磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法技术方案

本申请公开了一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法，涉及材料工程领域，中央控制器能够根据预设逻辑和操作人员的控制指令输出控制信号，从而实现对执行器的精确控制，提高设备的稳定性和可靠性，同时降低设备维护和运营成本

【技术实现步骤摘要】
磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法


[0001]本申请涉及材料工程领域，特别是涉及一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法
。

技术介绍

[0002]随着科技的不断发展，材料制备技术也在不断创新
。
磁控溅射旋转靶全自动真空镀膜机控制系统在材料制备过程中起到极为重要的作用
。
然而，现有设备在运行过程中需要频繁进行参数调整，增加了人工干预的成本和风险，且相关的监测和记录工作需要手动进行，存在误差和漏洞
。
因此，亟需一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机自动控制系统及方法
。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供了一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法，主要目的在于解决目前现有设备在运行过程中需要频繁进行参数调整，增加了人工干预的成本和风险，且相关的监测和记录工作需要手动进行，存在误差和漏洞的问题
。
[0004]依据本申请第一方面，提供了一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，该系统包括数据采集器
、
交互界面
、
中央控制器和执行器；
[0005]所述数据采集器，用于采集设备运行信息，将所述设备运行信息发送至所述中央控制器和所述交互界面；
[0006]所述交互界面，用于展示所述设备运行信息，以及接收操作人员基于所述设备运行信息发起的控制指令，将所述控制指令发送至所述中央控制器；
[0007]所述中央控制器，用于存储所述设备运行信息，以及根据所述控制指令和预设逻辑输出控制信号，将所述控制信号发送至所述执行器，所述执行器包括但不限于阴极
、
电机
、
气缸和真空泵；
[0008]所述执行器，用于根据所述控制信号执行对应的动作
。
[0009]依据本申请第二方面，提供了一种基于磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制方法，该方法包括：
[0010]数据采集器采集设备运行信息，将所述设备运行信息发送至所述中央控制器和所述交互界面；
[0011]所述交互界面展示所述设备运行信息，以及接收操作人员基于所述设备运行信息发起的控制指令，将所述控制指令发送至所述中央控制器；
[0012]所述中央控制器存储所述设备运行信息，以及根据所述控制指令和预设逻辑输出控制信号，将所述控制信号发送至所述执行器，以使所述执行器根据所述控制信号执行对应的动作，所述执行器包括但不限于阴极
、
电机
、
气缸和真空泵
。
[0013]依据本申请第三方面，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述第二方面所述方法的步骤
。
[0014]依据本申请第四方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述第二方面所述的方法的步骤
。
[0015]借由上述技术方案，本申请提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统及方法，本申请中的数据采集器采集设备运行信息，将设备运行信息发送至中央控制器和交互界面
。
随后，交互界面展示设备运行信息，以及接收操作人员基于设备运行信息发起的控制指令，将控制指令发送至中央控制器
。
接下来，中央控制器存储设备运行信息，以及根据控制指令和预设逻辑输出控制信号
。
最后，将控制信号发送至执行器，以使执行器根据控制信号执行对应的动作，执行器包括但不限于阴极
、
电机
、
气缸和真空泵
。
本申请实施例提供的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统可以有效地监测设备的运行状态，并及时向中央控制器和操作人员报告设备出现的任何异常问题
。
此外，中央控制器能够根据预设逻辑和操作人员的控制指令输出控制信号，从而实现对执行器的精确控制，提高设备的稳定性和可靠性，同时降低设备维护和运营成本
。
因此，该磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统可以提高设备的工作效率，增强操作员的工作安全性和操作便捷性，具有重要的实用性和经济效益
。
[0016]上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其它目的
、
特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式
。
附图说明
[0017]通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了
。
附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制
。
