【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉，更具体地说，本技术涉及一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构。
技术介绍
1、单晶炉是半导体行业拉制单晶硅棒的主要设备。单晶炉的炉体通常包括副室、主室和下室。在拉晶过程中，多晶硅在主室中的石英坩埚中被高温熔化，通过引晶、转肩、等径、收尾、停炉等过程拉制出单晶硅，停炉一定时间后打开单晶炉副室的炉门，此时单晶硅棒的温度在300～500摄氏度，温度比较高，人工难以取出，通常采用取晶装置把单晶硅棒从单晶炉的副室中取出。
2、公告号为cn218089891u的技术公开了一种单晶炉中副室的安装结构，包括光轴、用于与单晶炉机架相连接的立柱以及用于与副室相连接的副室连接架，光轴竖向设置且轴向滑动、周向限位的连接在立柱的一侧，立柱上设有能够带动光轴上下移动的第一驱动组件，该申请中采用驱动齿轮与从动齿轮的啮合传动实现副室旋转，相较之前传统的曲柄连杆驱动结构，使得驱动件所受径向力大大减小，延长了驱动件的使用寿命；且能够有效降低旋转卡滞现象，提高副室旋转的稳定性以及顺畅性，且其旋转动作和角度更加精准可靠，上述专利在使用时，驱动电机带动副室进行旋转，在旋转的过程中副室旋转齿轮容易错位，导致副室旋转位置发生错位，未能达到正确的停止位置，使用效果较差。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供了一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，旨在解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，包括限位片，所
3、所述丝杆前后两端均与限位片固定连接，所述滑块活动套设在丝杆上，且滑块位于限位片一侧内部，所述插块一侧与光感限位器固定连接，所述插块另一侧贯穿滑块，所述螺栓与插块螺纹连接，且螺栓与滑块远离光感限位器的一侧相接触。
4、进一步的，所述滑块前后两侧均设有螺纹套，两个所述螺纹套均与丝杆螺纹连接。
5、进一步的，所述丝杆顶部设有滑杆，所述滑杆两端均与限位片固定连接，且滑杆一端贯穿滑块。
6、可以看出，上述技术方案中，滑块在滑杆上滑动，从而可以防止滑块水平移动时发生偏转。
7、进一步的，所述限位片内部底端设有固定组件，所述固定组件包括两个插杆、两个伸缩杆、固定块以及两个弹簧。
8、进一步的，所述固定块固定安装在限位片内部底端，两个所述伸缩杆分别位于两个弹簧内部，两个所述伸缩杆以及两个弹簧相向的一端均与固定块固定连接，两个所述伸缩杆以及两个弹簧相背的一端分别与两个插杆固定连接，两个所述插杆相背的一端均贯穿限位片。
9、进一步的，所述固定块前后两侧均设有l形板，两个所述l形板一端分别与两个插杆固定连接。
10、进一步的，两个所述l形板另一侧均固定连接有限位板，两个所述限位板远离两个l形板的一端均延伸入限位片内部。
11、可以看出，上述技术方案中，限位板在限位片内滑动，对两个l形板一侧进行限位，有效防止两个l形板偏转。
12、本技术的技术效果和优点：
13、1、本技术通过光感限位器进一步对副室旋转时进行限位，转动螺纹套并使其远离滑块，从而解除滑块与丝杆之间的固定，水平移动滑块从而调节光感限位器的位置，同理通过两个螺纹套对滑块进行挤压固定，限位效果好，不易发生错位；
14、2、本技术通过将限位片一端插入副室转轴上，并松开两个l形板，两个弹簧回弹带动两个插杆相背移动，使得两个插杆延伸入副室转轴内，结构简单，固定效果好。
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1.一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，包括限位片（1），所述限位片（1）一侧中心位置处设有光感限位器（2），其特征在于：所述限位片（1）内部设有用于连接光感限位器（2）的连接组件（3），所述连接组件（3）包括丝杆（301）、滑块（302）、插块（303）以及螺栓（304）；
2.根据权利要求1所述的一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，其特征在于：所述滑块（302）前后两侧均设有螺纹套（305），两个所述螺纹套（305）均与丝杆（301）螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，其特征在于：所述丝杆（301）顶部设有滑杆（306），所述滑杆（306）两端均与限位片（1）固定连接，且滑杆（306）一端贯穿滑块（302）。
4.根据权利要求1所述的一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，其特征在于：所述限位片（1）内部底端设有固定组件（4），所述固定组件（4）包括两个插杆（401）、两个伸缩杆（402）、固定块（403）以及两个弹簧（404）。
5.根据权利要求4所述的一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，其特征
6.根据权利要求4所述的一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，其特征在于：所述固定块（403）前后两侧均设有L形板（405），两个所述L形板（405）一端分别与两个插杆（401）固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，其特征在于：两个所述L形板（405）另一侧均固定连接有限位板（406），两个所述限位板（406）远离两个L形板（405）的一端均延伸入限位片（1）内部。
...【技术特征摘要】
1.一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，包括限位片（1），所述限位片（1）一侧中心位置处设有光感限位器（2），其特征在于：所述限位片（1）内部设有用于连接光感限位器（2）的连接组件（3），所述连接组件（3）包括丝杆（301）、滑块（302）、插块（303）以及螺栓（304）；
2.根据权利要求1所述的一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，其特征在于：所述滑块（302）前后两侧均设有螺纹套（305），两个所述螺纹套（305）均与丝杆（301）螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，其特征在于：所述丝杆（301）顶部设有滑杆（306），所述滑杆（306）两端均与限位片（1）固定连接，且滑杆（306）一端贯穿滑块（302）。
4.根据权利要求1所述的一种适用于单晶炉副室旋转的限位结构，其特征在于：所述限位片（1）内部底端设有固定组件（4），所述固定组件（4）包括两个插杆（401）、两个伸缩杆（402）、固定块（...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁佳旺，张永丰，刘晓辉，王洋，柳定军，杨洪玉，
申请(专利权)人：乌海市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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