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布里奇曼法晶体生长的温度控制方法技术

技术编号:41243800 阅读:21 留言:0更新日期:2024-05-09 23:55
本发明专利技术涉及晶体制备技术领域,具体公开了布里奇曼法晶体生长的温度控制方法,包括:将所述的加热管沿轴线方向划分为高温区和低温区;在所述的高温区和低温区中均匀设置温度采集点;将所述的加热模块均匀布置在所述的环形加热区中,并对所述的加热模块进行初始化调试;开启所有加热模块对所述的加热管进行加热,获取相同温区内各个组温度采集点的温度数据,并计算各个分组的平均温度值,当所述的平均温度值与设定温度值的偏差小于预设值时进入检测调整模式;检测调整模式:获取各组的温度采集点对应的温度数据,根据最大偏差值设定与该组温度采集点对应的加热模块的转速。本发明专利技术可以提高晶体结晶时的温度稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体制备,具体涉及布里奇曼法晶体生长的温度控制方法


技术介绍

1、布里奇曼法也称之为定向结晶法,即在特定温度场的条件下,使化合物保持全熔状态,而后从熔体的一端到另一端缓慢结晶。此法主要用来生长单晶,亦可用来做一次分凝简单提纯。布里奇曼法单晶生长方式有:

2、1)盛晶体的容器体系不动,而整个加热炉体系缓慢移动,依靠结晶部位的温度梯度移动而生成单晶;

3、2)加热炉体系不动,盛晶体的容器体系缓慢移动,使熔体缓慢地经过炉子特定的温度梯度部位而生长成单晶;

4、3)加热炉体系与盛晶体容器体系均不移动,而采用降温的方法使温度场缓慢移动而生成单晶,此方法称为梯度凝固法。

5、水平布里奇曼法主要用来生长砷化镓单晶,也用来生长砷化铟、锑化铟或锑化镓单晶。生长砷化镓单晶的水平布氏炉分为:两温区炉(2t-hb)、三温区炉(3t-hb)和梯度凝固炉(gf)。

6、两温区炉是hb法生长砷化镓单晶的典型方法。2t-hb炉的结构及其温度分布见图1。镓和砷真空熔封在石英容器内。高温区保持在砷化镓熔点以上(124本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.布里奇曼法晶体生长的温度控制方法,包括高温炉、低温炉和加热模块,以及设置于高温炉和低温炉内侧的环形加热区,所述的环形加热区内设置有供石英舟通过的加热管,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的布里奇曼法晶体生长的温度控制方法,其特征在于,将所述的加热模块环形布设在所述的环形加热区中,并将处于同一环的加热模块设为同一区,并设置驱动模块控制该区加热模块沿着加热管的轴心转动。

3.根据权利要求1所述的布里奇曼法晶体生长的温度控制方法,其特征在于,所述的初始化调试包括均一化测试和同步性测试,其中所述的均一化测试具体包括以下步骤:

4.根据权利要...

【技术特征摘要】

1.布里奇曼法晶体生长的温度控制方法,包括高温炉、低温炉和加热模块,以及设置于高温炉和低温炉内侧的环形加热区,所述的环形加热区内设置有供石英舟通过的加热管,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的布里奇曼法晶体生长的温度控制方法,其特征在于,将所述的加热模块环形布设在所述的环形加热区中,并将处于同一环的加热模块设为同一区,并设置驱动模块控制该区加热模块沿着加热管的轴心转动。

3.根据权利要求1所述的布里奇曼法晶体生长的温度控制方法,其特征在于,所述的初始化调试包括均一化测试和同步性测试,其中所述的均一化测试具体包括以下步骤:

4.根据权利要求3所述的布里奇曼法晶体生长的温度控制方法,其特征在于,在所述的均一化测试中,当所述的数据集的离散程度,不满足预设条件时,替换对应的加热模块,重新进行均一化测试。

5.根据权利要求3所述的布里...

【专利技术属性】
技术研发人员:罗毅陈菲菲赵显
申请(专利权)人:山东大学
类型:发明
国别省市:

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