【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产设备，具体为一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具。
技术介绍
1、半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。在科技和经济发展中有着重要的作用，陶瓷薄吸盘是一种采用高性能陶瓷材料作为载体，加入特殊纳米级陶瓷粉末生产而成的陶瓷吸盘。陶瓷薄吸盘的特点有：载体采用高性能陶瓷材料，有着较高的机械强度，良好的耐磨性，较小的摩擦系数。有着良好的热稳定性，耐高温、耐腐蚀，可在恶劣的环境下使用。采用纳米级陶瓷粉末，具有更好的渗透性和吸附性，可以吸附更重物品。
2、中国专利公开一种异形氮化硅结构件加工用固定夹具（专利号：201821105054.4），属于氮化硅结构件加工
，一种异形氮化硅结构件加工用固定夹具，包括结构件置物板，所述结构件置物板下端固定连接有四个均匀分布的置物板支柱，所述结构件置物板下侧设有移动板底座，所述移动板底座与置物板支柱下端固定连接，所述移动板底座上侧开设有滑动平移槽，所述滑动平移槽内滑动连接有两个平移滑块，两个所述平移滑块上端均固定连接有从动滑行板，但是其夹持转移效率较低，严重影响加工效率。
技术实现思路
1、本技术所解决的技术问题在于提供一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，包括：夹具支撑横梁，所述夹具支撑横梁两端通过安装立柱安装在夹持平台上，所述夹持平台安装在平台支撑框架上，所述夹持平台上设有吸
3、进一步地，所述夹具调节装置包括横向调节驱动皮带，所述横向调节驱动皮带一端安装在支撑轮上、另一端安装在驱动轮上，所述支撑轮通过支撑轮安装座安装在夹具支撑横梁上，所述驱动轮安装在横向调节驱动电机的输出端上，所述横向调节驱动电机的壳体通过电机安装座固定在夹具支撑横梁上，所述横向调节驱动皮带一侧设有纵向调节支架安装板，纵向调节支架安装板上设有纵向调节支架。
4、进一步地，所述纵向调节支架安装板与夹具支撑横梁之间设有横向调节导向装置，所述横向调节导向装置包括横向调节导向滑轨，所述横向调节导向滑轨上设有若干横向调节导向滑块，所述横向调节导向滑轨固定安装在夹具支撑横梁上，所述横向调节导向滑块固定安装在纵向调节支架安装板上。
5、进一步地，所述纵向调节支架包括纵向调节驱动气缸，所述纵向调节驱动气缸的缸体固定在纵向调节支架安装板上，所述纵向调节驱动气缸的输出端上设有纵向调节驱动板，所述纵向调节驱动板与纵向调节支架安装板之间设有纵向调节导向装置。
6、进一步地，所述向调节导向装置包括纵向调节导向滑轨，所述纵向调节导向滑轨上设有若干纵向调节导向滑块，所述纵向调节导向滑轨固定安装在纵向调节支架安装板上，所述纵向调节导向滑块固定安装在纵向调节驱动板上。
7、进一步地，所述吸盘输送装置包括输送支撑框架，所述输送支撑框架上设有若干吸盘输送辊，所述输送支撑框架下端通过框架固定板安装在输送支撑腿上。
8、进一步地，所述平台支撑框架、吸盘输送装置下侧设有若干调节支撑垫脚，所述调节支撑垫脚包括调节支撑垫板，所述调节支撑垫板上端通过双头螺杆安装在平台支撑框架、吸盘输送装置上的螺孔内。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术不仅可以实现对不规则氮化硅吸盘的快速固定，而且，可以实现不规则氮化硅吸盘的快速转移，可以大大提高产品的加工效率。
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1.一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，包括：夹具支撑横梁(4)，所述夹具支撑横梁(4)两端通过安装立柱安装在夹持平台(2)上，其特征在于：所述夹持平台(2)安装在平台支撑框架(1)上，所述夹持平台(2)上设有吸盘限位板(3)，所述夹具支撑横梁(4)上设有若干吸盘固定夹具(5)，所述吸盘固定夹具(5)通过夹具调节装置(6)安装在夹具支撑横梁(4)上，所述夹具支撑横梁(4)下侧设有吸盘输送装置(7)，所述吸盘固定夹具(5)包括夹爪安装板(51)，所述夹爪安装板(51)上端安装在夹具调节装置(6)上，所述夹爪安装板(51)下端安装在夹具安装横杆(52)上，所述夹具安装横杆(52)上设有若干夹具支撑杆(54)，所述夹具支撑杆(54)通过支撑杆固定座(53)安装在夹具安装横杆(52)上，所述夹具支撑杆(54)上设有若干真空固定盘(57)，所述真空固定盘(57)安装在真空吸管(56)上，所述真空吸管(56)通过吸管固定座(55)安装在夹具支撑杆(54)上。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，其特征在于：所述夹具调节装置(6)包括横向调节驱动皮带(61)，所
