一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒制造技术

技术编号:44952519 阅读:18 留言:0更新日期:2025-04-12 01:24
本技术公开了一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,具体涉及直拉法生产单晶生产技术领域,包括用于支撑的内衬,所述内衬上设置有连接组件,所述连接组件包括设置在内衬外侧的多个石墨保温板,且各所述石墨保温板均沿着内衬的轴心点圆周分布。本技术通过设置连接组件,相邻的两个石墨保温板经过相互靠近的卡槽和卡条卡在一起,使得各个石墨保温板得以套设在内衬的外侧,不仅方便装置安装的同时还能使得接缝处更加紧密,并且也方便装置运输,以提高装置在使用时的便捷性,并且当其中一个部件损坏只需替换一件即可继续使用,有效的延长了热场件寿命,降低了非硅成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及直拉法生产单晶生产,更具体地说,本技术涉及一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒


技术介绍

1、直拉法生产单晶石墨保温筒是一种用于单晶生长过程中的保温设备。在直拉法单晶生长过程中,需要将高温熔融的原料逐渐冷却结晶,形成单晶体。为了保持原料在合适温度下的稳定性,需要使用保温设备对熔融池进行保温;

2、直拉法生产单晶石墨保温筒一般由高纯度石墨材料制成,具有良好的导热性和耐高温性能。保温筒的形状一般为圆柱形,内部空心,可以容纳熔融池。保温筒的表面通常采用特殊的涂层或包覆材料,以提高保温效果和耐腐蚀性。

3、其中,经检索发现,专利申请号为cn202222749425.5的技术专利公开了一种新型单晶炉降氧上保温筒,筒体内部是台阶通孔,形成上腔和下腔,下腔的内径与其下方的中保温筒的内径相同,大于上腔的内径,筒体的侧壁上设有一圈抽成真空的环形的真空槽,真空槽的顶部用顶塞封闭,筒体的外侧壁上包裹一层保温材料;

4、该结构在使用时,通过单晶炉热场内部氩气流向更加顺畅,加快带走热场内部产生挥发物以及氧原子,防止挥发物在热场石墨件残留,有利于改善单晶炉热场内部拉晶的高纯环境且加大纵向温度梯度,从而减少断线、降氧效果明显,可以有效保持上保温筒的温度,减少热量发散,但是该结构在使用时是一体式结构,这样造成某一处断裂需要整个更换的功能,也不方便拆卸运输,在使用时不够便捷。


技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷,本技术提供一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,旨在解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、本技术是这样实现的,本技术提供如下技术方案:一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,包括用于支撑的内衬,所述内衬上设置有连接组件;

3、所述连接组件包括设置在内衬外侧的多个石墨保温板,且各所述石墨保温板均沿着内衬的轴心点圆周分布;

4、多个所述石墨保温板的表面一侧均开设有卡槽,多个所述石墨保温板的表面另一侧均设置有与卡槽相匹配的卡条;

5、多个所述石墨保温板的外侧均设置有外挡件。

6、可以看出,上述技术方案中,相邻的两个石墨保温板经过相互靠近的卡槽和卡条卡在一起,使得各个石墨保温板得以套设在内衬的外侧,不仅方便装置安装的同时还能使得接缝处更加紧密,也方便装置运输,以提高装置在使用时的便捷性,并且当其中一个部件损坏只需替换一件即可继续使用,有效的延长了热场件寿命,降低了非硅成本;

7、可选的,在一种可能的实施方式中,多个所述外挡件上均设置有波纹防护件,且各所述波纹防护件的竖截面形状均设置为波浪状,所述内衬的顶部设置有用于限位的延长筒,所述延长筒的顶部延伸至石墨保温板的顶端,多个所述波纹防护件的外侧均设置有用于保温的保温层,所述保温层内填充有锡箔保温层,所述波纹防护件与石墨保温板之间形成有中空隔挡腔,所述波纹防护件与石墨保温板可拆卸连接,所述内衬和石墨保温板的竖截面形状均设置为弧形,所述石墨保温板与内衬可拆卸连接;

8、可以看出,上述技术方案中,经过外挡件和波纹防护件的设置,能够有效的避免石墨保温板受到外力而发生损坏,同时经过中空隔挡腔的设置,能够有效的降低热传导而造成保温性能低的功能,并且经过保温层的设置,能够有效的将热量在外侧时进行隔挡,以提高保温效果。

9、本技术的技术效果和优点:

10、通过设置连接组件,通过内衬上设置的连接组件,相邻的两个石墨保温板经过相互靠近的卡槽和卡条卡在一起,使得各个石墨保温板得以套设在内衬的外侧,不仅方便装置安装的同时还能使得接缝处更加紧密;

11、并且也方便装置运输,以提高装置在使用时的便捷性,并且当其中一个部件损坏只需替换一件即可继续使用,有效的延长了热场件寿命,降低了非硅成本;

12、经过外挡件和波纹防护件的设置,能够有效的避免石墨保温板受到外力而发生损坏,同时经过中空隔挡腔的设置,能够有效的降低热传导而造成保温性能低的功能。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,其特征在于:包括用于支撑的内衬(1),所述内衬(1)上设置有连接组件;

2.根据权利要求1所述的一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,其特征在于:多个所述外挡件(5)上均设置有波纹防护件(6),且各所述波纹防护件(6)的竖截面形状均设置为波浪状。

3.根据权利要求1所述的一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,其特征在于:所述内衬(1)的顶部设置有用于限位的延长筒(7),所述延长筒(7)的顶部延伸至石墨保温板(2)的顶端。

4.根据权利要求2所述的一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,其特征在于:多个所述波纹防护件(6)的外侧均设置有用于保温的保温层(8),所述保温层(8)内填充有锡箔保温层。

5.根据权利要求4所述的一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,其特征在于:所述波纹防护件(6)与石墨保温板(2)之间形成有中空隔挡腔(9),所述波纹防护件(6)与石墨保温板(2)可拆卸连接。

6.根据权利要求1所述的一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,其特征在于:所述内衬(1)和石墨保温板(2)的竖截面形状均设置为弧形,所述石墨保温板(2)与内衬(1)可拆卸连接。

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【技术特征摘要】

1.一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,其特征在于:包括用于支撑的内衬(1),所述内衬(1)上设置有连接组件;

2.根据权利要求1所述的一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,其特征在于:多个所述外挡件(5)上均设置有波纹防护件(6),且各所述波纹防护件(6)的竖截面形状均设置为波浪状。

3.根据权利要求1所述的一种直拉法生产单晶用卡板式石墨保温筒,其特征在于:所述内衬(1)的顶部设置有用于限位的延长筒(7),所述延长筒(7)的顶部延伸至石墨保温板(2)的顶端。

4.根据权利要求2所述的一种直拉...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩龙王建利郭嘉伟董智慧
申请(专利权)人:乌海市京运通新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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