本发明专利技术涉及一种高反射镜激光积分散射率多角度综合测量装置。目前对积分散射率测量时，入射光以很小的入射角照射到被测表面后用积分球来收集散射光，而实际中，入射光有不同的入射角，且在谐振腔中不同的激光偏振态其散射损耗也不同，无法提供适宜的工作状态。本发明专利技术提供一种高反射镜激光积分散射率多角度综合测量装置，包括设置于光学平台上的光源组件和积分球，其中光源组件上设置有波片和衰减片，积分球上设置有入射口、测量口和输出口，输出口上设置有光电倍增管，入射口上设置有光阑，入射口和测量口上还设置有其他配件。本发明专利技术可提供不同偏振态的激光以多角度入射到高反射镜的积分散射测量装置，符合实际工作状态，测量更准确合理。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学元件测试
，特别是涉及一种高反射镜激光积分散射率多 角度综合测量装置。
技术介绍
高反射镜在激光陀螺、法布里-波罗干涉仪，激光器等现代高科技领域中有广泛 的应用。散射率的测量可以反应光学表面粗糙度的情况，测量高反射镜的表面散射率对获 取表面微观几何形状的信息，评价光学表面的微观质量以及提高光学薄膜的质量，改进薄 膜沉积工艺等方面具有重要的现实意义。目前对积分散射率进行测量时，所采用的方法是入射光以很小的入射角照射到 被测表面后用积分球来收集散射光。在实际应用中，入射光有不同的入射角工作状态，如 激光陀螺中由于有三角形或正方形的的环形激光谐振腔，激光对高反射镜的入射角实际为 30°或45°，另外在谐振腔中不同的激光偏振态其散射损耗也是不同的。现有技术无法提 供适宜的工作状态。本专利技术项目组对国内外专利文献和公开发表的期刊论文检索，尚未发现与本专利技术 密切相关或一样的报道和文献。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种高反射镜激光积分散射率多角度综合测量 装置，以填补现有技术在此领域内的空白。为了解决现有技术存在的问题，本专利技术提供的技术方案是一种高反射镜激光积分散射率双角度综合测量装置，包括设置于光学平台19上的光 源组件和积分球14，所述光源组件上设置有波片4和衰减片6，所述积分球14上设置有入 射口、测量口和输出口，输出口上设置有光电倍增管18，入射口上设置有光阑，入射口和测 量口上还设置有配件，其特殊之处在于所述积分球14上还设置有带配件的消光口，所述 入射口、测量口和消光口设置有相互对应的多组，每组中进入入射口的入射光与反射出出 光口的射出光的光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为测量角，在反射光的光路上、出 光口的外侧设置有消光阱。还包括可调的光路转折组件，光路转折组件设置于光源组件与积分球14之间。上述光路转折组件包括可移动的相对设置的第三反射镜9和第四反射镜10。上述积分球14上设置有两组测量开口，包括第一入射口、第二入射口、第一测量 口、第二测量口、第一出光口 23和第二出光口 25，其中(1)第一入射口上设置第一光阑13，在积分球14以外、反射光的光路上、第一出光口 23 的外侧设置第一消光阱17，该组中从第一入射口到第一测量口的入射光光程与第一测量口 到第一出光口 23的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为45度测量角，即入 射角为45度；(2)第二入射口上设置第二光阑12，在积分球14以外、反射光的光路上、第二出光口 25 的外侧设置有第二消光阱11，该组中从第二入射口到第二测量口的入射光光程与第二测量 口到第二出光口 25的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为1. 25^2. 25度测量 角，近似O度，即入射角为O度；在第一光阑13 (第一入射口)、第二光阑12 (第二入射口)、第一测量口、第二测量口、第 一出光口 23和第二出光口 25上均设置有配件。上述积分球14上设置有三组测量开口，包括第一入射口、第二入射口、第三入射 口、第一测量口、第二测量口、第三测量口、第一出光口 23、第二出光口 25和第三出光口 24， 其中 (1)第一入射口上设置第一光阑13，在积分球14以外、反射光的光路上、第一出光口23 的外侧设置有第一消光阱17，该组中从第一入射口到第一测量口的入射光光程与第一测量 口到第一消光口 23的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为45度测量角，即 入射角为45度；(2)第二入射口上设置第二光阑12，在积分球14以外、反射光的光路上、第二消光口25 的外侧设置有第二消光阱11，该组中从第二入射口到第二测量口的入射光光程与第二测量 口到第二消光口 25的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为1. 