【技术实现步骤摘要】
本申请涉及气液输送系统领域，尤其是涉及一种鼓泡供应系统。
技术介绍
1、半导体硅片外延层的制作通常采用气相外延工艺，即由氢气携带硅源(通常为三氯氢硅，其具有外延生长速度快以及使用安全的特性)进入置有硅衬底的反应室并在反应室中进行高温化学反应，以使得含硅反应气体还原或热分解，从而使所产生的硅原子在硅衬底的表面上外延生长。具体地，目前常通过鼓泡供应系统来实现上述含硅反应气体的制作，该鼓泡供应系统能够将工艺气体(即氢气)作为载气通入液态源(即三氯化硅溶液)中，以形成含有液态源蒸汽的气泡(即含硅反应气体)，进而再将该蒸汽输出至外延机台进行外延生长。
2、但现有的鼓泡供应系统存在以下问题：一是由于无法对三氯化硅溶液的含量进行实时监测，从而容易导致含硅反应气体供应不及时且不连续，进而影响半导体硅片外延层的质量；二是现有的鼓泡供应系统并没有安全可靠的监测模块，若发生例如三氯化硅泄漏等险情无法及时处理；三是现有的鼓泡供应系统不便于对管路进行清洁，如此也会影响半导体硅片外延层的质量。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种鼓泡供应系统，以解决现有的鼓泡供应系统无法及时连续地供应含硅反应气体、没有安全可靠的监测模块以及不便于对管路进行清洁的问题。
2、根据上述目的，本技术的第一方面提供一种鼓泡供应系统，其中，所述鼓泡供应系统包括：
3、液罐，所述液罐连接有检测组件，以能够检测所述液罐的液体含量；
4、供气支路，所述供气支路的两端分别形成有第
5、供液支路，所述供液支路的两端分别形成有进液口和第二排气口，所述液罐与所述供液支路连通并且位于所述进液口和所述第二排气口之间；所述检测组件与所述供液支路连接，以能够调节所述供液支路的通断；
6、吹扫支路，所述吹扫支路的一端形成有用于通入洁净气体的第二进气口，所述吹扫支路分别与所述供气支路和所述供液支路连通，以能够分别对所述供气支路或所述供液支路进行清扫；以及
7、防护组件，用于监测所述鼓泡供应系统的运行安全。
8、优选地，所述液罐的顶部形成有第一接口和第二接口；所述供气支路包括第一子供气支路和第二子供气支路，所述第一子供气支路第一端的端部形成为所述第一进气口，所述第一子供气支路第二端的端部与所述第一接口连通；所述第二子供气支路第一端的端部与所述第二接口连通，所述第二子供气支路第二端的端部形成为所述第一排气口。
9、优选地，所述第一子供气支路设置有第一阀门组，所述第一阀门组包括设置于所述第一子供气支路的第二端的第一隔离阀；所述第二子供气支路设置有第二阀门组，所述第二阀门组包括设置于所述第二子供气支路的第一端的第二隔离阀。
10、优选地，所述供液支路包括第一子供液支路和第二子供液支路；所述液罐的顶部还形成有第三接口；所述第一子供液支路第一端的端部形成为所述进液口，所述第一子供液支路的第二端与所述第三接口连通；所述第二子供液支路的第一端与所述第二子供气支路连通，并且所述第二子供液支路的第一端位于所述第二隔离阀远离所述第二接口的一端；所述第二子供液支路第二端的端部形成为所述第二排气口。
11、优选地，所述第一子供液支路和所述第二子供液支路分别设置有第三阀门组和第四阀门组；所述第三阀门组包括设置于所述第一子供液支路的第二端的第三隔离阀。
12、优选地，所述检测组件包括液位计和重量传感器，所述液位计的检测端延伸至所述液罐的内部，所述液位计的输出端与所述第三阀门组以及所述第四阀门组通讯连接或电连接；所述重量传感器位于所述液罐的底部并与所述第三阀门组以及所述第四阀门组通讯连接或电连接。
13、优选地，所述吹扫支路包括第一子吹扫支路，所述第一子吹扫支路的第一端形成为第三进气口，所述第一子吹扫支路的第二端与所述第二子供液支路的第二端连通；所述第一子吹扫支路还设置有真空发生器。
14、优选地，所述吹扫支路还包括第二子吹扫支路，所述第二子吹扫支路的第一端形成为所述第二进气口，所述第二子吹扫支路的第二端与所述真空发生器连通。
15、优选地，所述吹扫支路还包括三条第三子吹扫支路，每条所述第三子吹扫支路的第一端分别与所述第二子吹扫支路连通，三条所述第三子吹扫支路的第二端分别与所述第一子供气支路、所述第二子供气支路以及所述第一子供液支路连通，以能够分别对所述供气支路和所述供液支路进行吹扫。
16、优选地，所述防护组件包括烟雾报警器、火焰侦测器以及高温开关。
17、根据本技术的鼓泡供应系统，通过供气支路能够向液罐中输入氢气，通过供液支路能够向液罐中输入三氯化硅溶液，以使得含硅反应气体由供气支路的第一排气口排出；此外，该液罐设置有与供液支路连接的检测组件，该检测组件能够检测液罐中的液体含量，进而根据检测情况来调节供液支路的通断；如此，将供气支路和供液支路同时导通，即能够连续及时地输出含硅反应气体。
18、此外，本技术的鼓泡供应系统还设置有吹扫支路，在该吹扫支路中通入洁净气体就能够便捷地实现对供气支路或供液支路的清扫，以保证半导体硅片外延层的质量。
19、此外，本技术的鼓泡供应系统还设置有能够监测本供应系统运行安全的防护组件，从而极大地提高了本供应系统运行时的安全性。
20、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
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1.一种鼓泡供应系统，其特征在于，所述鼓泡供应系统包括：
