【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频滤波，尤其涉及一种弹性波装置、射频前端模组和弹性波装置的制备方法。
技术介绍
1、射频滤波器可用于发射和接收讯号，是移动通信射频前端的核心部件之一，在雷达、通信、导航等领域具有及其广泛的应用前景。射频滤波器一般可分为声学滤波器、晶体滤波器、陶瓷滤波器等，其中声学滤波器作为主流滤波器，分为声表面波(saw)滤波器和体声波(baw)滤波器。
2、在如双工器、多工器等弹性波装置中，往往包括多个不同频段的滤波器，并将多个不同频段的声表面波滤波器集成在同一压电衬底上。但是，各滤波器之间的频率相差较大，容易产生较明显的杂模，导致滤波器性能恶化。
技术实现思路
1、鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种弹性波装置、射频前端模组和弹性波装置的制备方法，其旨在解决目前集成在同一压电衬底上的多个滤波器之间容易产生较明显的杂模，导致滤波器性能恶化的技术问题。
2、为解决上述技术问题，本申请实施例提供一种弹性波装置，包括：
3、压电衬底；
4、设于同一所述压电衬底上的第一滤波元件以及第二滤波元件，所述第一滤波元件和所述第二滤波元件同层设置；
5、第一温度补偿层，所述第一温度补偿层形成于所述压电衬底上，并覆盖所述第一滤波元件和所述第二滤波元件；
6、阻挡层，所述阻挡层位于所述第一温度补偿层远离所述压电衬底的一侧；
7、第二温度补偿层，所述第二温度补偿层位于所述阻挡层远离所述第一温度补偿层的一面，所述第
8、在一些实施例中，所述第二温度补偿层的厚度小于所述第一温度补偿层的厚度。
9、在一些实施例中，定义所述第一温度补偿层的厚度为h1，定义所述第二温度补偿层的厚度为h2，且h2＜0.5*h1。
10、在一些实施例中，所述第一滤波元件和所述第二滤波元件的声波主模均为瑞利模或sh模。
11、在一些实施例中，所述压电衬底为铌酸锂基板，其切型在y-x切向110°-130°范围内或在y-x切向150°-180°范围内。
12、在一些实施例中，所述阻挡层为高声速阻挡层，所述第一滤波元件包括多个第一叉指换能器，所述第二滤波元件包括多个第二叉指换能器，所述第一叉指换能器的谐振区包括第一中间区域，所述第二叉指换能器的谐振区包括第二中间区域，所述阻挡层包括经图形化处理的第一子阻挡层和第二子阻挡层；
13、所述第一子阻挡层和所述第二子阻挡层之间呈间隔设置，所述第一子阻挡层与所述第一中间区域呈相对设置，所述第二子阻挡层与所述第二中间区域呈相对设置。
14、在一些实施例中，所述阻挡层的厚度大于3nm且小于50nm。
15、在一些实施例中，所述阻挡层的材质包括氮化硅、氮氧化硅、氮化铝、氧化铝和碳化硅中的至少一种；和/或，
16、所述阻挡层的刻蚀速率小于所述第二温度补偿层的刻蚀速率。
17、在一些实施例中，所述弹性波装置还包括钝化层，所述钝化层覆盖所述第一滤波元件和所述第二滤波元件，所述钝化层覆盖所述第一滤波元件的部分位于所述第二温度补偿层远离所述第一温度补偿层的一侧，所述钝化层覆盖所述第二滤波元件的部分位于所述阻挡层远离所述第一温度补偿层的一侧。
18、在一些实施例中，所述钝化层材质与所述阻挡层的材质相同；或者，
19、所述钝化层的材质为氮化硅、氮氧化硅或氮化铝。
20、在一些实施例中，所述第一滤波元件的频率小于所述第二滤波元件的频率。
21、在一些实施例中，所述第一滤波元件的中心频率f1和所述第二滤波元件的中心频率f2满足f2/f1>1.05。
22、本申请实施例还提供一种射频前端模组，其包括上述的弹性波装置。
23、本申请实施例还提供一种弹性波装置的制备方法，用于制备上述的弹性波装置，其中，所述制备方法包括：
24、在压电衬底上形成第一滤波元件以及第二滤波元件；
25、在所述压电衬底上形成第一温度补偿层，以覆盖所述第一滤波元件和所述第二滤波元件；
26、在所述第一温度补偿层远离所述压电衬底的一面形成阻挡层；
27、在所述阻挡层上形成第二温度补偿层；
28、通过刻蚀工艺去除所述第二温度补偿层的一部分，以暴露所述阻挡层位于所述第二滤波元件上方的部分。
29、在一些实施例中，所述阻挡层为高声速阻挡层，所述第一滤波元件包括多个第一叉指换能器，所述第二滤波元件包括多个第二叉指换能器，所述第一叉指换能器的谐振区包括第一中间区域，所述第二叉指换能器的谐振区包括第二中间区域；
30、所述阻挡层包括第一子阻挡层和第二子阻挡层，所述第一子阻挡层与所述第一中间区域呈相对设置，所述第二子阻挡层与所述第二中间区域呈相对设置；
31、在所述阻挡层上形成第二温度补偿层的步骤之前，对所述阻挡层位于所述第一滤波元件上的部分进行图形化处理，以形成所述第一子阻挡层，和/或，
32、在去除所述第二温度补偿层的一部分，以暴露所述阻挡层位于所述第二滤波元件上方的部分的步骤之后，对所述阻挡层位于所述第二滤波元件上的部分进行图形化处理，以形成所述第二子阻挡层。
33、在一些实施例中，所述弹性波装置还包括钝化层，在去除所述第二温度补偿层的一部分，以暴露所述阻挡层位于所述第二滤波元件上方的部分的步骤之后，在所述压电基底的上方形成所述钝化层；
34、所述钝化层覆盖所述第一滤波元件和所述第二滤波元件，所述钝化层覆盖所述第一滤波元件的部分位于所述第二温度补偿层远离所述第一温度补偿层的一侧，所述钝化层覆盖所述第二滤波元件的部分位于所述阻挡层远离所述第一温度补偿层的一侧。
35、本申请提供的弹性波装置具有以下有益效果：
36、本申请实施例的弹性波装置中，第一滤波元件上的膜层结构与第二滤波元件上的膜层结构不同，且在压电衬底的厚度方向上，第一滤波元件上覆盖的温度补偿层(第一温度补偿层和第二温度补偿层)厚度大于第二滤波元件上覆盖的温度补偿层(第一温度补偿层)厚度，从而采用不同厚度的温度补偿层分别抑制集成在同一压电衬底上不同滤波元件产生的杂模，进而解决集成在同一压电衬底上不同滤波器容易产生杂散模式难以抑制的问题，提高弹性波装置的性能。
37、同时，由于在第二温度补偿层与第一温度补偿层之间设置阻挡层，使得在刻蚀第二温度补偿层以暴露阻挡层位于第二滤波元件上方的部分时，能够进行有效阻挡，从而第二滤波元件上的第一温度补偿层的表面均匀，进而保证各滤波元件性能的一致性。
