【技术实现步骤摘要】
本技术涉及长晶设备，具体而言，涉及一种径向长晶温度均匀的长晶设备。
技术介绍
1、现有的碳化硅长晶坩埚中，坩埚盖上方设置有石磨毡，以对坩埚进行保温，并且石磨毡上还开设有供温度检测仪的红外线穿过的通孔，这样，导致坩埚盖的上表面正对通孔的位置并没有被石墨毡完全包覆，即坩埚盖的中心位置(正对石墨毡上通孔的位置)是裸露的，致使坩埚盖的中心位置比坩埚盖的四周位置散热快，而坩埚盖内侧的中心位置是粘接籽晶的长晶区，致使坩埚盖内侧的籽晶的径向温度不均匀，一般会是籽晶的中心区域温度低、四周温度高，这会影响籽晶长晶的均匀性。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种径向长晶温度均匀的长晶设备，其能够提高坩埚盖散热的均匀性，从而提高籽晶径向温度的均匀性，提高籽晶长晶的均匀性。
2、本技术的实施例是这样实现的：
3、本技术实施例提供一种径向长晶温度均匀的长晶设备，长晶设备包括：
4、坩埚，包括坩埚桶和坩埚盖，坩埚盖盖设在坩埚桶的顶部，坩埚盖内侧用于粘接籽晶；
5、石墨毡组件，设置在坩埚盖的顶部，石墨毡组件的中心开设有供温度检测仪的红外线穿过的通孔，通孔靠近坩埚盖的底部开口的孔径大于或等于籽晶的直径，使坩埚盖粘接籽晶的位置向通孔内散热均匀。
6、本技术实施例提供的径向长晶温度均匀的长晶设备的有益效果包括：
7、在石墨毡组件上的通孔中，通孔靠近坩埚盖的底部开口的孔径大于或等于籽晶的直径，使坩埚盖粘接籽晶的位置均位于通孔内、均与气体接触，
8、在可选的实施方式中，通孔远离坩埚盖的顶部开口的孔径大于红外线的直径、且小于底部开口的孔径。
9、这样，通孔不仅供温度检测仪的红外线穿过，实现对坩埚盖的温度检测，还能够减小通孔内热量的散失速度，保证石墨毡组件对坩埚盖的保温效果。
10、在可选的实施方式中，通孔的孔径从底部开口到顶部开口逐步减小。
11、这样，通孔的孔径设计，在保证坩埚盖粘接籽晶的位置均匀散热的前提下，还可以提高对坩埚盖的保温效果。
12、在可选的实施方式中，通孔为阶梯孔或梯形孔。
13、其中，阶梯孔形式的通孔便于加工生产。
14、在可选的实施方式中，通孔包括从下至上依次连通的第一孔段、第二孔段和第三孔段，第一孔段的孔径大于或等于籽晶的直径，第二孔段的孔径从下至上逐步减小，第三孔段的孔径大于红外线的直径。
15、在可选的实施方式中，第一孔段的长度与通孔的总长度之比为：1/5～1/3。
16、这样，第一孔段的长度较为适中，经试验验证，坩埚盖粘接籽晶的位置温度较为均匀。
17、在可选的实施方式中，石墨毡组件包括从下至上依次层叠的多层石墨毡。
18、这样，石墨毡组件采用多层石墨毡层叠组合形成，不仅生产方便，而且组装、拆卸容易。
19、在可选的实施方式中，长晶设备还包括：
20、石墨桶，坩埚和石墨毡组件均设置在石墨桶内。
21、这样，石墨桶可以使石墨毡组件装配稳定，保持通孔的形状稳定。
22、在可选的实施方式中，坩埚桶包括从下至上依次层叠设置的桶体和中继环，坩埚盖盖设在中继环上。
23、在可选的实施方式中，长晶设备还包括：
24、真空腔体；
25、石墨加热器，设置在真空腔体内，石墨加热器围绕石墨桶设置；
26、电极棒，电极棒的一端连接到石墨加热器上，电极棒的另一端贯穿真空腔体的侧壁。
27、这样，石墨加热器围绕石墨桶设置有利于石墨桶以及坩埚均匀受热。
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1.一种径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述长晶设备包括：
2.根据权利要求1所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述通孔(9)远离所述坩埚盖(7)的顶部开口的孔径大于所述红外线的直径、且小于所述底部开口的孔径。
3.根据权利要求1所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述通孔(9)的孔径从所述底部开口到顶部开口逐步减小。
4.根据权利要求3所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述通孔(9)为阶梯孔或梯形孔。
5.根据权利要求1所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述通孔(9)包括从下至上依次连通的第一孔段(91)、第二孔段(92)和第三孔段(93)，所述第一孔段(91)的孔径大于或等于所述籽晶(200)的直径，所述第二孔段(92)的孔径从下至上逐步减小，所述第三孔段(93)的孔径大于所述红外线的直径。
6.根据权利要求5所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述第一孔段(91)的长度与所述通孔(9)的总长度之比为：1/5～1/3。
7.根据权利要求1所述
8.根据权利要求1所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述长晶设备还包括：
9.根据权利要求1所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述坩埚桶包括从下至上依次层叠设置的桶体(5)和中继环(6)，所述坩埚盖(7)盖设在所述中继环(6)上。
10.根据权利要求8所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述长晶设备还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述长晶设备包括：
2.根据权利要求1所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述通孔(9)远离所述坩埚盖(7)的顶部开口的孔径大于所述红外线的直径、且小于所述底部开口的孔径。
3.根据权利要求1所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述通孔(9)的孔径从所述底部开口到顶部开口逐步减小。
4.根据权利要求3所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述通孔(9)为阶梯孔或梯形孔。
5.根据权利要求1所述的径向长晶温度均匀的长晶设备，其特征在于，所述通孔(9)包括从下至上依次连通的第一孔段(91)、第二孔段(92)和第三孔段(93)，所述第一孔段(91)的孔径大于或等于所述籽晶(200)的直径，所述第二孔段(92)的...
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