2.根据权利要求1所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述液罐的顶部形成有第一接口和第二接口；所述供气支路包括第一子供气支路和第二子供气支路，所述第一子供气支路第一端的端部形成为所述第一进气口，所述第一子供气支路第二端的端部与所述第一接口连通；所述第二子供气支路第一端的端部与所述第二接口连通，所述第二子供气支路第二端的端部形成为所述第一排气口。
3.根据权利要求2所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述第一子供气支路设置有第一阀门组，所述第一阀门组包括设置于所述第一子供气支路的第二端的第一隔离阀；所述第二子供气支路设置有第二阀门组，所述第二阀门组包括设置于所述第二子供气支路的第一端的第二隔离阀。
4.根据权利要求3所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述供液支路包括第一子供液支路和第二子供液支路；所述液罐的顶部还形成有第三接口；所述第一子供液支路第一端的端部形成为所述进液口，所述第一子供液支路的第二端与所述第三接口连通；所述第二子供液支路的第一端与所述第二子供气支路连通，并且所述第二子供液支路的第一
5.根据权利要求4所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述第一子供液支路和所述第二子供液支路分别设置有第三阀门组和第四阀门组；所述第三阀门组包括设置于所述第一子供液支路的第二端的第三隔离阀。
6.根据权利要求5所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述检测组件包括液位计和重量传感器，所述液位计的检测端延伸至所述液罐的内部，所述液位计的输出端与所述第三阀门组以及所述第四阀门组通讯连接或电连接；所述重量传感器位于所述液罐的底部并与所述第三阀门组以及所述第四阀门组通讯连接或电连接。
7.根据权利要求4所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述吹扫支路包括第一子吹扫支路，所述第一子吹扫支路的第一端形成为第三进气口，所述第一子吹扫支路的第二端与所述第二子供液支路的第二端连通；所述第一子吹扫支路还设置有真空发生器。
8.根据权利要求7所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述吹扫支路还包括第二子吹扫支路，所述第二子吹扫支路的第一端形成为所述第二进气口，所述第二子吹扫支路的第二端与所述真空发生器连通。
9.根据权利要求8所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述吹扫支路还包括三条第三子吹扫支路，每条所述第三子吹扫支路的第一端分别与所述第二子吹扫支路连通，三条所述第三子吹扫支路的第二端分别与所述第一子供气支路、所述第二子供气支路以及所述第一子供液支路连通，以能够分别对所述供气支路和所述供液支路进行吹扫。
10.根据权利要求1所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述防护组件包括烟雾报警器、火焰侦测器以及高温开关。
...【技术特征摘要】
1.一种鼓泡供应系统，其特征在于，所述鼓泡供应系统包括：
2.根据权利要求1所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述液罐的顶部形成有第一接口和第二接口；所述供气支路包括第一子供气支路和第二子供气支路，所述第一子供气支路第一端的端部形成为所述第一进气口，所述第一子供气支路第二端的端部与所述第一接口连通；所述第二子供气支路第一端的端部与所述第二接口连通，所述第二子供气支路第二端的端部形成为所述第一排气口。
3.根据权利要求2所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述第一子供气支路设置有第一阀门组，所述第一阀门组包括设置于所述第一子供气支路的第二端的第一隔离阀；所述第二子供气支路设置有第二阀门组，所述第二阀门组包括设置于所述第二子供气支路的第一端的第二隔离阀。
4.根据权利要求3所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述供液支路包括第一子供液支路和第二子供液支路；所述液罐的顶部还形成有第三接口；所述第一子供液支路第一端的端部形成为所述进液口，所述第一子供液支路的第二端与所述第三接口连通；所述第二子供液支路的第一端与所述第二子供气支路连通，并且所述第二子供液支路的第一端位于所述第二隔离阀远离所述第二接口的一端；所述第二子供液支路第二端的端部形成为所述第二排气口。
5.根据权利要求4所述的鼓泡供应系统，其特征在于，所述第一子供液支路和所述第二子供液支路分别设置有第三阀门组和第四阀门组...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯建，
申请(专利权)人：鸿舸半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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