【技术实现步骤摘要】
用于平行度测量的光学组件和包括该光学组件的光学装置
[0001]优先权声明
[0002]本申请要求于2022年6月3日在韩国知识产权局(KIPO)提交的韩国专利申请No.10
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2022
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0068356的优先权,并在此通过引用完整地并入其内容。
[0003]示例实施例涉及用于测量平行度的光学组件、包括该光学组件的光学装置、管芯接合系统和使用该管芯接合系统的管芯接合方法。更具体地,示例实施例涉及用于管芯和晶片之间的对准检查的光学组件、包括该光学组件的光学装置、管芯接合系统以及使用该管芯接合系统将管芯接合在晶片上的方法。
技术介绍
[0004]在用于制造电子产品(例如,DDR(双倍数据速率)存储器、HBM(高带宽存储器)、CIS(CMOS图像传感器)等)的管芯到晶片接合中,确保管芯和晶片之间的接合精确度非常重要。为此,需要一种能够测量形状以保持管芯和晶片之间的平行度并控制管芯变形的测量装置。根据相关的测量装置,存在由于测量装置本身的倾斜而在管芯和晶片之间的平行度测量值中出现误差的问题。此外,可能需要能够与平行度平衡一起测量管芯变形的测量装置。
技术实现思路
[0005]示例实施例提供了一种用于测量晶片和管芯之间的平行度的光学组件,以提高管芯到晶片接合中的接合精确度。
[0006]示例实施例提供了一种包括光学组件的光学装置。
[0007]示例实施例提供了一种包括光学装置的管芯接合系统。
[0008]示例实施例提供了一种使用管芯接合 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平行度测量光学装置,包括:光学组件,所述光学组件被安装为能够在第一台和第二台之间沿水平方向移动,其中,所述第一台被配置为将晶片保持在其第一表面上,所述第二台被配置成将管芯保持在其第二表面上,所述第一表面和所述第二表面沿着垂直于所述水平方向的竖直方向间隔开,并且其中,所述光学组件包括:第一偏振分束器,所述第一偏振分束器被配置为将入射光分为参考光和测量光;参考镜,所述参考镜设置在所述第一偏振分束器的第一表面的一侧上,并且被配置为将从所述第一偏振分束器反射的所述参考光再次反射到所述第一偏振分束器;第一四分之一波片,所述第一四分之一波片设置在所述第一偏振分束器和所述参考镜之间,并且被配置为改变所述参考光的偏振状态;第二偏振分束器,所述第二偏振分束器设置在与所述第一偏振分束器的第一表面相邻的第二表面的一侧上,并且被配置为反射穿过所述第一偏振分束器的所述测量光;第二四分之一波片,所述第二四分之一波片设置在所述第二偏振分束器的第一表面的一侧上,并且被配置为改变从所述第二偏振分束器反射的所述测量光的偏振状态;第三四分之一波片,所述第三四分之一波片设置在与所述第二偏振分束器的第一表面相对的第三表面的一侧上,并且被配置为改变穿过所述第二偏振分束器的所述测量光的偏振状态;反射镜,所述反射镜设置在与所述第二偏振分束器的第一表面相邻的第二表面的一侧上,并且被配置为将从所述第二偏振分束器反射的所述测量光再次反射到所述第二偏振分束器;以及第四四分之一波片,所述第四四分之一波片设置在所述第二偏振分束器和所述反射镜之间,并且被配置为改变从所述第二偏振分束器反射的所述测量光的偏振状态。2.根据权利要求1所述的平行度测量光学装置,其中,第一入射平面垂直于所述第一偏振分束器的第一偏振分光平面并与光传播方向一致,第二入射平面垂直于所述第二偏振分束器的第二偏振分光平面并与光传播方向一致,所述第一入射平面与所述第二入射平面正交。3.根据权利要求1所述的平行度测量光学装置,其中,所述入射光具有第一波长,并且所述第一四分之一波片至所述第四四分之一波片将光的相位延迟90
°
。4.根据权利要求3所述的平行度测量光学装置,其中,由所述第一偏振分束器反射的所述参考光是S偏振光,穿过所述第一偏振分束器的所述测量光是P偏振光。5.根据权利要求3所述的平行度测量光学装置,其中,从所述参考镜反射并经过所述第一四分之一波片入射在所述第一偏振分束器上的所述参考光,与所述第一偏振分束器的第一偏振分光表面的入射平面平行。6.根据权利要求3所述的平行度测量光学装置,其中,穿过所述第一偏振分束器的所述测量光分别从分别面对所述第二偏振分束器的所述第一表面和所述第三表面的第一测量表面和第二测量表面反射,并且反射的测量光再次入射到所述第二偏振分束器,并且所述反射镜将从所述第二偏振分束器反射的再次入射的测量光再次反射到所述第二偏振分束器。
7.根据权利要求6所述的平行度测量光学装置,其中,由所述反射镜反射并经过所述第四四分之一波片入射在所述第二偏振分束器上的所述测量光,与所述第二偏振分束器的第二偏振分光表面的入射平面平行。8.根据权利要求1所述的平行度测量光学装置,还包括:偏振器,所述偏振器被配置为使从所述第一偏振分束器出射的所述参考光和经过所述第二偏振分束器从所述第一偏振分束器出射的所述测量光彼此干涉。9.根据权利要求1所述的平行度测量光学装置,其中,所述光具有第二波长,所述第一四分之一波片和所述第二四分之一波片将所述光的相位延迟180
°
。10.根据权利要求9所述的平行度测量光学装置,其中,从所述参考镜反射并经过所述第一四分之一波片入射到所述第一偏振分束器上的所述参考光,垂直于所述第一偏振分束器的第一偏振分光表面的入射平面,并且穿过第一偏振分束器的所述测量光被反射到面对所述第二偏振分束器的第一表面的第一测量表面,并且从所述第一测量表面反射并经过所述第二四分之一波片再次入射到所述第二偏振分束器,并且再次入射的测量光垂直于所述第二偏振分束器的第二偏振分光表面的入...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱祉映,金亨珍,徐敏焕,朱愿暾,具东胤,裵祥佑,安成敏,李俊圭,洪允杓,
申请(专利权)人:三星电子株式会社,
类型:发明
国别省市:
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