声表面波器件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种声表面波器件

【技术实现步骤摘要】
声表面波器件、滤波器及射频前端模组


[0001]本技术属于射频滤波
，尤其涉及一种声表面波器件
、
滤波器及射频前端模组
。

技术介绍

[0002]声表面波器件是一种利用材料的压电特性制作的元器件
。
声表面波器件的叉指换能器
(
叉指换能器
)
的制作方法通常采用剥离工艺
(lift
‑
off)
，该方法先采用光刻工艺在晶片表面形成光刻胶图形，然后在光刻胶图形上镀一层或多层金属薄膜，最后通过去胶液溶解光刻胶并剥离掉不需要的图形形成叉指换能器电极
。
通常情况下，声表面波器件的反射栅电极也是采用如上的剥离工艺制作而成
。
[0003]但是，反射栅通常为封闭式结构，去胶液
(
剥离液
)
难以进入反射栅内部，无法充分与光刻胶接触发生作用，因此，剥离工艺过程中经常出现光刻胶不能完全被剥离的问题，如图1所示，使得反射栅
10A
存在相邻的两根指条
1A
之间残留有光刻胶
20A
，进而导致反射栅
20A
失效
。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种声表面波器件
、
滤波器及射频前端模组，旨在解决剥离反射栅上的光刻胶时，剥离液难以进入反射栅内部，进而导致程中经常出现光刻胶不能完全被剥离的问题
。
[0005]为了解决上述问题，本技术实施例提供一种声表面波器件，包括叉指换能器以及设置在所述叉指换能器两端的反射栅；所述反射栅包括连接指以及多个指条；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个指条依次间隔排布；相邻两个所述指条通过一个所述连接指电连接；相邻两个所述指条以及连接所述相邻两个所述指条的连接指所构成的结构在所述指条的长度方向上具有至少一个开口
。
[0006]可选的，所述连接指的数量为多个；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个所述连接指分为依次设置的至少一个连接组，一个所述连接组具有至少一个所述连接指，相邻两个所述连接组内的连接指在指条的长度方向上间隔设置
。
[0007]可选的，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；一个所述连接组中的各连接指均连接所述指条的第一端，或者均连接所述指条的第二端
。
[0008]可选的，所述多个连接组中的各连接组内的连接指的数量不同，或者所述多个连接组中的至少存在两个连接组的连接指的数量相同
。
[0009]可选的，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；所述多个连接组中的至少一个连接组的连接指与所述第一端之间存在第一距离，且所述至少一个连接组的连接指与所述第二端之间存在第二距离
。
[0010]可选的，所述叉指换能器包括边缘区域，所述至少一个连接组的连接指与所述边缘区域相对
。
[0011]可选的，至少一个相邻的两个所述指条之间设置有连接结构，所述连接结构与相邻两个所述指条中的一个指条连接，并与另一个指条间隔设置；其中，在所述至少一个相邻的两个指条之间的连接结构和连接指之间存在间隔
。
[0012]可选的，至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构的数量为多个，设置在至少一个相邻两个所述指条的不同指条上的任意两个连接指不连接
。
[0013]可选的，所述至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构设置在任意指条的一端，和
/
或，所述至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构与所述至少一个相邻两个所述指条的两端均存在间隔
。
[0014]为了解决上述问题，本技术实施例还提供一种滤波器，包括权上述任意一项所述的声表面波器件
。
[0015]为了解决上述问题，本技术实施例还提供一种射频前端模组，包括权上述的滤波器
。
[0016]在本技术实施例提供的声表面波器件
、
滤波器及射频前端模组中，邻两个指条以及连接相邻两个指条的连接指所构成的结构在指条的长度方向上具有至少一个开口，去胶液能够从该开口处进入相邻两个指条之间
(
即进入反射栅的内部
)
，使去胶液能迅速有效地溶解相邻两个指条之间的光刻胶，进而可以使光刻胶被完全剥离，这样也可以同时剥离掉不需要的图形，最终得到需要的反射栅，以此保证反射栅的可靠性
。
附图说明
[0017]图1是本技术一实施例提供的现有反射栅的结构示意图；
[0018]图2是本技术一实施例提供的声表面波器件的结构示意图；
[0019]图3是本技术一实施例提供的反射栅的结构示意图一；
[0020]图4是本技术一实施例提供的反射栅的结构示意图二；
[0021]图5是本技术一实施例提供的反射栅的结构示意图三；
[0022]图6是本技术一实施例提供的反射栅的结构示意图四；
[0023]图7是本技术一实施例提供的反射栅与叉指换能器配合的结构示意图一；
[0024]图8是本技术一实施例提供的反射栅与叉指换能器配合的结构示意图二；
[0025]图9是本技术一实施例提供的反射栅的结构示意图五；
[0026]图
10
是本技术一实施例提供的反射栅的结构示意图六；
[0027]图
11
是本技术一实施例提供的反射栅的结构示意图七；
[0028]图
12
是本技术一实施例提供的反射栅的结构示意图八
。
[0029]说明书中的附图标记如下：
[0030]100、
声表面波器件；
10、
叉指换能器；
20、
反射栅；
[0031]1、
连接指；
1a、
连接组；
1b、
连接指集合；
[0032]2、
指条；
21、
第一端；
22、
第二端；
[0033]3、
第一开口；
[0034]4、
第一汇流条；
[0035]5、
第二汇流条；
[0036]6、
第一电极指；
[0037]7、
第二电极指；
[0038]8、
连接结构
。
具体实施方式
[0039]为了使本技术所解决的技术问题
、
技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步的详细说明
。
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术
。
[0040]如图2和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种声表面波器件，其特征在于，包括叉指换能器以及设置在所述叉指换能器两端的反射栅；所述反射栅包括连接指以及多个指条；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个指条依次间隔排布；相邻两个所述指条通过一个所述连接指电连接；相邻两个所述指条以及连接所述相邻两个所述指条的连接指所构成的结构在所述指条的长度方向上具有至少一个开口
。2.
根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，所述连接指的数量为多个；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个所述连接指分为依次设置的至少一个连接组，一个所述连接组具有至少一个所述连接指；相邻两个所述连接组内的连接指在指条的长度方向上间隔设置
。3.
根据权利要求2所述的声表面波器件，其特征在于，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；一个所述连接组中的各连接指均连接所述指条的第一端，或者均连接所述指条的第二端
。4.
根据权利要求2或3所述的声表面波器件，其特征在于，所述多个连接组中的各连接组内的连接指的数量不同，或者所述多个连接组中的至少存在两个连接组的连接指的数量相同
。5.
根据权利要求2所述的声表面波器件，其特征在于，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；所述多个连接组中的至少一个连接组的连接指与所述第一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：补强，曹家强，李阳，曾雲东，王华磊，倪建兴，
申请(专利权)人：锐石创芯重庆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：