【技术实现步骤摘要】
本技术涉及清洁设备，具体的，是一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置。
技术介绍
1、碳化硅(sic)是一种化合物半导体材料，被称为第三代半导体材料。由于sic具有宽禁带宽度，从而导致其有高击穿电场强度、低本征载流子浓度，使得sic功率器件具有耐高压、体积小、功耗低、耐高温等优势。为了实现集电区击穿电压高，串联电阻小的特点，用于制作碳化硅电子电力器件的材料通常是在电阻极低的碳化硅衬底上生长一层高电阻率的碳化硅外延层。在目前商业化的碳化硅外延设备中，反应腔室内反应器的设计和制造对于外延生长过程中温场和流场的分布至关重要。
2、碳化硅外延反应器一般由保温盖、加热座、气浮旋转盘、侧壁、盖板等部件组成。在外延工艺过程中，随着源气反应的不断进行，反应器内壁会逐渐产生沉积物颗粒。这些颗粒随着工艺次数的增加越来越厚，若不能及时有效的清洁去除，在下一轮的外延生长过程中会存在颗粒物掉落的风险，从而致使外延膜层中形成影响器件性能的掉落物/三角形等致命缺陷。因此，现阶段的外延设备一般每沉积一定厚度的碳化硅膜层后都必须对反应器进行拆卸和清洁，以保证外延片生长质量。
3、目前，碳化硅反应器的清洁一般在独立的房间中进行，对厂房设计和配置具有一定要求，空间位置上不利于技术人员快速处理。且清洁操作中需要人员与反应器直接接触，存在一定的安全隐患。
4、因此，有必要提供一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置。
2、技术方案如下：
3、一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，包括主箱体和吸尘机；
4、主箱体设置有上清洁腔和下支撑架，上清洁腔对应设置有正面可升降式透明门幕；正面可升降式透明门幕上开设有左右对称式手套孔；正面可升降式透明门幕下拉后对应上清洁腔形成清洁用的、封闭的微环境。
5、进一步的，吸尘机通过吸风管连接主箱体侧面。
6、进一步的，主箱体和吸尘机底部均安装有可固定式滑轮。
7、进一步的，主箱体和吸尘机外部均设有控制器电连接档位的工作开关，工作中可根据实际需求切换不同档位，形成白光led灯亮度和吸尘机吹扫效率按需切换结构。
8、进一步的，上清洁腔包括侧面固定式透明门幕。
9、进一步的，白光led灯设置于上清洁腔的上部。
10、进一步的，正面可升降式透明门幕和侧面固定式透明门幕均用做清洁观察口，形成可观察式清洁结构。
11、进一步的，上清洁腔和下支撑架之间通过大理石台面隔开。
12、进一步的，大理石台面上方铺设有缓冲垫。
13、与现有技术相比，本技术的有益效果为：
14、1)无需特定空间和环境，可移动式和微环境的特点简化了对清洁场所的要求，提高了清洁效率；
15、2)微环境和手套孔设计避免了技术人员与反应器中对人体有害的颗粒物质直接接触，改善了作业环境；
16、3)吸尘机部分可对密闭微环境中清洁去除的颗粒物实现快速有效的吸附，清理过程简单高效。
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1.一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：包括主箱体和吸尘机；
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：吸尘机通过吸风管连接主箱体侧面。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：主箱体和吸尘机底部均安装有可固定式滑轮。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：主箱体和吸尘机外部均设有控制器电连接档位的工作开关，工作中可根据实际需求切换不同档位，形成白光LED灯亮度和吸尘机吹扫效率按需切换结构。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：上清洁腔包括侧面固定式透明门幕。
6.根据权利要求4所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：白光LED灯设置于上清洁腔的上部。
7.根据权利要求5所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：正面可升降式透明门幕和侧面固定式透明门幕均用做清洁观察口，形成可观察式清洁结构。
8.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁
9.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：台面上方铺设有缓冲垫。
...【技术特征摘要】
1.一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：包括主箱体和吸尘机；
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：吸尘机通过吸风管连接主箱体侧面。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：主箱体和吸尘机底部均安装有可固定式滑轮。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅外延反应器便捷清洁装置，其特征在于：主箱体和吸尘机外部均设有控制器电连接档位的工作开关，工作中可根据实际需求切换不同档位，形成白光led灯亮度和吸尘机吹扫效率按需切换结构。
5.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：王权，孙远军，李欣，陈海波，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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