CUP螺丝固定工具制造技术

本申请提出了一种CUP螺丝固定工具，包括包括限位套件、至少一第一延伸部和至少一第二延伸部；限位套件用于围绕CUP的调高螺丝，第一延伸部延伸并容置于调高螺丝的凹槽内，通过第二延伸部可以对限位套件进行限位，通过限位套件和第一延伸部对CUP的调高螺丝进行周向限位，使调高螺丝不受外力影响，能够一次性地完成CUP的高度调节，而不需要反复地调节调高螺丝和紧固螺丝，最大程度地减少了调高螺丝和紧固螺丝的损伤以及对损伤螺丝的更换，节约了维护的时间及物力的成本，相对地增加了机台的工作时间，从而提高机台的工作效率；同时也能够摆脱对维护人员操作经验的依赖性，CUP的高度调节对于任一维护人员来说都是同样的简单操作。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体辅助工具，具体涉及一种cup(杯型防溅罩)螺丝固定工具。

技术介绍

1、cup是涂胶显影机中涂胶站的一个部件，它的主要作用是将涂胶后多余的光阻和废液导流到排液管。每次对机台进行维护及更换cup后都需对它的高度进行调节。其中，cup的高度由调高螺丝控制，高度调节完成后再通过例如75n-cm扳手来旋拧紧固螺丝，以此锁紧调高螺丝。在锁紧的过程中，当紧固螺丝与调高螺丝接触后维护人员施加在紧固螺丝上的力会传递至调高螺丝上，从而带动调高螺丝旋转移动，这样cup的高度就会随之发生改变，维修人员就需要重新对调高螺丝进行调节从而达到规定的高度。如此维护人员需要反复的进行高度调节及锁紧操作才能达到规定的高度。

2、反复调节需要花费很长的时间才能完成，这大大影响机台的工作效率；另外此种操作非常依赖维护人员的操作经验，对于新手来说，这将是件费时但还不一定成功的难题，影响机台维护的稳定性；同时反复调节会容易对螺丝造成损伤，严重时甚至会造成螺丝松动，需要对松动螺丝进行更换，这不仅增加了维护的时间及物力成本，还影响机台的工作质量和工作效率。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种cup螺丝固定工具，可以改善现有技术需要反复进行高度调节以及由此导致的工作效率低、成本高等问题。

2、本申请提供的一种cup螺丝固定工具，包括：

3、限位套件，用于围绕cup的调高螺丝；

4、至少一第一延伸部，设置于所述限位套件的内环壁上，且朝向所述调高螺丝延伸并容置于所述调高螺丝的凹槽内，以对所述调高螺丝进行周向限位，所述第一延伸部与所述cup的紧固螺丝未接触；

5、至少一第二延伸部，设置于所述限位套件的外环壁上。

6、可选地，所述第二延伸部与最邻近的所述第一延伸部的延伸方向相同。

7、可选地，所述cup螺丝固定工具设置有两个所述第二延伸部，且位于同一条直线上。

8、可选地，所述第一延伸部背向所述内环壁的端面与所述调高螺丝的侧壁的曲率相等。

9、可选地，所述第一延伸部背向所述内环壁的端面平齐或内陷低于所述调高螺丝的内壁面。

10、可选地，所述第一延伸部和所述第二延伸部中的至少一者与所述限位套件可拆卸连接。

11、可选地，所述限位套件的内径与所述调高螺丝的外径相同。

12、可选地，所述限位套件为硬质塑料环。

13、可选地，所述cup螺丝固定工具还包括支撑杆和吸盘，所述支撑杆的第一端与所述第二延伸部转轴连接，所述吸盘设置于所述支撑杆的第二端，所述支撑杆的第二端朝向所述cup延伸，以使所述吸盘吸附固定于所述cup。

14、可选地，所述支撑杆可沿自身方向伸展或者收缩。

15、如上所述，本申请的cup螺丝固定工具包括限位套件、至少一第一延伸部和至少一第二延伸部；限位套件用于围绕cup的调高螺丝，第一延伸部延伸并容置于调高螺丝的凹槽内，通过第二延伸部可以对限位套件进行限位，通过限位套件和第一延伸部对cup的调高螺丝进行周向限位，使调高螺丝不受外力影响，能够一次性地完成cup的高度调节，而不需要反复地调节调高螺丝和紧固螺丝，最大程度地减少了调高螺丝和紧固螺丝的损伤以及对损伤螺丝的更换，节约了维护的时间及物力的成本，相对地增加了机台的工作时间，从而提高机台的工作效率；同时也能够摆脱对维护人员操作经验的依赖性，cup的高度调节对于任一维护人员来说都是同样的简单操作。

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【技术保护点】

1.一种CUP螺丝固定工具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的CUP螺丝固定工具，其特征在于，所述第二延伸部与最邻近的所述第一延伸部的延伸方向相同。

3.根据权利要求1所述的CUP螺丝固定工具，其特征在于，所述CUP螺丝固定工具设置有两个所述第二延伸部，且位于同一条直线上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的CUP螺丝固定工具，其特征在于，所述第一延伸部背向所述内环壁的端面与所述调高螺丝的侧壁的曲率相等。

5.根据权利要求4所述的CUP螺丝固定工具，其特征在于，所述第一延伸部背向所述内环壁的端面平齐或内陷低于所述调高螺丝的内壁面。

6.根据权利要求1所述的CUP螺丝固定工具，其特征在于，所述第一延伸部和所述第二延伸部中的至少一者与所述限位套件可拆卸连接。

7.根据权利要求1所述的CUP螺丝固定工具，其特征在于，所述限位套件的内径与所述调高螺丝的外径相同。

8.根据权利要求1所述的CUP螺丝固定工具，其特征在于，所述限位套件为硬质塑料环。

9.根据权利要求1所述的CUP螺丝固定工具，其特征在于，所述CUP螺丝固定工具还包括支撑杆和吸盘，所述支撑杆的第一端与所述第二延伸部转轴连接，所述吸盘设置于所述支撑杆的第二端，所述支撑杆的第二端朝向所述CUP延伸，以使所述吸盘吸附固定于所述CUP。

10.根据权利要求9所述的CUP螺丝固定工具，其特征在于，所述支撑杆可沿自身方向伸展或者收缩。

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【技术特征摘要】

1.一种cup螺丝固定工具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的cup螺丝固定工具，其特征在于，所述第二延伸部与最邻近的所述第一延伸部的延伸方向相同。

3.根据权利要求1所述的cup螺丝固定工具，其特征在于，所述cup螺丝固定工具设置有两个所述第二延伸部，且位于同一条直线上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的cup螺丝固定工具，其特征在于，所述第一延伸部背向所述内环壁的端面与所述调高螺丝的侧壁的曲率相等。

5.根据权利要求4所述的cup螺丝固定工具，其特征在于，所述第一延伸部背向所述内环壁的端面平齐或内陷低于所述调高螺丝的内壁面。

6.根据权利要求1所述的cup螺丝固定工具，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建军，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：