3.根据权利要求2所述的一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，其特征在于：所述纵向调节支架安装板(67)与夹具支撑横梁(4)之间设有横向调节导向装置，所述横向调节导向装置包括横向调节导向滑轨(611)，所述横向调节导向滑轨(611)上设有若干横向调节导向滑块(610)，所述横向调节导向滑轨(611)固定安装在夹具支撑横梁(4)上，所述横向调节导向滑块(610)固定安装在纵向调节支架安装板(67)上。
4.根据权利要求2所述的一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，其特征在于：所述纵向调节支架包括纵向调节驱动气缸(69)，所述纵向调节驱动气缸(69)的缸体固定在纵向调节支架安装板(67)上，所述纵向调节驱动气缸(69)的输出端上设有纵向调节驱动板(68)，所述纵向调节驱动板(68)与纵向调节支架安装板(67)之间设有纵向调节导向装置。
5.根据权利要求4所述的一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，其特征在于：所述向调节导向装置包括纵向调节导向滑轨(612)，所述纵向调节导向滑轨(612)上设有若干纵向调节导向滑块(613)，所述纵向调节导向滑轨(612)固定安装在纵向调节支架安装板(67)上，所述纵向调节导向滑块(613)固定安装在纵向调节驱动板(68)上。
6.根据权利要求1所述的一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，其特征在于：所述吸盘输送装置(7)包括输送支撑框架(71)，所述输送支撑框架(71)上设有若干吸盘输送辊(72)，所述输送支撑框架(71)下端通过框架固定板(73)安装在输送支撑腿(74)上。
7.根据权利要求1所述的一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，其特征在于：所述平台支撑框架(1)、吸盘输送装置(7)下侧设有若干调节支撑垫脚(8)，所述调节支撑垫脚(8)包括调节支撑垫板，所述调节支撑垫板上端通过双头螺杆安装在平台支撑框架(1)、吸盘输送装置(7)上的螺孔内。
...【技术特征摘要】
1.一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，包括：夹具支撑横梁(4)，所述夹具支撑横梁(4)两端通过安装立柱安装在夹持平台(2)上，其特征在于：所述夹持平台(2)安装在平台支撑框架(1)上，所述夹持平台(2)上设有吸盘限位板(3)，所述夹具支撑横梁(4)上设有若干吸盘固定夹具(5)，所述吸盘固定夹具(5)通过夹具调节装置(6)安装在夹具支撑横梁(4)上，所述夹具支撑横梁(4)下侧设有吸盘输送装置(7)，所述吸盘固定夹具(5)包括夹爪安装板(51)，所述夹爪安装板(51)上端安装在夹具调节装置(6)上，所述夹爪安装板(51)下端安装在夹具安装横杆(52)上，所述夹具安装横杆(52)上设有若干夹具支撑杆(54)，所述夹具支撑杆(54)通过支撑杆固定座(53)安装在夹具安装横杆(52)上，所述夹具支撑杆(54)上设有若干真空固定盘(57)，所述真空固定盘(57)安装在真空吸管(56)上，所述真空吸管(56)通过吸管固定座(55)安装在夹具支撑杆(54)上。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，其特征在于：所述夹具调节装置(6)包括横向调节驱动皮带(61)，所述横向调节驱动皮带(61)一端安装在支撑轮(62)上、另一端安装在驱动轮(64)上，所述支撑轮(62)通过支撑轮安装座(63)安装在夹具支撑横梁(4)上，所述驱动轮(64)安装在横向调节驱动电机(65)的输出端上，所述横向调节驱动电机(65)的壳体通过电机安装座固定在夹具支撑横梁(4)上，所述横向调节驱动皮带(61)一侧设有纵向调节支架安装板(67)，纵向调节支架安装板(67)上设有纵向调节支架。
3.根据权利要求2所述的一种氮化硅吸盘自由曲面的工装夹具，其特征在于：所述纵向调节支架安装板(67)与夹具支撑横...
【专利技术属性】
技术研发人员：董睿荣，吴恒潮，戴震安，刘盛骏，任武坤，
申请(专利权)人：苏州威孚材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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