一种单晶炉用无法兰加料器制造技术

技术编号:41246077 阅读:23 留言:0更新日期:2024-05-09 23:56
本技术公开了一种单晶炉用无法兰加料器,具体涉及单晶硅生产领域,包括石英管,所述石英管外侧设有升降防冲撞机构;所述升降防冲撞机构包括第一钨丝绳,所述第一钨丝绳位于石英管上方,所述第一钨丝绳底部活动连接有第一卡扣环,所述第一卡扣环底部固定设有十字板,所述十字板底部四个边位置处均固定设有第二钨丝绳,所述第二钨丝绳底部活动连接有第二卡扣环。本技术通过设置升降防冲撞机构,与现有技术相比,通过第一钨丝绳将石英管吊起放入单晶炉内,单晶炉内腔有两个固定环将石英管固定起来,单晶炉内腔底部的固定环四周的弹簧则会使石英管减少晃动提供了缓冲力避免了石英管底部与单晶炉碰撞。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅生产,更具体地说,本技术涉及一种单晶炉用无法兰加料器


技术介绍

1、在单晶硅制造过程中,使用二次加料器进行连续加料已普遍被推行。为保证二次加料器的安全可靠,大多数加料器加料桶使用耐高温不锈钢制造。这样既可以满足加料过程中的安全性同时又解决了加料器外部部件焊接的难题。不锈钢材质的大量使用加大了原料与金属的接触风险,为此在加料桶内设有石英套管,从而防止原料与金属直接接触。

2、中国专利公开了一种单晶炉加料器(授权公告号为:cn218404497u),针对现有技术颗粒硅粒径较小,且形状为球形,即使在现有加料器底部铺部分致密原生多晶硅料,颗粒硅任然可以从硅料间的缝隙流向底部,加料时依然存在跳硅现象;该技术在现有加料器底部灌入部分致密原生多晶硅,再灌入颗粒硅,那么加料作业时,可以让致密原生多晶硅先撒在高温硅液表面形成隔绝,但是在实际使用时,由于石英与不锈钢两种材料理化性质的不同,相互撞击极易造成石英套管的损坏,如果石英套管在加料过程中碎裂,将会造成焖炉事故。


技术实现思路

<p>1、为了克服现有本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉用无法兰加料器,包括石英管(1),其特征在于:所述石英管(1)外侧设有升降防冲撞机构;

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用无法兰加料器,其特征在于:所述石英管(1)内侧活动套接设有长管漏斗(16),所述长管漏斗(16)内侧固定设有多个半圆斜板(17),所述长管漏斗(16)外侧与环形盖板(8)活动套接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用无法兰加料器,其特征在于:所述石英管(1)外侧一段为斜面,所述石英管(1)外侧斜面与固定环(14)内侧活动卡接,所述连接杆(7)一侧固定设有圆环(18),所述圆环(18)内侧与长管漏斗(16)活动套接。

...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉用无法兰加料器,包括石英管(1),其特征在于:所述石英管(1)外侧设有升降防冲撞机构;

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用无法兰加料器,其特征在于:所述石英管(1)内侧活动套接设有长管漏斗(16),所述长管漏斗(16)内侧固定设有多个半圆斜板(17),所述长管漏斗(16)外侧与环形盖板(8)活动套接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用无法兰加料器,其特征在于:所述石英管(1)外侧一段为斜面,所述石英管(1)外侧斜面与固定环(14)内侧活动卡接,所述连接杆(7)一侧固定设有圆环(18),所述圆环(18)内侧与长管漏斗(16)活动套接。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用无法兰加料器,其特征在于:所述石...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭嘉伟王建利董智慧
申请(专利权)人:乌海市京运通新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1