一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒制造技术

本技术公开了一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，具体涉及单晶硅生产技术领域，包括第一筒体，第一筒体底部设有第二筒体，第二筒体顶端延伸入第一筒体内部，第二筒体顶端固定连接有螺纹环，且螺纹环与第一筒体螺纹连接，第一筒体上设有散热组件，散热组件包括冷却箱、第一管道以及第二管道，冷却箱活动套设在第一筒体上。本技术通过转动第二筒体并使得螺纹环延伸入第一筒体内，从而使得第二筒体与第一筒体相固定，将四个螺栓插入四个安装槽内，并通过四个螺栓对安装板进行固定，从而对第一筒体进行固定，同理对第一筒体与第二筒体进行拆卸，并对损坏的第一筒体或第二筒体进行拆卸更换，分体式结构，维修成本低。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅生产，更具体地说，本技术涉及一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒。

技术介绍

1、直拉法是一种常见且成熟的单晶生长方法，广泛应用于半导体、光电子和材料科学领域。它能够实现较大尺寸和高质量的单晶生长，为高性能器件和研究提供了重要的材料基础，单晶硅生长时，通过降低温度，使熔硅液面中心温度低于硅的熔点，能够控制硅晶体的生长。

2、授权公告号为cn213652720u的技术公开了一种单晶炉热屏导流筒，包括导流筒本体，所述导流筒本体包括外热屏和内热屏，外热屏和内热屏之间设有保温层结构，所述内热屏内为空腔体，所述内热屏空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置与导流筒本体之间通过连接杆固定，采用冷却装置增大纵向温度分布并把冷却装置与保温热屏分开，增强保温性能的同时形成保护气通道，使生产单晶更加稳定，降低了加热器消耗，增加了晶体的生长速度、节约了生产成本，使增加保温性、稳定性、和生长速度三者在同一单品炉热屏导流筒中实现。

3、上述专利在使用时，冷却装置与导流筒本体之间通过连接杆固定，即通过四根连接杆将冷却装置固定在导流筒热屏上，一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，包括第一筒体（1），所述第一筒体（1）底部设有第二筒体（2），其特征在于：所述第二筒体（2）顶端延伸入第一筒体（1）内部，所述第二筒体（2）顶端固定连接有螺纹环（8），且所述螺纹环（8）与第一筒体（1）螺纹连接，所述第一筒体（1）上设有散热组件（4），所述散热组件（4）包括冷却箱（401）、第一管道（402）以及第二管道（403）。

2.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，其特征在于：所述冷却箱（401）活动套设在第一筒体（1）上，所述第一管道（402）以及第二管道（403）均与冷却箱（401）固定连...

【技术特征摘要】

1.一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，包括第一筒体（1），所述第一筒体（1）底部设有第二筒体（2），其特征在于：所述第二筒体（2）顶端延伸入第一筒体（1）内部，所述第二筒体（2）顶端固定连接有螺纹环（8），且所述螺纹环（8）与第一筒体（1）螺纹连接，所述第一筒体（1）上设有散热组件（4），所述散热组件（4）包括冷却箱（401）、第一管道（402）以及第二管道（403）。

2.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，其特征在于：所述冷却箱（401）活动套设在第一筒体（1）上，所述第一管道（402）以及第二管道（403）均与冷却箱（401）固定连通。

3.根据权利要求1所述的一种基于直拉法生产单晶用热场分体式外导流筒，其特征在于：所述第一管道（402）与第二管道（403）相背的一侧均固定连通有接头（404）。

【专利技术属性】
技术研发人员：韩龙，王建利，郭嘉伟，董智慧，
申请(专利权)人：乌海市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：

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