【技术实现步骤摘要】
本技术涉及提升装置,更具体地说,本技术涉及一种直拉硅单晶炉热场提升装置。
技术介绍
1、硅单晶炉在拉制硅单晶的过程中,是在保护气体氩气保护中进行的,石墨加热器对石墨坩埚托内装满多晶硅原料的坩埚进行加热,使坩埚中的多晶硅原料熔化,并达到工艺拉晶要求。通常,单晶炉热场加热功率的50%左右用于维持其长晶条件,而其余的能量都消耗在环境中,因此,在单晶炉拉晶过程中,必须要使用保温材料将单晶炉炉体包裹,减少热量的散失,节约生产成本。随着单晶炉用保温材料的保温性能的增强和单晶炉热场尺寸的不断扩大,大热场大尺寸已经成为主流;随着热场的增大和保温效果的增强,带来的冷却时间也同步延长。
2、现有的单晶炉冷却方法是静态冷却,热对流效果不明显,且冷却时间较长,(32吋6h,33吋.36吋8h),严重降低了单晶硅的产量。若提前拆炉,由于温度太高会损坏单晶炉内的热场部件,增加生产成本。
3、如专利公布号cn212832368u公开的一种大尺寸热场埚底提升装置,该提升装置使用时借助外部悬臂提升机构将框体由吊钩处整体吊起,转动提升臂至下部卡块与卡入或脱离待提升的大尺寸热场埚底下方,同时通过提升臂至上端横杆进行定位固定,外部悬臂机构开启便可将埚底、埚帮及石英坩埚快捷、安全的提起并取出。该提升装置可进行安装作业真正解决目前大尺寸热场埚底、埚帮拆装的实际生产需求问题;
4、但是该结构在实际使用时,需要从顶端吊钩进行吊起,从而导致顶部需要始终呈现开口状态,从而造成热量散失,达不到保温功能,因此,现提出一种直拉硅单晶炉热场提升装置。<
...【技术保护点】
1.一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括保温桶(1),其特征在于:所述保温桶(1)底端支撑有底板(2),所述保温桶(1)两侧对称安装有螺杆(3),两个所述螺杆(3)共同配合连接有提升机构(4);
2.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:所述底板(2)上对称开设有插孔(5),所述提升机构(4)顶端分别插接在对应的插孔(5)内。
3.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:所述保温桶(1)两侧对称开设有安装槽,各所述安装槽内均安装有螺杆(3)。
4.根据权利要求2所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:各所述插孔(5)与安装槽配合连接,且插孔(5)的内径尺寸大于安装槽内设置的螺杆(3)直径尺寸。
5.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:所述转筒(406)顶端贯穿插过插孔(5)插接在安装槽内,且转筒(406)配合套接在对应的螺杆(3)上。
6.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:所述转筒(406)内开设有螺孔,且螺杆(3)
...【技术特征摘要】
1.一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括保温桶(1),其特征在于:所述保温桶(1)底端支撑有底板(2),所述保温桶(1)两侧对称安装有螺杆(3),两个所述螺杆(3)共同配合连接有提升机构(4);
2.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:所述底板(2)上对称开设有插孔(5),所述提升机构(4)顶端分别插接在对应的插孔(5)内。
3.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于:所述保温桶(1)两侧对称开设有安装槽,各所述安装槽内均安装有螺...
【专利技术属性】
技术研发人员:张彬彬,王建利,郭嘉伟,董智慧,
申请(专利权)人:乌海市京运通新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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