一种新型单晶炉副室自动清洁装置制造方法及图纸

技术编号:41231761 阅读:2 留言:0更新日期:2024-05-09 23:47
本技术公开了一种新型单晶炉副室自动清洁装置,具体涉及单晶炉技术领域,包括电动升降杆,所述电动升降杆顶部设有物品安装盘,所述物品安装盘外侧设有弹簧线,所述物品安装盘顶部设有电机,所述电机顶部设有内齿式回转支撑轴承,所述内齿式回转支撑轴承顶部设有清洁头,所述物品安装盘一侧设有第一支撑支架,所述物品安装盘另一侧设有第二支撑支架。本技术通过设置固定组件,拉动连接杆带动挤压筒移动,挤压筒带动伸缩杆移动,伸缩杆带动限位筒沿着延伸杆移动,使限位筒与限位孔分离,拉动定位杆,把定位杆与定位孔分离,可以对套管与安装柱进行分离,有利于对清洁头进行拆卸和更换。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉,更具体地说,本技术涉及一种新型单晶炉副室自动清洁装置


技术介绍

1、单晶硅棒在生产制备晶体的过程中,挥发物会附着在副室的内壁上,长时间使用时,沉积物容易在拉晶过程中掉落在副室内部,致使硅料纯度受到污染,容易影响单晶硅棒的成晶率和品质。

2、专利公布号cn215628409u的技术专利公开了一种单晶炉副室清理装置,该技术提供了一种单晶炉副室清理装置,通过电机箱驱动多级伸缩杆向上抬升,带动支撑环向上抬升进入单晶炉副室内,支撑环上的清洁材料对炉筒内壁进行清理,其自动化程度高,降低了操作工人的劳动强度,提高了单晶炉副室的清理效率。

3、但是该结构在实际使用时,虽然可以提高单晶炉副室的清理效率,但由于支撑环与连接杆为一体式结构,不便于对支撑环进行拆卸和更换。


技术实现思路

1、为了克服现有技术中的问题缺陷,本技术提供一种新型单晶炉副室自动清洁装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种新型单晶炉副室自动清洁装置,包括电动升降杆,所述电动升降杆顶部设有物品安装盘,所述物品安装盘外侧设有弹簧线,所述物品安装盘顶部设有电机,所述电机顶部设有内齿式回转支撑轴承,所述内齿式回转支撑轴承顶部设有清洁头,所述物品安装盘一侧设有第一支撑支架,所述物品安装盘另一侧设有第二支撑支架,所述清洁头底部设有安装柱,所述安装柱的数量设置为两个,两个所述安装柱与内齿式回转支撑轴承之间均设有固定组件。

3、可以看出,上述结构中,通过电机,可以带动清洁头旋转,有利于避免工作人员手动对副室进行清理,可以实现自动清理副室。

4、优选地,所述固定组件包括设置在清洁头底部的套管,所述套管的数量设置为两个,两个所述安装柱一端均位于套管内部,所述套管两侧表面均开设有孔洞,所述安装柱两侧表面均开设有定位孔,两个所述定位孔两侧均贯通设有限位孔,两个所述孔洞内部均设有定位杆,两个所述定位杆一端均穿过孔洞且延伸至套管外侧,两个所述定位杆另一端均穿过孔洞且延伸至套管内侧,所述定位杆另一端位于定位孔内部。

