【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶炉制造设备，尤其是涉及一种单晶炉设备。
技术介绍
1、单晶炉合炉动作包括主炉室与下炉室、炉盖与主炉室、副室与炉盖三处的对接，主要是靠各相关结构件自身的强度及驱动组件的精度保证对中的准确度，并没有专门的用于检测腔体对中的系统；随着单晶炉行业的发展，腔体的规格越来越大，负载重量越来越大，合炉对中时的误差范围也随之加大，仅靠机构自身的精度，较难实现腔体合炉时的对中；在实际操作中，若未实现对中就执行合炉工步，可能会造成较大的设备损坏，甚至危及人员安全。
2、因此，亟需一种单晶炉设备来校准合炉过程时各分炉是否对中。
技术实现思路
1、(一)要解决的技术问题
2、鉴于现有技术的上述缺点、不足，本专利技术提供一种单晶炉设备，其解决单晶炉未校准对中就执行合炉工步的技术问题。
3、(二)技术方案
4、为了达到上述目的，本专利技术采用的主要技术方案包括：
5、本专利技术实施例提供一种单晶炉设备，包括具有多个上下叠置的分炉的单晶炉，每上下相邻的两个分炉通过设置在其外壁上的对中校准组件对中。
6、可选地，分炉包括由上至下连接的副炉室、炉盖、主炉室和下炉室，下炉室的上沿、炉盖的下沿、炉盖的上沿分别设置导向销安装座，导向销安装座上可拆卸固定有导向销，主炉室的下沿、主炉室的上沿、副炉室的下沿分别设置导向销孔座；下炉室的上沿与主炉室的下沿、炉盖的下沿与主炉室的上沿、炉盖的上沿与副炉室的下沿均通过相对应的导向销和导向销孔座连接。<...
【技术保护点】
1.一种单晶炉设备，包括具有多个上下叠置的分炉的单晶炉，其特征在于，每上下相邻的两个分炉通过设置在其外壁上的对中校准组件(5)对中；
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对中校准组件(5)包括漫反射传感器(9)、漫反射板(7)和漫反射安装座(8)，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)分别通过一所述漫反射安装座(8)可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座上，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)位置能够互调。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对中校准组件(5)包括漫反射传感器(9)、漫反射板(7)和漫反射安装座(8)，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)分别通过一所述漫反射安装座(8)可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘处，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)位置能够互调。
4.根据权利要求2或3任一项所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)之间有间隙。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对中校准组件(5)包括一组对射式传感器和对射式传感器安装座(12)，所述一组对射式传感器包括对射式发射器(10)和对射式接收器(11)，所述对射式发射器(10)和所述对射式接收器(11)分别通过一所述对射式传感器安装座(12)可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘处，所述对射式发射器(10)和所述对射式接收器(11)位置能够互调。
7.根据权利要求5或6任一项所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对射式发射器(10)和所述对射式接收器(11)之间有间隙。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉设备，包括具有多个上下叠置的分炉的单晶炉，其特征在于，每上下相邻的两个分炉通过设置在其外壁上的对中校准组件(5)对中；
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对中校准组件(5)包括漫反射传感器(9)、漫反射板(7)和漫反射安装座(8)，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)分别通过一所述漫反射安装座(8)可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座上，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)位置能够互调。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述对中校准组件(5)包括漫反射传感器(9)、漫反射板(7)和漫反射安装座(8)，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)分别通过一所述漫反射安装座(8)可拆卸的安装在导向销安装座和导向销孔座左右两侧中任意一侧边缘处，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)位置能够互调。
4.根据权利要求2或3任一项所述的一种单晶炉设备，其特征在于，所述漫反射传感器(9)和所述漫反射板(7)之间有间隙。
5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡亚涛，张忠涛，段世飞，高畅，尹嘉琦，辛珊，吴新桦，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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