本发明专利技术提供一种能够推进小型化的弹性波装置。弹性波装置(10)具备：支承构件(13)；压电层(14)，具有位于支承构件(13)侧的第1主面(14a)和第2主面(14b)；第1IDT电极(11A)，设置在第1主面(14a)，具有多个第1电极指(26)、第2电极指(27)；以及第2IDT电极(11B)，设置在第2主面(14b)中的在俯视下与第1IDT电极(11A)不重叠的部分，具有多个第1电极指(28)、第2电极指(29)。将压电层(14)的厚度设为d，将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p，在该情况下，在第1IDT电极(11A)、第2IDT电极(11B)中，d/p为0.5以下。还具备：绝缘膜(17)，设置在第2主面(14b)中的在俯视下与第1IDT电极(11A)重叠的部分；以及布线电极(18)，在俯视时与第1IDT电极(11A)重叠的部分中在绝缘膜(17)上穿过，并与第2IDT电极(11B)连接。第2IDT电极(11B)连接。第2IDT电极(11B)连接。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
[0001]本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
[0002]以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。近年来，提出了像在下述的专利文献1记载的那样的使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在压电层上设置有成对的电极。成对的电极在压电层上彼此对置，并且连接于不同的电位。通过在上述电极间施加交流电压，从而激励厚度剪切模式的体波。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：美国专利第10491192号说明书
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的问题
[0007]然而，在利用厚度剪切模式的体波的弹性波谐振器中，电极的间距容易变大，难以推进小型化。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种能够推进小型化的弹性波装置。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]本专利技术涉及的弹性波装置具备：支承构件，具有支承基板；压电层，设置在所述支承构件上，具有位于所述支承构件侧的第1主面和与所述第1主面对置的第2主面；第1IDT电极，设置在所述第1主面，具有多个电极指；以及第2IDT电极，设置在所述第2主面中的在俯视下与所述第1IDT电极不重叠的部分，具有多个电极指，将所述压电层的厚度设为d，将相邻的所述电极指彼此的中心间距离设为p，在该情况下，在所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极中，d/p为0.5以下，所述弹性波装置还具备：绝缘膜，设置在所述第2主面中的在俯视下与所述第1IDT电极重叠的部分；以及布线电极，在俯视时与所述第1IDT电极重叠的部分中在所述绝缘膜上穿过，并与所述第2IDT电极连接。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本专利技术涉及的弹性波装置，能够推进小型化。
附图说明
[0013]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性主视剖视图。
[0014]图2是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。
[0015]图3是图2中的沿着II
‑
II线的示意性剖视图。
[0016]图4是第1参考例的弹性波装置的示意性俯视图。
[0017]图5是第2参考例的弹性波装置的示意性俯视图。
[0018]图6是示出在涉及绝缘膜的参数和谐振特性的关系的仿真中使用的第1模型的图。
[0019]图7是示出在涉及绝缘膜的参数和谐振特性的关系的仿真中使用的第2模型的图。
[0020]图8的(a)～图8的(e)是示出在第1模型中将绝缘膜的厚度设为1μm且设1/Q＝0的情况下的结果的图，其中，图8的(a)是示出将绝缘膜的材料设为聚乙烯并将杨氏模量设为0.91GPa的情况下的阻抗频率特性的图，图8的(b)是示出将绝缘膜的材料设为聚苯乙烯并将杨氏模量设为1.39GPa的情况下的阻抗频率特性的图，图8的(c)是示出将绝缘膜的材料设为聚碳酸酯并将杨氏模量设为2.24GPa的情况下的阻抗频率特性的图，图8的(d)是示出将绝缘膜的材料设为聚对苯二甲酸乙二醇酯并将杨氏模量设为3.44GPa的情况下的阻抗频率特性的图，图8的(e)是示出将绝缘膜的材料设为聚缩醛并将杨氏模量设为3.58GPa的情况下的阻抗频率特性的图。
[0021]图9的(a)～图9的(e)是示出在第1模型中将绝缘膜的材料设为聚乙烯且设1/Q＝0的情况下的结果的图，其中，图9的(a)是示出将绝缘膜的厚度设为0.5μm的情况下的阻抗频率特性的图，图9的(b)是示出将绝缘膜的厚度设为1μm的情况下的阻抗频率特性的图，图9的(c)是示出将绝缘膜的厚度设为1.5μm的情况下的阻抗频率特性的图，图9的(d)是示出将绝缘膜的厚度设为2μm的情况下的阻抗频率特性的图，图9的(e)是示出将绝缘膜的厚度设为3μm的情况下的阻抗频率特性的图。
[0022]图10的(a)～图10的(e)是示出在第1模型中将绝缘膜的材料设为聚乙烯且设Q＝50的情况下的结果的图，其中，图10的(a)是示出将绝缘膜的厚度设为0.5μm的情况下的阻抗频率特性的图，图10的(b)是示出将绝缘膜的厚度设为1μm的情况下的阻抗频率特性的图，图10的(c)是示出将绝缘膜的厚度设为1.5μm的情况下的阻抗频率特性的图，图10的(d)是示出将绝缘膜的厚度设为2μm的情况下的阻抗频率特性的图，图10的(e)是示出将绝缘膜的厚度设为3μm的情况下的阻抗频率特性的图。
