【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于射频滤波，尤其涉及一种谐振器、滤波器及射频前端模组。
技术介绍
1、声表面波(surface acoustic wave，saw)谐振器是一种将电信号转换为声信号或者将声信号转换为电信号的器件。saw谐振器通常包括压电基底和叉指换能器(interdigital transducer，idt)，idt形成在压电基底上，idt可用于将电信号转化为声信号或将声信号转化为电信号。
2、随着射频技术的发展，对谐振器的性能有了更高的要求，如何进一步提高saw谐振器的q值已成为亟待解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种谐振器、滤波器及射频前端模组，旨在提高saw谐振器的q值。
2、为了解决上述问题，本专利技术实施例提供一种谐振器，包括压电基底和设置在所述压电基底上的叉指换能器；所述叉指换能器包括两个汇流条以及多个电极指；其中，多个所述电极指均位于两个所述汇流条之间；所述多个电极指中任一所述电极指连接于一汇流条且与另一汇流条间隔设置；连接于不同汇流条的各所述电极指依次交替且间隔排布；至少一个所述电极指包括依次连接的连接部、中间部以及主体部，所述连接部连接于所述汇流条，所述连接部和所述主体部沿着声波的传播方向间隔设置于所述中间部的不同侧；在两个所述汇流条的排布方向上，所述电极指的中间部与其所连接的汇流条之间的间距为h1，所述电极指的中间部与所述叉指换能器的有源区的间距为h2，其中，h1≤h2。
3、可选的，在两个所述汇流条的排布方向上，所
4、可选的，0.1λ＜h3＜0.3λ。
5、可选的，所述至少一个所述电极指包括第一电极指，所述多个电极指包括第二电极指，所述第二电极指与所述第一电极指相邻，所述第二电极指与所述第一电极指的连接部位于所述第一电极指的主体部的同侧；在声波的传播方向上，所述第一电极指的连接部的中心线与所述第二电极指的第一部分的中心线之间的间距为l1，其中，0＜l1＜λ/2，所述第一部分位于所述有源区。
6、可选的，在两个所述汇流条的排布方向上，所述电极指的中间部与其相邻的电极指的主体部不重叠。
7、可选的，所述连接部的延伸方向与声波的传播方向的夹角为θ，其中，21.8°＜θ＜158.2°。
8、可选的，所述谐振器还包括导电结构，所述导电结构与连接于同一所述汇流条上的所述电极指连接；所述导电结构位于所述有源区与所述中间部之间的区域，且与所述有源区和所述中间部间隔设置。
9、可选的，所述谐振器还包括温度补偿层，所述温度补偿层覆盖所述叉指换能器。
10、可选的，在所述压电基底厚度方向上，所述压电基底包括叠层设置的衬底和压电层；所述叉指换能器设置在所述压电层背离所述衬底的表面上。
11、可选的，所述衬底的温度系数小于所述压电层的温度系数；和/或，所述衬底的厚度大于所述压电层的厚度；和/或，所述衬底的声速大于所述压电层的声速。
12、可选的，所述压电基底还包括设置在所述衬底和所述压电层之间的至少一层介质层；所述介质层的厚度小于所述衬底厚度；和/或，至少一所述层介质层至少包括低声速层，所述低声速层的声速小于所述压电层的声速。
13、可选的，在两个所述汇流条的排布方向上，所述有源区包括中间区以及位于所述中间区两侧的边缘区；所述叉指换能器还包括声速调节结构，所述声速调节结构用于使声波在边缘区的传播速度小于在所述中间区的传播速度。
14、为了解决上述问题，本专利技术实施例还提供一种谐振器，包括压电基底和设置在所述压电基底上的叉指换能器；所述叉指换能器包括两个汇流条以及多个电极指；其中，多个所述电极指均位于两个所述汇流条之间；所述多个电极指中任一所述电极指连接于一汇流条且与另一汇流条间隔设置；连接于不同汇流条的各所述电极指依次交替且间隔排布；至少一个所述电极指包括依次连接的连接部、中间部以及主体部，所述连接部连接于所述汇流条，所述连接部和所述主体部沿着声波的传播方向间隔设置于所述中间部的不同侧；在两个所述汇流条的排布方向上，所述电极指的中间部与其相邻的电极指的主体部不重叠。
15、可选的，所述至少一个所述电极指包括第一电极指，所述多个电极指包括第二电极指，所述第二电极指与所述第一电极指相邻，所述第二电极指与所述第一电极指的连接部位于所述第一电极指的主体部的同侧；在声波的传播方向上，所述第一电极指的连接部的中心线与所述第二电极指的第一部分的中心线之间的间距为l1，其中，df*λ/2＜l1＜λ/2，所述第一部分位于所述有源区，df为所述叉指换能器的电极指的金属化比。
16、可选的，h1≥h2。
17、可选的，所述连接部的延伸方向与声波的传播方向的夹角为θ，63.4°＜θ＜116.6°。
18、可选的，所述中间部的延伸方向与声波的传播方向的夹角为β，其中，38.6°＜β＜141.4°，β≠90°。
19、为了解决上述问题，本专利技术实施例还提供一种滤波器，包括上述任意一项所述的谐振器。
20、为了解决上述问题，本专利技术实施例还提供一种射频前端模组，包括上述滤波器。
21、在本专利技术实施例提供的谐振器、滤波器及射频前端模组中，至少一个电极指设置的包括连接部、中间部以及主体部，连接部连接于汇流条，连接部和主体部沿着声波的传播方向间隔设置于中间部的不同侧，这样可以在一定程度上抑制间隙区的杂模，提升q值。另外，通过在两个汇流条的排布方向上，或者在声波的传播方向上增大电极指的中间部与其相邻电极指之间的间距，可以有效降低谐振器指端静态电容，使得谐振器具有更大的机电耦合系数，并降低具有连接部、中间部以及主体部的电极指与其相邻电极指之间的寄生耦合所引起的主模态的能量泄漏，从而进一步提高q值。
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1.一种谐振器，其特征在于，包括压电基底和设置在所述压电基底上的叉指换能器；
