压模制造方法、压模、和模制品制造方法技术

本发明专利技术涉及压模制造方法、压模、以及模制品制造方法，所述压模制造方法包括：将具有形成有预定图案结构的形成面的平板构件安装至具有空腔的模具；以及向所述空腔中导入连续体，并通过连续体对板构件进行加压，以使安装至所述模具的板构件的形成面的整体形状变形成与所述空腔相对应的形状。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用作制造模制品的模子的压模、压模的制造方法、和模制品的制造方法。
技术介绍
过去，提出了例如在表面上具有防反射结构体的透镜等光学器件。在防反射结构 体中，锥形凹凸体以小于等于入射光波长的间距(例如，可见光情况下为亚微型间距)布置 成阵列形状(见，例如日本专利申请特开2006-130841号公报(以下称为专利文献1))。在专利文献1的图3所示的防反射结构体的制造方法中，通过喷镀和非电解镀方 法，在石英玻璃基底的凹面上形成Ni-Cu-P的针状晶体33。将Ni-Cu-P针状晶体用作掩膜， 进行干蚀刻工艺，直到针状晶体消失，从而形成如专利文献1的图3D所示的凸透镜模子34。 此外，如专利文献1的图4所示，使用凸透镜模子34，对模制材料42进行按压加工，从而形 成具有与针状晶体33的形状相对应的防反射结构体的光学器件。在专利文献1所公开的光学器件中，由于蚀刻工艺原理上的制约，针状晶体只取 向为一个方向。因此，虽然能够降低主要沿光轴方向向光学器件入射的光的反射，但是不能 降低相对于光轴具有一定角度的入射光的反射。另一方面，日本专利申请特开2008-37089号公报(以下称为专利文献2)公开了 在凸面上形成有防反射用凹凸结构的光学器件(图7A)，以及以相同方法在凹面上形成有 防反射用凹凸结构的光学器件(图7B)。在专利文献2所公开的各个光学器件中，凹凸结构 沿凸面(凹面)的法线方向形成。通过使用具有与该凹凸结构相对应的凹凸结构的模子， 形成光学器件(见，例如专利文献2的段落0028、0029、0047、0048和0073)。然而，专利文献2公开的是，具有凹凸结构的模子由喷镀和蚀刻工艺形成。例如， 在用于制造专利文献2的图7所示光学器件的模子的曲面上，进行用于形成凹凸结构的曝 光和蚀刻工艺不太现实。如果要试图实现凹凸结构，则有必要按小时改变曝光和蚀刻的方 向来逐个形成突起，这需要大量时间。因此，该工艺不适于量产。
技术实现思路
鉴于上述情形，希望提供一种压模、压模的制造方法、以及模制品的制造方法，其 能够获得在非平面表面上形成预定图案结构的产品，并能提高产品的生产率。根据本专利技术一实施例，提供了一种制造压模的方法。该方法包括将具有形成面和 与该形成面相反的反面的平板构件安装至模具，以使所述反面面向模具的空腔，其中所述 形成面上形成有预定的图案结构。该方法还包括从所述板构件的形成面侧，向所述空腔中导入连续体，并通过所述 连续体对所述板构件加压，以使安装至所述模具的板构件的形成面的整体形状变形成与所 述空腔相对应的形状。也就是说，板构件的形成有图案结构的形成面，以连续体作为芯子，形成为与空腔相对应的形状。通过该结构，例如，在空腔的内表面呈非平面形状的情况下，形成面的整体 形状形成为曲面形状，从而能够制造在非平面表面上形成有预定图案结构的压模。作为结 果，通过使用该压模来使模制对象物成形，能够制造在表面上形成有与压模的图案结构相 对应的图案结构的产品(模制品)。因此，能够在短时间内以低成本制造大量产品，从而提 高了生产率。非平面表面包括曲面和由两个或两个以上平面组合而成的表面。曲面包括球面和 非球面等。连续体可以是树脂。制造压模的方法还可包括在对所述板构件加压后，修改所述模具的空腔的内表 面的形状。在该情况下，将通过上述加压形成的压模安装至空腔的内表面形状得到修改后 的模具。另外，通过导入空腔中的连续体对压模加压，以使压模的形成面的整体形状变形成 与模具的修改后的空腔相对应的形状。也就是说，使用首先形成的压模，来使模制对象物成形。如果有必要修改模制品的 形状，则对首先形成的压模的形状进行修改。在该情况下，空腔的内表面得到修改，并再次 通过模具形成压模，从而能够修改压模的形状。