温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种鼓泡供应系统，涉及气液输送系统领域。根据本鼓泡供应系统，通过供气支路能够向液罐中输入氢气，通过供液支路能够向液罐中输入三氯化硅溶液，以使得含硅反应气体由供气支路的第一排气口排出；此外，该液罐设置有与供液支路连接的检测组件，该...
该专利属于鸿舸半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鸿舸半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。