
12、1、本技术通过转动第二筒体并使得螺纹环延伸入第一筒体内，从而使得第二筒体与第一筒体相固定，将四个螺栓插入四个安装槽内，并通过四个螺栓对安装板进行固定，从而对第一筒体进行固定，同理对第一筒体与第二筒体进行拆卸，并对损坏的第一筒体或第二筒体进行拆卸更换，分体式结构，维修成本低；
13、2、本技术通过将外接水管与第一管道上的接头连接，冷却水通过第一管道进入冷却箱内，并通过第二管道流出，构成一个完整的水道，冷却水对第一筒体进行散热降温，通过设置多个立杆与多个垫块，对冷却箱进行限位，结构简单，使用方便。
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1.一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，包括第一筒体（1），所述第一筒体（1）底部设有第二筒体（2），其特征在于：所述第二筒体（2）顶端延伸入第一筒体（1）内部，所述第二筒体（2）顶端固定连接有螺纹环（8），且所述螺纹环（8）与第一筒体（1）螺纹连接，所述第一筒体（1）上设有散热组件（4），所述散热组件（4）包括冷却箱（401）、第一管道（402）以及第二管道（403）。
2.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，其特征在于：所述冷却箱（401）活动套设在第一筒体（1）上，所述第一管道（402）以及第二管道（403）均与冷却箱（401）固定连通。
3.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，其特征在于：所述第一管道（402）与第二管道（403）相背的一侧均固定连通有接头（404）。
4.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，其特征在于：所述冷却箱（401）顶端以及底端均固定连接有四个立杆（405），多个所述立杆（405）一端均固定连接有垫块（406）。
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1.一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，包括第一筒体（1），所述第一筒体（1）底部设有第二筒体（2），其特征在于：所述第二筒体（2）顶端延伸入第一筒体（1）内部，所述第二筒体（2）顶端固定连接有螺纹环（8），且所述螺纹环（8）与第一筒体（1）螺纹连接，所述第一筒体（1）上设有散热组件（4），所述散热组件（4）包括冷却箱（401）、第一管道（402）以及第二管道（403）。
2.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，其特征在于：所述冷却箱（401）活动套设在第一筒体（1）上，所述第一管道（402）以及第二管道（403）均与冷却箱（401）固定连通。
3.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，其特征在于：所述第一管道（402）与第二管道（403）相背的一侧均固定连通有接头（404）。
【专利技术属性】
技术研发人员：韩龙，王建利，郭嘉伟，董智慧，
申请(专利权)人：乌海市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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