结果，能够降低压模的制造成本。所述压模可以是用于形成具有与所述图案结构相对应的光学图案结构的光学器 件的压模。例如，作为光学图案结构，可使用例如凹凸结构等能够发挥防反射功能的结构。所述模具可以是直浇口型模具。也就是说，可以使用直浇道直接与浇口连接的没 有横浇道的模具。通过该结构，能够改善作为芯子的连续体在空腔中向板构件施加的压力 的均勻性。根据本专利技术另一实施例，提供了 一种通过上述制造方法制得的压模。根据本专利技术另一实施例，提供了一种制造模制品的方法。该方法包括准备压模，该 压模的制造方法包括将具有形成面和与该形成面相反的反面的平板构件安装至模具，以 使所述反面面向模具的空腔，其中所述形成面上形成有预定的图案结构；以及通过从所述 板构件的形成面侧导入模具的空腔中的连续体，对所述板构件加压，以使所述板构件的形 成面的整体形状变形成与所述模具的空腔相对应的形状。该方法还包括使用所述压模来使模制对象物成形，所述模制对象物具有与所述 图案结构相对应的结构。如上所述，根据本专利技术的实施例，能够获得在非平面表面上形成有预定图案结构 的产品，并能提高产品的生产率。本专利技术的这些以及其它目的、特征和优势将在以下对如附图所示的具体实施方式 的详细描述中变得更加清楚明了。附图说明图IA IF依次示出了在本专利技术一实施例的压模的制造工艺中用于形成压模的母 盘的制造步骤；图2是通过PTM技术曝光并显影后的图IC所示抗蚀剂掩膜的表面照片，该照片由 电子显微镜拍得；图3是在形成蛾眼结构后对图ID所示母盘进行转印所获得的UV树脂的表面照4片，该照片由电子显微镜拍得；图4是截面图，示意性地示出了以图IF所示方式获得的板构件被放置到用于形成 压模的压模模具中的状态下的压模模具；图5是截面图，示出了树脂被导入压模模具的空腔中，并且压模受到延压处理的 状态；图6是截面图，示意性地示出了制成的压模；图7是示出在测试中制造的十五个压模的设计值和拔模斜度的表格；图8是与图7所示表格相对应的压模的示意图；图9示出了形成图7所示表格中的例如10号压模时，在压模模具的空腔中的树脂 的压力的波形变化过程；图10是用于形成图7中的10号压模并被导入压模模具中的树脂体的照片；图11是图7中的10号压模的照片；图12是截面图，示出了通过使用图4和5所示制造方法制成的压模来形成作为产 品(模制品)的凸透镜的透镜模子；图13是从芯子板侧观察到的安装至受体的压模的照片；图14是通过透镜模子形成的凸透镜产品的照片；图15A 15D是截面图，依次示出了修改压模的形状的方法；图16是截面图，示意性地示出了在安装有作为模制对象的平板构件的状态下，用 于形成作为模制品的凹透镜的压模的制造用压模模具；图17是截面图，示出了树脂被导入压模模具的空腔中、并且板构件受到延压处理 的状态下的压模模具；图18是截面图，示意性地示出了制成的压模。 具体实施例方式下面将参考附图描述本专利技术的实施例。(压模的制造方法1)在以下实施例中，将描述制造作为产品(模制品(molding))的光学器件的压模 (stamper)的制造方法。典型地，以具有蛾眼结构(moth-eyestructure)的透镜作为光学器 件的示例，蛾眼结构是作为预定图案结构(pattern structure)的微小凹凸结构。(母盘的制造方法)图IA IF依次示出了在本专利技术一实施例的压模的制造工艺中用于形成压模的母 盘(master)的制造步骤(图IA 1D)。如图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造压模的方法，包括：将具有形成面和与该形成面相反的反面的平板构件安装至模具，以使所述反面面向模具的空腔，其中所述形成面上形成有预定的图案结构；以及从所述板构件的形成面侧，向所述空腔中导入连续体，并通过所述连续体对所述板构件加压，以使安装至所述模具的板构件的形成面的整体形状变形成与所述空腔相对应的形状。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：鸿丸几久夫，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]