【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及坩埚制造，尤其是涉及一种闭环控制坩埚烘烤方法、系统、存储介质及计算机设备。
技术介绍
1、坩埚在砌筑成型之后，需要放置在空气中风干24小时，再用碘钨灯或者烘箱烘干，最后需要在坩埚内部用加热工装进行中频感应加热烘烤14至20小时，以使坩埚内部充分脱水，然后坩埚才能正常投入使用。
2、传统的通过感应加热对坩埚进行烘烤通常采用恒定功率输出的方式，即感应加热装置的输出功率恒定在30kw左右，坩埚内部的温度不断升高，存在设备被损坏的风险。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供了一种闭环控制坩埚烘烤方法、系统、存储介质及计算机设备，主要目的在于解决传统的坩埚烘烤方法安全性和可靠性低的技术问题。
2、根据本专利技术的第一个方面，提供了一种闭环控制坩埚烘烤方法，该方法包括：
3、响应于坩埚烘烤控制指令，向感应加热装置发送烘烤启动控制信号，控制感应加热装置对坩埚进行加热烘烤；
4、获取测温装置测量得到的坩埚温度；
5、根据所述坩埚温...
【技术保护点】
1.一种闭环控制坩埚烘烤方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述坩埚温度和预设的目标温度，利用升温PID算法调整所述感应加热装置的输出功率，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述感应加热装置的输出功率生成功率曲线包括：
7.根据权利要求1所述的方法，...
【技术特征摘要】
1.一种闭环控制坩埚烘烤方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述坩埚温度和预设的目标温度，利用升温pid算法调整所述感应加热装置的输出功率，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述感应加热装置的输出功率生成功率曲线包括：<...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐福兴，刘顺刚，
申请(专利权)人：沈阳广泰真空科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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