[0023]图11的(a)～图11的(e)是示出在第2模型中将绝缘膜的材料设为聚乙烯且设1/Q＝0的情况下的结果的图，其中，图11的(a)是示出将绝缘膜的厚度设为0.5μm的情况下的阻抗频率特性的图，图11的(b)是示出将绝缘膜的厚度设为1μm的情况下的阻抗频率特性的图，图11的(c)是示出将绝缘膜的厚度设为1.5μm的情况下的阻抗频率特性的图，图11的(d)是示出将绝缘膜的厚度设为2μm的情况下的阻抗频率特性的图，图11的(e)是示出将绝缘膜的厚度设为3μm的情况下的阻抗频率特性的图。
[0024]图12的(a)～图12的(e)是示出在第2模型中将绝缘膜的材料设为聚乙烯且设Q＝50的情况下的结果的图，图12的(a)是示出将绝缘膜的厚度设为0.5μm的情况下的阻抗频率特性的图，图12的(b)是示出将绝缘膜的厚度设为1μm的情况下的阻抗频率特性的图，图12的(c)是示出将绝缘膜的厚度设为1.5μm的情况下的阻抗频率特性的图，图12的(d)是示出将绝缘膜的厚度设为2μm的情况下的阻抗频率特性的图，图12的(e)是示出将绝缘膜的厚度设为3μm的情况下的阻抗频率特性的图。
[0025]图13的(a)～图13的(e)是示出在第2模型中将绝缘膜的厚度设为2μm且设Q＝1000的情况下的结果的图，图13的(a)是示出将绝缘膜的杨氏模量设为1GPa的情况下的阻抗频率特性的图，图13的(b)是示出将绝缘膜的杨氏模量设为5GPa的情况下的阻抗频率特性的图，图13的(c)是示出将绝缘膜的杨氏模量设为10GPa的情况下的阻抗频率特性的图，图13的(d)是示出将绝缘膜的杨氏模量设为15GPa的情况下的阻抗频率特性的图，图13的(e)是示出将绝缘膜的杨氏模量设为20GPa的情况下的阻抗频率特性的图。
[0026]图14的(a)～图14的(e)是示出用于对本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的一个例子中的直到第2IDT电极形成工序为止进行说明的、相当于图2中的沿着II
‑
II线的剖面的部分的示意性剖视图。
[0027]图15的(a)以及图15的(b)是示出用于对本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的一个例子中的直到牺牲层除去工序为止进行说明的、相当于图2中的沿着II
‑
II线的剖面的部分的示意性剖视图。
[0028]图16的(a)以及图16的(b)是示出用于对本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的一个例子中的直到布线电极形成工序为止进行说明的、相当于图2中的沿着I
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：支承构件，具有支承基板；压电层，设置在所述支承构件上，具有位于所述支承构件侧的第1主面和与所述第1主面对置的第2主面；第1IDT电极，设置在所述第1主面，具有多个电极指；以及第2IDT电极，设置在所述第2主面中的在俯视下与所述第1IDT电极不重叠的部分，具有多个电极指，将所述压电层的厚度设为d，将相邻的所述电极指彼此的中心间距离设为p，在该情况下，在所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极中，d/p为0.5以下，所述弹性波装置还具备：绝缘膜，设置在所述第2主面中的在俯视下与所述第1IDT电极重叠的部分；以及布线电极，在俯视时与所述第1IDT电极重叠的部分中在所述绝缘膜上穿过，并与所述第2IDT电极连接。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在所述支承构件设置有空洞部，在所述空洞部内配置有所述第1IDT电极，在所述压电层设置有到达所述空洞部的贯通孔，所述弹性波装置还具备：连接电极，穿过所述贯通孔并与所述第1IDT电极连接。3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，所述支承构件具有设置在所述支承基板与所述压电层之间的中间层，在所述中间层设置有所述空洞部的至少一部分。4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，所述空洞部是第1空洞部，在所述中间层中的在俯视下与所述第2IDT电极重叠的部分，设置有第2空洞部的至少一部分。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述绝缘膜的杨氏模量为10GPa以下。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述绝缘膜的相对介电常数不足5。7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述绝缘膜为树脂膜。8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述绝缘膜的厚度为2μm以上。9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，在所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极中的至少一者中，d/p为0.24以下。10.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，在所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极各自中，相邻的所述电极指在对置的方向上观察时重叠的区域为激励区域，在所述第1IDT电极以及所述第2IDT电极中的至少一者中，将所述多个电极指相对于所述激励区域的金属化比设为MR，此时，满足MR≤1.75(d/p)+0.075。
11.根据权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述压电层是钽酸锂层或者铌酸锂层。12.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，构成所述压电层的铌酸锂或者铌酸锂的欧拉角处于以下的式(1)、式(2)或者式(3)的范围，(0
°±
10
°
，0
°
～20
【专利技术属性】
技术研发人员：大内峰文，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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