一种新型单晶炉籽晶防护装置制造方法及图纸

技术编号:40154519 阅读:6 留言:0更新日期:2024-01-26 23:29
本技术公开了一种新型单晶炉籽晶防护装置,具体涉及单晶炉防护技术领域,包括防护底环,所述防护底环的顶端安装有螺旋防护杆,所述螺旋防护杆的顶端设有防护支撑组件;所述防护支撑组件包括设置在螺旋防护杆顶端的防护顶环,且防护顶环的内壁粘接固定有支撑环,所述支撑环的内壁呈圆环等距分布有多个支撑柱。本技术通过设置防护支撑组件,锁紧螺栓挤压单晶炉籽晶,套环螺纹块对支撑柱起到支撑作用,支撑环对防护顶环起到支撑作用,一旦外部物体碰撞到螺旋防护杆位置处,能够对单晶炉籽晶起到全方位保护作用,增强单晶炉籽晶的防护效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉防护,更具体地说,本技术涉及一种新型单晶炉籽晶防护装置


技术介绍

1、单晶生长炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶炉籽晶在取出后需要用到防护装置对其进行防护,避免单晶炉籽晶造成损坏。

2、现有公开文献中,专利公开号cn217869180u的技术专利公开了一种单晶炉石英加料器用法兰防护装置,包括石英筒及其上的上法兰和中法兰,上法兰与防护罩相配合,中法兰与导向环相配合;防护罩为两半式对称结构,其中部设有通孔a,防护罩包括底座、圆台结构的盖板和手柄;导向环为圆环形,其中部设有通孔a、外沿设有倾斜的导向面,导向面上设有螺栓安装位和紧固螺栓,导向环通过紧固螺栓与中法兰相连。该技术的优点是避免石英法兰磕碎,降低生产成本,对加料口有效封闭和防护,提高防尘效果,保证原料的纯净度和品质。

3、在上述防护装置使用时,通过上法兰和中法兰对单晶硅起到防护作用,而上法兰与中法兰之间存在裸露部位,裸露部位并未对单晶硅籽晶进行防护,一旦遇到凸出物品与单晶硅籽晶接触也会造成其碰撞损坏,因此防护效果较差。


技术实现思路

1、本技术技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题,提供了显著不同于现有技术的解决方案,为了克服现有技术的上述缺陷,本技术提供一种新型单晶炉籽晶防护装置。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种新型单晶炉籽晶防护装置,包括防护底环,所述防护底环的顶端安装有螺旋防护杆,所述螺旋防护杆的顶端设有防护支撑组件;

3、所述防护支撑组件包括设置在螺旋防护杆顶端的防护顶环,且防护顶环的内壁粘接固定有支撑环,所述支撑环的内壁呈圆环等距分布有多个支撑柱,每个支撑柱的一端部均固定有套环螺纹块,多个套环螺纹块所围成的空隙中设有单晶炉籽晶。

4、优选地,所述防护顶环、螺旋防护杆、防护底环均由聚四氟乙烯材质制成,所述螺旋防护杆分别与防护顶环和防护底环粘接固定。

5、优选地,所述套环螺纹块的内部设有用于挤压单晶炉籽晶的锁紧螺栓,且套环螺纹块与锁紧螺栓之间螺纹连接,所述防护底环的外壁呈圆环等距分布粘接有多个安装套环块,每个安装套环块的顶端均贯穿开设有横截面形状设为圆形的通孔。

6、优选地,所述防护顶环的外壁呈圆环等距分布固定有三个支撑块,每个支撑块的底端均粘接有竖向加固杆,在竖向加固杆的底端设有与防护底环外壁粘接固定的加固支块。

7、本技术的技术效果和优点:

8、1、通过设置防护支撑组件,锁紧螺栓挤压单晶炉籽晶,套环螺纹块对支撑柱起到支撑作用,支撑环对防护顶环起到支撑作用,一旦外部物体碰撞到螺旋防护杆位置处,可以通过防护底环和收纳对螺旋防护杆起到支撑作用,能够对单晶炉籽晶起到全方位保护作用,增强单晶炉籽晶的防护效果;

9、2、防护顶环受到竖向撞击时,通过加固支块对竖向加固杆起到竖向支撑作用,加固支块、竖向加固杆支撑块能够增强防护装置竖向支撑力,抗冲击性更好。

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【技术保护点】

1.一种新型单晶炉籽晶防护装置,包括防护底环(1),所述防护底环(1)的顶端安装有螺旋防护杆(2),其特征在于:所述螺旋防护杆(2)的顶端设有防护支撑组件;

2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉籽晶防护装置,其特征在于:所述防护顶环(3)、螺旋防护杆(2)、防护底环(1)均由聚四氟乙烯材质制成。

3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉籽晶防护装置,其特征在于:所述螺旋防护杆(2)分别与防护顶环(3)和防护底环(1)粘接固定。

4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉籽晶防护装置,其特征在于:所述套环螺纹块(6)的内部设有用于挤压单晶炉籽晶(7)的锁紧螺栓(8),且套环螺纹块(6)与锁紧螺栓(8)之间螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉籽晶防护装置,其特征在于:所述防护底环(1)的外壁呈圆环等距分布粘接有多个安装套环块(9),每个安装套环块(9)的顶端均贯穿开设有横截面形状设为圆形的通孔。

6.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉籽晶防护装置,其特征在于:所述防护顶环(3)的外壁呈圆环等距分布固定有三个支撑块(10),每个支撑块(10)的底端均粘接有竖向加固杆(11),在竖向加固杆(11)的底端设有与防护底环(1)外壁粘接固定的加固支块(12)。

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【技术特征摘要】

1.一种新型单晶炉籽晶防护装置,包括防护底环(1),所述防护底环(1)的顶端安装有螺旋防护杆(2),其特征在于:所述螺旋防护杆(2)的顶端设有防护支撑组件;

2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉籽晶防护装置,其特征在于:所述防护顶环(3)、螺旋防护杆(2)、防护底环(1)均由聚四氟乙烯材质制成。

3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉籽晶防护装置,其特征在于:所述螺旋防护杆(2)分别与防护顶环(3)和防护底环(1)粘接固定。

4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉籽晶防护装置,其特征在于:所述套环螺纹块(6)的内部设有用于...

【专利技术属性】
技术研发人员:李小龙王建利郭嘉伟董智慧
申请(专利权)人:乌海市京运通新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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