而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件
。
在附图中：
[0018]图1示出了本申请实施例提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的系统架构示意图；
[0019]图2示出了本申请实施例提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的交互界面的真空系统子界面示意图；
[0020]图3示出了本申请实施例提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的交互界面的电源运行总览示意图；
[0021]图4示出了本申请实施例提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的交互界面的阴极电机运行总览示意图；
[0022]图5示出了本申请实施例提供的一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的交互界面的传送系统子界面示意图；
[0023]图6示出了本申请实施例提供的一种基于磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制方法流程示意图；
[0024]图7示出了本申请实施例提供的一种计算机设备的装置结构示意图
。
具体实施方式
[0025]下面将参照附图更详细地描述本申请的示例性实施例
。
虽然附图中显示了本申请的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本申请而不应被这里阐述的实施例所限制
。
相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本申请，并且能够将本申请的范围
完整的传达给本领域的技术人员
。
[0026]本申请实施例提供了一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，本申请中的数据采集器采集设备运行信息，将设备运行信息发送至中央控制器和交互界面
。
随后，交互界面展示设备运行信息，以及接收操作人员基于设备运行信息发起的控制指令，将控制指令发送至中央控制器
。
接下来，中央控制器存储设备运行信息，以及根据控制指令和预设逻辑输出控制信号
。
最后，将控制信号发送至执行器，以使执行器根据控制信号执行对应的动作，执行器包括但不限于阴极
、
电机
、
气缸和真空泵
。
本申请实施例提供的磁控溅射旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，其特征在于，包括：数据采集器
、
交互界面
、
中央控制器和执行器；所述数据采集器，用于采集设备运行信息，将所述设备运行信息发送至所述中央控制器和所述交互界面；所述交互界面，用于展示所述设备运行信息，以及接收操作人员基于所述设备运行信息发起的控制指令，将所述控制指令发送至所述中央控制器；所述中央控制器，用于存储所述设备运行信息，以及根据所述控制指令和预设逻辑输出控制信号，将所述控制信号发送至所述执行器，所述执行器包括但不限于阴极
、
电机
、
气缸和真空泵；所述执行器，用于根据所述控制信号执行对应的动作
。2.
根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，其特征在于，所述交互界面，包括菜单栏
、
主界面和多个子界面；所述主界面用于展示设备运行信息中的状态信息和设备组件信息，所述状态信息包括但不限于真空度，压力值，传送速度，风机运行时间
、
设备的指标数据，所述设备组件信息包括但不限于所述磁控溅射旋转靶真空镀膜机的全部设备部件
、
所述全部设备部件之间的位置逻辑关系
、
所述全部设备部件中可操作设备部件的操作按钮；所述菜单栏，用于切换进入所述多个子界面，所述菜单栏包括但不限于真空系统子界面选项
、
传送系统子界面选项
、
参数设置子界面选项
、
历史数据子界面选项
、
警报系统子界面选项
、
动作条件子界面选项
、
传送线体子界面选项和盘编号子界面选项
。3.
根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述主界面中每个所述操作按钮的左上方设置有动作条件许可信息指示灯；当所述操作按钮对应的设备部件满足运行条件时，所述操作按钮对应的动作条件许可信息指示灯切换为指定颜色
。4.
根据权利要求2所述的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，其特征在于，所述主界面，还用于响应于所述操作人员发起的翻页指令，展示电源运行总览界面和阴极电机运行总览界面，所述电源运行总览界面用于展示所述磁控溅射旋转靶真空镀膜机的磁控溅射电源的运行状态和报警点，所述阴极电机运行总览界面用于展示所述磁控溅射旋转靶真空镀膜机的靶机旋转电机的运行状态和报警点
。5.
根据权利要求2所述的磁控溅射旋转靶真空镀膜机控制系统，其特征在于，所述传送系统，包括传送电机执行器
、
伺服电机执行器
、
位置开关执行器和气动缸执行器，用于传送生产物料和物料托盘；当所述交互界面检测到操作人员在传送系统子界面触发中预约功能按钮时，将所述中预约功能按钮对应的控制指...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏达，刘顺钢，马继远，王福兴，
申请(专利权)人：沈阳广泰真空科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：