5、可以看出,上述结构中,把套管套接于安装柱外侧,把定位杆通过孔洞放置在定位孔内部,可以把清洁头固定在内齿轮顶部。

6、优选地,所述内齿式回转支撑轴承由内齿轮与支撑外圈组成,所述内齿轮与支撑外圈活动连接,所述电机输出端设有外齿轮,所述外齿轮与内齿轮相啮合。

7、可以看出,上述结构中,由于外齿轮与内齿轮相啮合,当外齿轮运转时,可以带动内齿轮运转,内齿轮带动清洁头旋转,可以对副室进行自动清理。

8、优选地,所述内齿轮表面开设有固定孔,所述固定孔的数量设置为多个,两个所述安装柱底部均位于固定孔内部,所述安装柱与固定孔固定连接。

9、可以看出,上述结构中,安装柱固定在固定孔内部,可以对清洁头进行支撑固定。

10、优选地,所述第一支撑支架一端与支撑外圈一侧固定连接,所述第二支撑支架一端与支撑外圈另一侧固定连接,所述第一支撑支架设置为椭圆形。

11、可以看出,上述结构中,通过第一支撑架与第二支撑架均与支撑外圈进行固定,可以对支撑外圈进行固定,避免支撑外圈在使用时,产生晃动,有利于提高支撑外圈的稳定性。

12、优选地,所述定位杆内部开设有凹槽,所述凹槽内部设有挤压筒,所述挤压筒一侧设有连接杆,所述连接杆一端穿过凹槽且延伸至定位杆外侧,所述挤压筒一侧设有固定杆,所述固定杆一端位于挤压筒内部,所述固定杆另一端与凹槽内壁固定连接。

13、可以看出,上述结构中,按压连接杆,连接杆对挤压筒产生推动力,使挤压筒沿着固定杆移动,可以带动限位筒移动,可以对套管进行固定。

14、优选地,所述固定杆两侧均设有延伸杆,两个所述延伸杆两侧均设有限位筒,所述定位杆两侧表面均开设有槽口,所述槽口与凹槽贯通连接,两个所述限位筒穿过槽口且延伸至限位孔内部,所述挤压筒两侧均设有伸缩杆,两个所述伸缩杆一端均与限位筒固定连接。

15、可以看出,上述结构中,挤压筒受压时,对伸缩杆产生动力,伸缩杆对限位筒产生推动力,可以使限位筒沿着延伸杆向一侧移动,可以使限位筒与限位孔相卡接,可以对套管与安装柱进行固定。

16、本技术的技术效果和优点:

17、1、通过设置固定组件,拉动连接杆带动挤压筒移动,挤压筒带动伸缩杆移动,伸缩杆带动限位筒沿着延伸杆移动,使限位筒与限位孔分离,拉动定位杆,把定位杆与定位孔分离,可以对套管与安装柱进行分离,与现有技术相比,有利于对清洁头进行拆卸和更换;

18、2、通过设置电机,启动电机,带动外齿轮旋转,外齿轮带动内齿轮旋转,可以带动清洁头旋转,用电机进行驱动完成清理,大大降低了员工劳动强度,同时提高了清洁效率与现有技术相比,不仅可以减轻工作人员的工作量,还提高了对副室的清洁效率。

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【技术保护点】

1.一种新型单晶炉副室自动清洁装置,包括电动升降杆(1),其特征在于:所述电动升降杆(1)顶部设有物品安装盘(2),所述物品安装盘(2)外侧设有弹簧线(3),所述物品安装盘(2)顶部设有电机(4),所述电机(4)顶部设有内齿式回转支撑轴承(5),所述内齿式回转支撑轴承(5)顶部设有清洁头(6),所述物品安装盘(2)一侧设有第一支撑支架,所述物品安装盘(2)另一侧设有第二支撑支架,所述清洁头(6)底部设有安装柱(9),所述安装柱(9)的数量设置为两个,两个所述安装柱(9)与内齿式回转支撑轴承(5)之间均设有固定组件。

2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉副室自动清洁装置,其特征在于:所述固定组件包括设置在清洁头(6)底部的套管(10),所述套管(10)的数量设置为两个,两个所述安装柱(9)一端均位于套管(10)内部,所述套管(10)两侧表面均开设有孔洞(11),所述安装柱(9)两侧表面均开设有定位孔(12),两个所述定位孔(12)两侧均贯通设有限位孔(13),两个所述孔洞(11)内部均设有定位杆(14),两个所述定位杆(14)一端均穿过孔洞(11)且延伸至套管(10)外侧,两个所述定位杆(14)另一端均穿过孔洞(11)且延伸至套管(10)内侧,所述定位杆(14)另一端位于定位孔(12)内部。

