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本发明提供一种太阳能电池片半片切割损伤钝化修复方法及装置，所述方法包括：（1）提供一个板式PEALD沉积设备；（2）将经过切片的太阳能电池片置于载具中，并使得切片断面完全外露，预热；（3）通入TMA、水蒸汽和氮气，在切片断面表面沉积氧化铝薄...
该专利属于无锡松煜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡松煜科技有限公司授权不得商用。

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