一种激光位移传感器集成在线测量的装置制造方法及图纸

本技术提供一种激光位移传感器集成在线测量的装置，包括：设备支撑平台，所述设备支撑平台上侧设有测量支撑平台，所述测量支撑平台一侧设有测量上料装置，所述测量支撑平台上侧设有激光传感器组件，所述激光传感器组件安装在旋转驱动电机的输出端上，所述旋转驱动电机的壳体通过固定螺栓安装在测量支撑横梁，所述测量支撑横梁两端通过固定螺栓安装在测量支撑立柱上，所述测量支撑立柱下端通过立柱固定座安装在测量支撑平台上，所述测量支撑平台外侧设有若干测量补光设备，本技术不仅可以实现半导体的快速上下料，保证测量、检测效率，而且，可以根据不同需求调整检测传感器，提高设备适用范围，降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体生产设备，具体为一种激光位移传感器集成在线测量的装置。

技术介绍

1、半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。在科技和经济发展中有着重要的作用，对于半导体的检测是其生产环节的重要组成部分，中国专利公开一种绿色陶瓷生产用质量检测装置（专利号：202120417974.5），包括底座，所述底座的底部固定连接有支腿，所述底座的顶部固定连接有检测箱，所述检测箱的顶部固定连接有水箱，所述水箱的一侧固定连接有入水管，所述水箱的顶部固定连接有水泵，所述水泵的进水口固定连接有进水管。但是其检测效率较低，检测范围较窄，导致生产效率较低。

技术实现思路

1、本技术所解决的技术问题在于提供一种激光位移传感器集成在线测量的装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种激光位移传感器集成在线测量的装置，包括：设备支撑平台，所述设备支撑平台上侧设有测量支撑平台，所述测量支撑平台一侧设有测量上料装置，所述测量支撑平台上侧设有激光传感器组件，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光位移传感器集成在线测量的装置，包括：设备支撑平台(1)，所述设备支撑平台(1)上侧设有测量支撑平台(2)，所述测量支撑平台(2)一侧设有测量上料装置(9)，其特征在于：所述测量支撑平台(2)上侧设有激光传感器组件(5)，所述激光传感器组件(5)安装在旋转驱动电机(6)的输出端上，所述旋转驱动电机(6)的壳体通过固定螺栓安装在测量支撑横梁(7)，所述测量支撑横梁(7)两端通过固定螺栓安装在测量支撑立柱(8)上，所述测量支撑立柱(8)下端通过立柱固定座安装在测量支撑平台(2)上，所述测量支撑平台(2)外侧设有若干测量补光设备(4)，所述激光传感器组件(5)包括旋转安装板(55)，...

【技术特征摘要】

1.一种激光位移传感器集成在线测量的装置，包括：设备支撑平台(1)，所述设备支撑平台(1)上侧设有测量支撑平台(2)，所述测量支撑平台(2)一侧设有测量上料装置(9)，其特征在于：所述测量支撑平台(2)上侧设有激光传感器组件(5)，所述激光传感器组件(5)安装在旋转驱动电机(6)的输出端上，所述旋转驱动电机(6)的壳体通过固定螺栓安装在测量支撑横梁(7)，所述测量支撑横梁(7)两端通过固定螺栓安装在测量支撑立柱(8)上，所述测量支撑立柱(8)下端通过立柱固定座安装在测量支撑平台(2)上，所述测量支撑平台(2)外侧设有若干测量补光设备(4)，所述激光传感器组件(5)包括旋转安装板(55)，所述旋转安装板(55)下侧设有测量设备支撑杆(54)，所述测量设备支撑杆(54)通过支撑杆安装座(53)安装在旋转安装板(55)上，所述测量设备支撑杆(54)上设有若干传感器安装杆(52)，所述传感器安装杆(52)上设有若干测量传感器(51)，所述测量传感器(51)通过传感器安装座固定安装在传感器安装杆(52)上。

2.根据权利要求1所述的一种激光位移传感器集成在线测量的装置，其特征在于：所述测量补光设备(4)包括补光灯具(41)，所述补光灯具(41)通过灯具安装座(42)安装在灯具安装板(43)上，所述灯具安装板(43)通过灯具调节支架安装在测量支撑平台(2)上。

3.根据权利要求2所述的一种激光位移传感器集成在线测量的装置，其特征在于：所述灯具调节支架包括调节支撑板(45)，所述调节支撑板(45)上设有若干调节支撑横杆(44)、调节支撑立杆(46)，所述调节支撑横杆(44)、调节支撑立杆(46)之间垂直设置，所述调节支撑立杆(46)上设有补光设备固定块(47)。

4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：董睿荣，刘盛骏，戴震安，许逸宁，任武坤，
申请(专利权)人：苏州威孚材料有限公司，
类型：新型
国别省市：