System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种单晶炉的加热器制造技术_技高网

一种单晶炉的加热器制造技术

技术编号:41210575 阅读:2 留言:0更新日期:2024-05-09 23:33
本发明专利技术公开了一种单晶炉的加热器,包括主加热器、副加热器和底加热器,副加热器位于主加热器的下方,主加热器、副加热器和底加热器分别与不同电源电极连接,在熔料阶段,主加热器、副加热器和底加热器以设定功率对坩埚加热,在晶体生长阶段,副加热器分配主加热器的功率对坩埚加热,本发明专利技术在熔料阶段,主加热器、副加热器在坩埚侧面对其进行加热,底加热器在坩埚下部对其进行加热,通过增加副加热器的功率,大大提升了熔料功率的上限,有效提高了熔料温度,提升熔料效率,本发明专利技术通过副加热器分担主加热器的功率后,有效降低坩埚表面的温度,有效降低释放的氧含量,从而使进入晶棒的氧含量减少,大大提升了晶棒的品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于单晶炉,涉及一种单晶炉的加热器


技术介绍

1、目前光伏行业的直拉单晶生长时,使用的是双加热器的方案,分别叫主加热器和底加热器,熔料的时候,两个加热器同时工作,晶体生长的过程中,只有主加热器工作,底加热器不参与,因为开底加热器,无法完成正常长晶。

2、这样带来的问题是,单主加热器工作时,造成坩埚表面局部温度高,释放的氧含量较多,导致进入晶棒的氧含量较多,无法达到硅片产品的要求,电池转化效率低,尤其是n型硅片。

3、两个加热器熔料,功率给到最大时,化料效率比较低,耽误工时。


技术实现思路

1、本专利技术为了克服至少一个现有技术的不足,提供一种单晶炉的加热器。

2、为了实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种单晶炉的加热器,包括主加热器、副加热器和底加热器,副加热器位于主加热器的下方,主加热器、副加热器和底加热器分别与不同电源电极连接,在熔料阶段,主加热器、副加热器和底加热器以设定功率对坩埚加热,在晶体生长阶段,副加热器分配主加热器的功率对坩埚加热。

3、进一步的,功率分配前所述主加热器的功率设置为a,功率分配后主加热器的功率设置为a1,副加热器的功率设置为a2,a1和a2小于a,且a1+a2=a。

4、进一步的,在熔料阶段时,所述副加热器位于坩埚的中部;在晶体生长阶段,副加热器与主加热器的间距设置为20mm-40mm。

5、进一步的,所述主加热器和副加热器均为两端开口的筒状结构,筒状结构均为至少由两个加热单体构成,坩埚位于筒状结构内。

6、进一步的,所述主加热器包括主加热发热区和主加热脚板,主加热脚板设有两组,主加热脚板固设在主加热发热区,主加热脚板与主加热电源电极连接。

7、进一步的,所述副加热器包括副加热发热区和副加热脚板,副加热脚板设有两组,副加热脚板固设在副加热发热区,副加热脚板与副加热电源电极连接。

8、进一步的,所述副加热发热区还设有加热板,加热板绕主加热脚板分布。

9、进一步的,两组所述主加热脚板分别连接主加热电源电极的正极和负极。

10、进一步的,两组所述副加热脚板分别开连接副加热电源电极的正极和负极。

11、进一步的,所述底加热器设有两组底电极连接柱,两组底电极连接柱与底加热电源电极的正极和负极连接。

12、综上所述,本专利技术的有益之处在于:

13、1)本专利技术在熔料阶段,主加热器、副加热器在坩埚侧面对其进行加热,底加热器在坩埚下部对其进行加热,通过增加副加热器的功率,大大提升了熔料功率的上限,有效提高了熔料温度,提升熔料效率,同时主加热器、副加热器和底加热器分别与不同电源电极连接实现独立控制,使它们的功率可以根据实际需求,灵活调整主加热器、副加热器和底加热器的功率值,达到快速熔料的目的,在晶体生长阶段,副加热器分配主加热器的功率,以降低主加热器的功率,损耗减少,可延长加热器的使用寿命,同时使坩埚的局部温度下降,降低硅液和坩埚的反应速度,有效降低释放的氧含量,从而使进入晶棒的氧含量减少,大大提升了晶棒的品质,同时功率数值可以根据实际需求灵活分配,达到实现降低氧含量最大化的目的。

14、2)本专利技术通过升降结构控制副加热器的升降以调整主加热器和副加热器的间距,在熔料阶段时,升降结构控制副加热器移动,使副加热器位于坩埚的中部,可以使副加热器的发热量被硅液吸收,从而大幅度提升熔料效率,在晶体生长阶段,升降结构控制副加热器移动,使副加热器与主加热器的间距控制在设定距离此时副加热器最靠近坩埚上部的位置,副加热器分担主加热器的功率后,有效降低坩埚表面的温度,有效降低释放的氧含量,从而使进入晶棒的氧含量减少,大大提升了晶棒的品质。

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【技术保护点】

1.一种单晶炉的加热器,其特征在于:包括主加热器、副加热器和底加热器,副加热器位于主加热器的下方,主加热器、副加热器和底加热器分别与不同电源电极连接,在熔料阶段,主加热器、副加热器和底加热器以设定功率对坩埚加热,在晶体生长阶段,副加热器分配主加热器的功率对坩埚加热。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:功率分配前所述主加热器的功率设置为A,功率分配后主加热器的功率设置为A1,副加热器的功率设置为A2,A1和A2小于A,且A1+A2=A。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:在熔料阶段时,所述副加热器位于坩埚的中部;在晶体生长阶段,副加热器与主加热器的间距设置为20mm-40mm。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:所述主加热器和副加热器均为两端开口的筒状结构,筒状结构均为至少由两个加热单体构成,坩埚位于筒状结构内。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:所述主加热器包括主加热发热区和主加热脚板,主加热脚板设有两组,主加热脚板固设在主加热发热区,主加热脚板与主加热电源电极连接。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:所述副加热器包括副加热发热区和副加热脚板,副加热脚板设有两组,副加热脚板固设在副加热发热区,副加热脚板与副加热电源电极连接。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:所述副加热发热区还设有加热板,加热板绕主加热脚板分布。

8.根据权利要求5所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:两组所述主加热脚板分别连接主加热电源电极的正极和负极。

9.根据权利要求6所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:两组所述副加热脚板分别开连接副加热电源电极的正极和负极。

10.根据权利要求1所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:所述底加热器设有两组底电极连接柱,两组底电极连接柱与底加热电源电极的正极和负极连接。

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【技术特征摘要】

1.一种单晶炉的加热器,其特征在于:包括主加热器、副加热器和底加热器,副加热器位于主加热器的下方,主加热器、副加热器和底加热器分别与不同电源电极连接,在熔料阶段,主加热器、副加热器和底加热器以设定功率对坩埚加热,在晶体生长阶段,副加热器分配主加热器的功率对坩埚加热。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:功率分配前所述主加热器的功率设置为a,功率分配后主加热器的功率设置为a1,副加热器的功率设置为a2,a1和a2小于a,且a1+a2=a。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:在熔料阶段时,所述副加热器位于坩埚的中部;在晶体生长阶段,副加热器与主加热器的间距设置为20mm-40mm。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的加热器,其特征在于:所述主加热器和副加热器均为两端开口的筒状结构,筒状结构均为至少由两个加热单体构成,坩埚位于筒状结构内。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉...

【专利技术属性】
技术研发人员:李方王建波黄鑫磊冯宝蒋林
申请(专利权)人:连城凯克斯科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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