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，在两个所述汇流条的排布方向上，所述电极指的中间部的长度为H3，其中，λ＜H1+H2+H3＜3λ，λ为声波的周期。
3.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，0.1λ＜H3＜0.3λ。
4.根据权利要求1-3任一项所述的谐振器，其特征在于，所述至少一个所述电极指包括第一电极指，所述多个电极指包括第二电极指，所述第二电极指与所述第一电极指相邻，所述第二电极指与所述第一电极指的连接部位于所述第一电极指的主体部的同侧；在声波的传播方向上，所述第一电极指的连接部的中心线与所述第二电极指的第一部分的中心线之间的间距为L1，其中，0＜L1＜λ/2，所述第一部分位于所述有源区。
5.根据权利要求1-3任一项所述的谐振器，其特征在于，在两个所述汇流条的排布方向上，所述电极指的中间部与其相邻的电极指的主体部不重叠。
6.根据权利要求1-3任意一项所述的谐振器，其特征在于，所述连接部的延伸方向与声波的传播方向的夹角为θ，
7.根据权利要求6所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器还包括导电结构，所述导电结构与连接于同一所述汇流条上的所述电极指连接；所述导电结构位于所述有源区与所述中间部之间的区域，且与所述有源区和所述中间部间隔设置。
8.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器还包括温度补偿层，所述温度补偿层覆盖所述叉指换能器。
9.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，在所述压电基底厚度方向上，所述压电基底包括叠层设置的衬底和压电层；
10.根据权利要求9所述的谐振器，其特征在于，所述衬底的温度系数小于所述压电层的温度系数；和/或，
11.根据权利要求9所述的谐振器，其特征在于，所述压电基底还包括设置在所述衬底和所述压电层之间的至少一层介质层；
12.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，在两个所述汇流条的排布方向上，所述有源区包括中间区以及位于所述中间区两侧的边缘区；
13.一种谐振器，其特征在于，包括压电基底和设置在所述压电基底上的叉指换能器；
14.根据权利要求13所述的谐振器，其特征在于，所述至少一个所述电极指包括第一电极指，所述多个电极指包括第二电极指，所述第二电极指与所述第一电极指相邻，所述第二电极指与所述第一电极指的连接部位于所述第一电极指的主体部的同侧；在声波的传播方向上，所述第一电极指的连接部的中心线与所述第二电极指的第一部分的中心线之间的间距为L1，其中，DF*λ/2＜L1＜λ/2，所述第一部分位于所述有源区，DF为所述叉指换能器的电极指的金属化比。
15.根据权利要求13所述的谐振器，其特征在于，H1≥H2。
16.根据权利要求15所述的谐振器，其特征在于，所述连接部的延伸方向与声波的传播方向的夹角为θ，63.4°＜θ＜116.6°。
17.根据权利要求15所述的谐振器，其特征在于，所述中间部的延伸方向与声波的传播方向的夹角为β，其中，38.6°＜β＜141.4°，β≠90°。
18.一种滤波器，其特征在于，包括权利要求1-17任意一项所述的谐振器。
19.一种射频前端模组，其特征在于，包括权利要求18所述的滤波器。
...【技术特征摘要】
1.一种谐振器，其特征在于，包括压电基底和设置在所述压电基底上的叉指换能器；
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，在两个所述汇流条的排布方向上，所述电极指的中间部的长度为h3，其中，λ＜h1+h2+h3＜3λ，λ为声波的周期。
3.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，0.1λ＜h3＜0.3λ。
4.根据权利要求1-3任一项所述的谐振器，其特征在于，所述至少一个所述电极指包括第一电极指，所述多个电极指包括第二电极指，所述第二电极指与所述第一电极指相邻，所述第二电极指与所述第一电极指的连接部位于所述第一电极指的主体部的同侧；在声波的传播方向上，所述第一电极指的连接部的中心线与所述第二电极指的第一部分的中心线之间的间距为l1，其中，0＜l1＜λ/2，所述第一部分位于所述有源区。
5.根据权利要求1-3任一项所述的谐振器，其特征在于，在两个所述汇流条的排布方向上，所述电极指的中间部与其相邻的电极指的主体部不重叠。
6.根据权利要求1-3任意一项所述的谐振器，其特征在于，所述连接部的延伸方向与声波的传播方向的夹角为θ，其中，21.8°＜θ＜158.2°。
7.根据权利要求6所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器还包括导电结构，所述导电结构与连接于同一所述汇流条上的所述电极指连接；所述导电结构位于所述有源区与所述中间部之间的区域，且与所述有源区和所述中间部间隔设置。
8.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器还包括温度补偿层，所述温度补偿层覆盖所述叉指换能器。
9.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，在所述压电基底厚度方向上，所述压电基底包括叠...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜波，陈鹏，王华磊，倪建兴，
申请(专利权)人：锐石创芯重庆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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