38、对阻挡层进行图形化处理后，阻挡层可以起到调控idt端头声速的作用，实现对横向模式的抑制，提高谐振器q值。
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1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述第二温度补偿层的厚度小于所述第一温度补偿层的厚度。
3.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，定义所述第一温度补偿层的厚度为h1，定义所述第二温度补偿层的厚度为h2，且h2＜0.5*h1。
4.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述第一滤波元件和所述第二滤波元件的声波主模均为瑞利模或SH模。
5.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述压电衬底为铌酸锂基板，其切型在Y-X切向110°-130°范围内或在Y-X切向150°-180°范围内。
6.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述阻挡层为高声速阻挡层，所述第一滤波元件包括多个第一叉指换能器，所述第二滤波元件包括多个第二叉指换能器，所述第一叉指换能器的谐振区包括第一中间区域，所述第二叉指换能器的谐振区包括第二中间区域，所述阻挡层包括经图形化处理的第一子阻挡层和第二子阻挡层；
7.如权利要求6所述的弹性波装置，其特征在于，所述阻挡层的厚度大于3nm
8.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述阻挡层的材质包括氮化硅、氮氧化硅、氮化铝、氧化铝和碳化硅中的至少一种；和/或，
9.如权利要求1-8任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述弹性波装置还包括钝化层，所述钝化层覆盖所述第一滤波元件和所述第二滤波元件，所述钝化层覆盖所述第一滤波元件的部分位于所述第二温度补偿层远离所述第一温度补偿层的一侧，所述钝化层覆盖所述第二滤波元件的部分位于所述阻挡层远离所述第一温度补偿层的一侧。
10.如权利要求9所述的弹性波装置，其特征在于，所述钝化层材质与所述阻挡层的材质相同；或者，
11.如权利要求1-8任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述第一滤波元件的频率小于所述第二滤波元件的频率。
12.如权利要求11所述的弹性波装置，其特征在于，所述第一滤波元件的中心频率f1和所述第二滤波元件的中心频率f2满足f2/f1>1.05。
13.一种射频前端模组，其特征在于，包括如权利要求1-12任一项所述的弹性波装置。
14.一种弹性波装置的制备方法，用于制备如权利要求1-12任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述制备方法包括：
15.如权利要求14所述的弹性波装置的制备方法，其特征在于，所述阻挡层为高声速阻挡层，所述第一滤波元件包括多个第一叉指换能器，所述第二滤波元件包括多个第二叉指换能器，所述第一叉指换能器的谐振区包括第一中间区域，所述第二叉指换能器的谐振区包括第二中间区域；
16.如权利要求14所述的弹性波装置的制备方法，其特征在于，所述弹性波装置还包括钝化层，在去除所述第二温度补偿层的一部分，以暴露所述阻挡层位于所述第二滤波元件上方的部分的步骤之后，在所述压电基底的上方形成所述钝化层；
...【技术特征摘要】
1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述第二温度补偿层的厚度小于所述第一温度补偿层的厚度。
3.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，定义所述第一温度补偿层的厚度为h1，定义所述第二温度补偿层的厚度为h2，且h2＜0.5*h1。
4.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述第一滤波元件和所述第二滤波元件的声波主模均为瑞利模或sh模。
5.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述压电衬底为铌酸锂基板，其切型在y-x切向110°-130°范围内或在y-x切向150°-180°范围内。
6.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述阻挡层为高声速阻挡层，所述第一滤波元件包括多个第一叉指换能器，所述第二滤波元件包括多个第二叉指换能器，所述第一叉指换能器的谐振区包括第一中间区域，所述第二叉指换能器的谐振区包括第二中间区域，所述阻挡层包括经图形化处理的第一子阻挡层和第二子阻挡层；
7.如权利要求6所述的弹性波装置，其特征在于，所述阻挡层的厚度大于3nm且小于50nm。
8.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述阻挡层的材质包括氮化硅、氮氧化硅、氮化铝、氧化铝和碳化硅中的至少一种；和/或，
9.如权利要求1-8任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述弹性波装置还包括钝化层，所述钝化层覆盖所述第一滤波元件和所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜波，张璇，王华磊，倪建兴，
申请(专利权)人：锐石创芯重庆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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