一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复方法及装置，所述方法包括：（1）提供一个板式PEALD沉积设备；（2）将经过切片的太阳能电池片置于载具中，并使得切片断面完全外露，预热；（3）通入TMA、水蒸汽和氮气，在切片断面表面沉积氧化铝薄膜；（4）氮气吹扫，通入TMA、氨气和氮气，在氧化铝薄膜表面沉积氮化铝薄膜；（5）退火处理，破真空出腔。本发明专利技术通过在经过切片的太阳能电池片的切片断面表面依次沉积氧化铝层和氮化铝层，钝化修复电池片激光半片切割处损伤，使得修复后的半片太阳能电池片的效率提升0.1~0.3%。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏电池，特别是涉及一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复方法及装置。

技术介绍

1、目前，主流电池片生产采用182mm*182mm以及210mm*210mm等大尺寸硅片，为了提高组件的功率，行业普遍使用半片组件技术，将整片电池片通过激光等方式切割成半片电池片，如182mm*91mm、210mm*105mm，使得通过每根主栅的电流降低为原来的1/2，因此，半片组件内部功率耗损降低为整片组件的1/4。相比全片电池组件，半片组件功率可以提升5%-10%，几乎已经成为大尺寸电池片组件端的标配技术。

2、半片切割工艺包括前置切割（硅棒以及硅片清洗前）和后置切割（电池片成品后）两类方式，其中，前置切割会导致电池生产效率极大降低，除部分异质结电池（hjt）公司，由于工序少，采用前置切割，目前行业内基本为后置切割方式。

3、成品电池片半片切割采用激光切割法，不可避免的在切割处会存在结构性机械损伤，应力无法释放；据研究，在激光开槽边缘更容易发生碎裂，而全尺寸硅片电池片组件更容易在主栅位置处发生开裂；半片切割后电池片，在断面处为裸露的硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（3）中，沉积温度为150~300℃；沉积压力为0.1~1torr；所述TMA的流量为1000~15000sccm，所述水蒸汽的流量为1000~15000sccm，所述氮气的流量为1000~30000sccm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（4）中，沉积温度为150~300℃；沉积压力为0.1~1torr；所述TMA的流量为1000~15000sccm，所述氨气的流量为1000~15000sccm，所述氮气的流量为1000~3...

【技术特征摘要】

1.一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（3）中，沉积温度为150~300℃；沉积压力为0.1~1torr；所述tma的流量为1000~15000sccm，所述水蒸汽的流量为1000~15000sccm，所述氮气的流量为1000~30000sccm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（4）中，沉积温度为150~300℃；沉积压力为0.1~1torr；所述tma的流量为1000~15000sccm，所述氨气的流量为1000~15000sccm，所述氮气的流量为1000~30000sccm。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（2）中，预热温度为150~300℃，预热时间为10~60min。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：其特征在于：步骤（5）中，退火温度为250~500℃，退火时间为10~60min。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤（3）中，所述氧化...

【专利技术属性】
技术研发人员：王洪喆，顾君，陈庆敏，李丙科，
申请(专利权)人：无锡松煜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：