一种基于周期性畴结构的声表面波器件及其制备方法技术

本发明专利技术公开一种基于周期性畴结构的声表面波器件及其制备方法，包括：利用光刻法在压电材料晶体的正z面和压电材料晶体的反z面制备极化电极轮廓；利用高温胶带分割压电材料晶体的正z面和压电材料晶体的反z面，获得不同极化区域；在极化电极轮廓上镀上第一金属电极；撕去高温胶带，得到极化电极结构；利用极化电极结构，制备有部分区域畴翻转结构的压电材料晶体，最终得到基于畴结构激发的声表面波器件。本申请先对钽酸锂的压电材料晶体或铌酸锂的压电材料晶体进行极化，然后通过剥离转移到基底上，并在压电材料晶体的表面镀上电极，以制备声表面波器件，本发明专利技术制备的平板电极更利于控制功耗。于控制功耗。于控制功耗。

【技术实现步骤摘要】
一种基于周期性畴结构的声表面波器件及其制备方法


[0001]本专利技术涉及一种基于周期性畴结构的声表面波器件及其制备方法，属于声表面波器件制备


技术介绍

[0002]目前，在压电材料薄膜上，利用镀有叉指电极的表面来激发声表面波制备声学谐振器和滤波器是常见的方法。此外，压电材料薄膜的周期性畴结构，也可以提供周期变化的压电系数，类似于叉指电极电场的效用，从而激发声表面波，实现制备声学谐振器和滤波器等器件。
[0003]常规技术中先制备多个薄膜，再分别对每个薄膜进行极化，得到多个极化的薄膜，从而制备成声学器件。由于压电材料薄膜的极化成本较高，制备多个薄膜极化样品需要重复制备极化电极，对多个极化电极进行分别进行极化操作，耗费工时人力，导致薄膜的极化成本较高，这就导致现有技术的成本制造很高，不利于大批量生产。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种基于周期性畴结构的声表面波器件及其制备方法，本申请先对钽酸锂的压电材料晶体或铌酸锂的压电材料晶体进行极化，然后通过剥离转移到基底上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于周期性畴结构的声表面波器件的制备方法，其特征在于，包括：利用光刻法在压电材料晶体的正z面和压电材料晶体的反z面制备极化电极轮廓；利用高温胶带分割压电材料晶体的正z面和压电材料晶体的反z面，获得不同极化区域；在极化电极轮廓上镀上第一金属电极；撕去高温胶带，得到极化电极结构；利用极化电极结构，制备有部分区域畴翻转结构的压电材料晶体。2.根据权利要求1所述的一种基于周期性畴结构的声表面波器件的制备方法，其特征在于，利用极化电极结构，制备有部分区域畴翻转结构的压电材料晶体，包括：在极化电极结构中不同极化区域的无电极区域贴上导电胶带；利用胶粘剂封住压电材料晶体，静置等待胶粘剂风干；将压电材料晶体正z面上的导电胶带接入电极正极，压电材料晶体的反z面上的导电胶带接入电极负极，然后在电极正极和电极负极之间施加电场，使得电极正极和电极负极之间畴翻转；去除胶粘剂；去除电极正极和电极负极，得到有部分区域畴翻转结构的压电材料晶体。3.根据权利要求2所述的一种基于周期性畴结构的声表面波器件的制备方法，其特征在于，在利用极化电极结构，制备有部分区域畴翻转结构的压电材料晶体之后，将至少一个有部分区域畴翻转结构的压电材料晶体键合到基底上，得到薄膜；采用光刻法在薄膜表面制备声表面波器件的电极形状轮廓；在声表面波器件的电极形状轮廓上镀上第二金属电极，得到基于畴结构激发的声表面波器件。4.根据权利要求1所述的一种基于周期性畴结构的声表面波器件的制备方法，其特征在于，利用极化电极结构，制备有部分区域畴翻转结构的压电材料晶体，包括：在极化电极结构中不同极化区域的无...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡小鹏，苏雅雯，叶志霖，祝世宁，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：