【技术实现步骤摘要】
本申请属于外延工艺，具体涉及一种外延加热装置及外延设备。
技术介绍
1、目前的反应室通过调节加热灯组的亮度来调节温场，从而调节反应室中晶圆的外延层厚度。
2、然而，目前的技术中，在生产对厚度有特殊需求的产品时，仅通过调节加热灯组的功率无法达到产品所需的目标值和目标结构，外延层各区域厚度的可调整范围较小，无法满足产品的生产需要。
技术实现思路
1、专利技术目的：本申请提供一种外延加热装置，用于解决外延层各区域厚度可调整范围较小的技术问题；本申请的另一目的在于提供一种外延设备。
2、技术方案，本申请提供了一种外延加热装置，包括：
3、第一壳体，所述第一壳体用于围成加热腔和连通于所述加热腔一侧的出光口，所述第一壳体具有朝向所述加热腔设置的第一反射面；
4、加热灯组，所述加热灯组设置于所述加热腔内，且沿着所述第一壳体的周向设置，所述加热灯组与所述第一壳体相连接，所述第一反射面用于将所述加热灯组发出的至少部分光线反射至所述出光口；
5、第一消光层，设置于所述加热腔内，且覆盖至少部分所述第一反射面，所述第一消光层用于散射所述加热灯组发出的至少部分光线。
6、在一些实施例中，所述外延加热装置还包括：
7、反射壁，所述加热灯组环绕所述反射壁设置；所述反射壁具有第二反射面，所述第二反射面与所述第一反射面相对设置；
8、第二消光层，所述第二消光层设置于所述加热腔内，且覆盖至少部分所述第二反射面，所述第二消光
9、在一些实施例中，所述反射壁还具有第三反射面，所述第三反射面与所述第二反射面连接，且第三反射面位于所述第二反射面靠近所述出光口的一侧，所述第三反射面倾斜于所述第二反射面设置，所述第三反射面用于将至少部分光线反射至出光口；
10、所述外延加热装置还包括第三消光层，所述第三消光层设置于所述加热腔内，且覆盖至少部分所述第三反射面，所述第三消光层用于将所述加热灯组的至少部分光线散射。
11、在一些实施例中，所述加热灯组包括多个第一子灯组和多个第二子灯组，所述第一子灯组和所述第二子灯组沿所述第一壳体的周向间隔设置；
12、所述出光口包括第一出光区和第二出光区，所述第二出光区环绕所述第一出光区设置；
13、其中，所述第一子灯组用于将光线照射至第一出光区，所述第二子灯组用于将光线照射至第二出光区。
14、在一些实施例中，所述第一消光层包括：
15、第一子消光层，所述第一子消光层与一所述第一子灯组层对应，所述第一子消光层的至少部分位于相对应的所述第一子灯组和所述出光口之间；
16、第二子消光层，所述第二子消光层与一所述第二子灯组层对应，所述第二子消光层的至少部分位于相对应的所述第二子灯组和所述出光口之间；
17、所述第一子消光层和所述第二子消光层沿所述第一壳体的周向间隔设置。
18、在一些实施例中，所述第一子灯组包括至少两个第一加热灯，所述第二子灯组包括至少两个第二加热灯；
19、所述第一子消光层与一所述第一加热灯对应，所述第一子消光层的至少部分位于相对应的所述第一加热灯和出光口之间；
20、所述第二子消光层与一所述第二加热灯对应，所述第二子消光层的至少部分位于相对应的所述第二加热灯和出光口之间。
21、在一些实施例中，所述第一消光层的粗糙度大于所述第一反射面的粗糙度。
22、相应的，本申请还提供一种外延设备，包括上述实施例中任一项所述的外延加热装置。
23、在一些实施例中，所述外延设备还包括与所述外延加热装置相连接的生长器，所述生长器具有生长腔和连通所述生长腔的至少两个连接孔，所述至少两个连接孔相背离；所述外延设备包括至少两个所述外延加热装置，每个所述外延加热装置的出光口与一个所述连接孔连通。
24、在一些实施例中，所述加热灯组包括多个内圈灯管和多个外圈灯管；所述加热灯组包括第一子灯组和第二子灯组；
25、所述生长器包括位于生长腔的基座，所述基座包括中心区和边缘区，所述边缘区环绕所述中心区设置，所述第一子灯组用于照射所述中心区，所述第二子灯组用于照射所述边缘区。