3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉副室自动清洁装置,其特征在于:所述内齿式回转支撑轴承(5)由内齿轮(15)与支撑外圈(16)组成,所述内齿轮(15)与支撑外圈(16)活动连接,所述电机(4)输出端设有外齿轮(17),所述外齿轮(17)与内齿轮(15)相啮合。

4.根据权利要求3所述的一种新型单晶炉副室自动清洁装置,其特征在于:所述内齿轮(15)表面开设有固定孔(18),所述固定孔(18)的数量设置为多个,两个所述安装柱(9)底部均位于固定孔(18)内部,所述安装柱(9)与固定孔(18)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉副室自动清洁装置,其特征在于:所述第一支撑支架一端与支撑外圈(16)一侧固定连接,所述第二支撑支架一端与支撑外圈(16)另一侧固定连接。

6.根据权利要求2所述的一种新型单晶炉副室自动清洁装置,其特征在于:所述定位杆(14)内部开设有凹槽(19),所述凹槽(19)内部设有挤压筒(20),所述挤压筒(20)一侧设有连接杆(21),所述连接杆(21)一端穿过凹槽(19)且延伸至定位杆(14)外侧,所述挤压筒(20)一侧设有固定杆(22),所述固定杆(22)一端位于挤压筒(20)内部,所述固定杆(22)另一端与凹槽(19)内壁固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种新型单晶炉副室自动清洁装置,其特征在于:所述固定杆(22)两侧均设有延伸杆(23),两个所述延伸杆(23)两侧均设有限位筒(24),所述定位杆(14)两侧表面均开设有槽口(25),所述槽口(25)与凹槽(19)贯通连接,两个所述限位筒(24)穿过槽口(25)且延伸至限位孔(13)内部,所述挤压筒(20)两侧均设有伸缩杆(26),两个所述伸缩杆(26)一端均与限位筒(24)固定连接。

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【技术特征摘要】

1.一种新型单晶炉副室自动清洁装置,包括电动升降杆(1),其特征在于:所述电动升降杆(1)顶部设有物品安装盘(2),所述物品安装盘(2)外侧设有弹簧线(3),所述物品安装盘(2)顶部设有电机(4),所述电机(4)顶部设有内齿式回转支撑轴承(5),所述内齿式回转支撑轴承(5)顶部设有清洁头(6),所述物品安装盘(2)一侧设有第一支撑支架,所述物品安装盘(2)另一侧设有第二支撑支架,所述清洁头(6)底部设有安装柱(9),所述安装柱(9)的数量设置为两个,两个所述安装柱(9)与内齿式回转支撑轴承(5)之间均设有固定组件。

2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉副室自动清洁装置,其特征在于:所述固定组件包括设置在清洁头(6)底部的套管(10),所述套管(10)的数量设置为两个,两个所述安装柱(9)一端均位于套管(10)内部,所述套管(10)两侧表面均开设有孔洞(11),所述安装柱(9)两侧表面均开设有定位孔(12),两个所述定位孔(12)两侧均贯通设有限位孔(13),两个所述孔洞(11)内部均设有定位杆(14),两个所述定位杆(14)一端均穿过孔洞(11)且延伸至套管(10)外侧,两个所述定位杆(14)另一端均穿过孔洞(11)且延伸至套管(10)内侧,所述定位杆(14)另一端位于定位孔(12)内部。

3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉副室自动清洁装置,其特征在于:所述内齿式回转支撑轴承(5)由内齿轮(15)与支撑外圈(16)组成,所述内齿轮(15)与支撑外圈(16)活动连接,所述电机(4)输出端设有...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨海玥王建利郭嘉伟董智慧
申请(专利权)人:乌海市京运通新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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