25^2. 25度测量 角，近似0度，即入射角为0度；(3)第三入射口上设置第三光阑20，在积分球14以外、反射光的光路上、第三消光口24 的外侧设置有第三消光阱22，该组中从第三入射口到第三测量口的入射光光程与第三测量 口到第三消光口 24的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为30度测量角，即 入射角为30度；在第一光阑13 (第一入射口)、第二光阑12 (第二入射口)、第三光阑20 (第三入射口)、 第一测量口、第二测量口、第三测量口、第一出光口 23、第二出光口 25和第三出光口 24上均 设置有配件。上述的波片4和衰减片6都设置有多个，分别设置于可旋转的波片固定圆盘上和 可旋转的衰减片固定圆盘上。上述波片固定圆盘上开有按90°对称分布且中心位于同一圆周上的四个孔，其中 3个孔分别安装有两片1/2波片和一片1/4波片，另一个为通孔。上述衰减片固定圆盘上开有按90°对称分布且中心位于同一圆周上的四个孔，相 对于波片固定圆盘上1/2波片和1/4波片的位置上设置的是1%、0. 1%和0.01%的光衰减片， 另一个为通孔。本专利技术的技术效果高反射镜在实际应用中，入射光可以有任意的入射角度，如对于高反射镜用于直线型 激光谐振腔的场合，可以选择0°入射角情况来测量积分散射；对于激光陀螺中常用的三 角形谐振腔和四边形谐振腔，可以分别选择30°或45°入射角来测量积分散射。本专利技术设 计了不同偏振态的激光以多角度入射到高反射镜的积分散射测量装置，更符合实际工作状 态，测量更准确合理，价值更大。本装置通过旋转波片可以自动获取P态、S态、或圆偏振态 激光用于测试，通过旋转衰减片可以控制入射光强的大小，扩大测量的动态范围。附图说明图1是本专利技术实施例1的安装结构示意图； 图2是本专利技术实施例2的安装结构示意图。附图标记说明如下 1-激光光源，2-起偏器，3-光调制器，4-波片，5-第一反射镜，6-衰减片，7-光束整形， 8-第二反射镜，9-第三反射镜，10-第四反射镜，11-第二消光阱，12-第二光阑，13-第一 光阑，14-积分球，15-第一积分反射镜，16-第二积分反射镜，17-第一消光阱，18-光电倍 增管，19-光学平台，20-第三光阑，21-第三积分反射镜，22-第三消光阱，23-第一出光口， 24-第二出光口，25-第三出光口。具体实施例方式本专利技术提供的一种高反射镜激光积分散射率多角度综合测量装置，包括设置 于光学平台19上的光源组件和积分球14。所述光源组件上设置有波片4和衰减片6。所 说的积分球14上设置有入射口、测量口、出光口和输出口，其中输出口上设置有光电倍增 管18，所说的入射口、测量口和出光口设置有相互对应的多组，每组中从入射口到测量口 的入射光光程与测量口到出光口的反射光光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为测量 角。在所说的入射口上均设置有光阑，入射口和测量口上还设置有配件，本实施例中配件是 指标准白盖板。在积分球14以外、反射光的光路上、出光口的外侧设置有消光阱。在光源 组件与积分球之间设置有光路转折组件，在本专利技术实施例中光路转折组件包括可移动的相 对设置的第三反射镜9和第四反射镜10。测量时，在参与测量的测量口上设置被测反射镜，不参与测量的入射口、测量口、 出光口均用标准白板堵上。上面所说的光源组件为具有波片4和衰减片6的常规组件，只要能提供需要的偏 振态、合适的光斑和适宜能量的组件均可采用。本本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种高反射镜激光积分散射率双角度综合测量装置，包括设置于光学平台（１９）上的光源组件和积分球（１４），其特征在于：所述光源组件上设置有波片（４）和衰减片（６），所述积分球（１４）上设置有入射口、测量口和输出口，输出口上设置有光电倍增管（１８），入射口上设置有光阑，入射口和测量口上还设置有配件，其特殊之处在于：所述积分球（１４）上还设置有带配件的消光口，所述入射口、测量口和消光口设置有相互对应的多组，每组中进入入射口的入射光与反射出出光口的射出光的光程近似相等，入射光与测量法线的夹角为测量角，在反射光的光路上、出光口的外侧设置有消光阱。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘卫国，高爱华，孙鑫，王越，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。