26、有益效果：与现有技术相比，本申请实施例提供的外延加热装置，包括第一壳体、加热灯组和第一消光层，第一壳体用于围成加热腔和连通于加热腔一侧的出光口，第一壳体具有朝向加热腔设置的第一反射面；加热灯组设置于加热腔内，且沿着第一壳体的周向设置，加热灯组与第一壳体相连接，第一反射面用于将加热灯组发出的至少部分光线反射至出光口；设置于加热腔内，且覆盖至少部分第一反射面，第一消光层用于散射加热灯组发出的至少部分光线。本申请通过设置第一消光层，能够散射部分照射至第一反射面的光线，避免该部分光线自第一反射面反射至出光口，进而使得外延层的厚度进一步降低。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种外延加热装置(1)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的外延加热装置(1)，其特征在于，所述外延加热装置(1)还包括：
3.根据权利要求2所述的外延加热装置(1)，其特征在于，所述反射壁(14)还具有第三反射面(142)，所述第三反射面(142)与所述第二反射面(141)连接，且第三反射面(142)位于所述第二反射面(141)靠近所述出光口(113)的一侧，所述第三反射面(142)倾斜于所述第二反射面(141)设置，所述第三反射面(142)用于将至少部分光线反射至出光口(113)；
4.根据权利要求1所述的外延加热装置(1)，其特征在于，所述加热灯组(12)包括多个第一子灯组(121)和多个第二子灯组(122)，所述第一子灯组(121)和所述第二子灯组(122)沿所述第一壳体(11)的周向间隔设置；
5.根据权利要求4所述的外延加热装置(1)，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的外延加热装置(1)，其特征在于，所述第一子灯组(121)包括至少两个第一加热灯(123)，所述第二子灯组(122)包括至少两个
7.根据权利要求1所述的外延加热装置(1)，其特征在于，所述第一消光层(13)的粗糙度大于所述第一反射面(112)的粗糙度。
8.一种外延设备，其特征在于，包括如权利要求1-7中任一项所述的外延加热装置(1)。
9.根据权利要求8所述的外延设备，其特征在于，所述外延设备还包括与所述外延加热装置(1)相连接的生长器(2)，所述生长器(2)具有生长腔(21)和连通所述生长腔(21)的至少两个连接孔(22)，所述至少两个连接孔(22)相背离；所述外延设备包括至少两个所述外延加热装置(1)，每个所述外延加热装置(1)的出光口(113)与一个所述连接孔(22)连通。
10.根据权利要求9所述的外延设备，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种外延加热装置(1)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的外延加热装置(1)，其特征在于，所述外延加热装置(1)还包括：
3.根据权利要求2所述的外延加热装置(1)，其特征在于，所述反射壁(14)还具有第三反射面(142)，所述第三反射面(142)与所述第二反射面(141)连接，且第三反射面(142)位于所述第二反射面(141)靠近所述出光口(113)的一侧，所述第三反射面(142)倾斜于所述第二反射面(141)设置，所述第三反射面(142)用于将至少部分光线反射至出光口(113)；
4.根据权利要求1所述的外延加热装置(1)，其特征在于，所述加热灯组(12)包括多个第一子灯组(121)和多个第二子灯组(122)，所述第一子灯组(121)和所述第二子灯组(122)沿所述第一壳体(11)的周向间隔设置；
5.根据权利要求4所述的外延加热装置(1)，其特征在于，
<...【专利技术属性】
技术研发人员：龚赛，杨振域，郝小辉，杜金生，陆波，蒋杰，沈宇晨，
申请(专利权)人：中环领先半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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