一种芯片检验治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片检验治具，包括底座；所述底座上设置有检测平台；探针组件，包括多根半导体探针；直线往复运动组件，包括手柄、曲柄、连杆以及滑动座，所述曲柄一端与所述底座铰接，另一端与所述连杆的一端铰接，所述连杆远离所述曲柄的一端与所述滑动座铰接，所述手柄固设于所述曲柄上，且临近所述曲柄与所述连杆的铰接端；所述探针组件固设于所述滑动座上，待测晶圆放置于所述检测平台，所述扳动所述手柄可带动所述探针组件的检测端向所述检测平台所在方向直线移动，半导体探针与芯片触点接触，实现芯片与测试机连通，进行人工检测。测。测。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片检验治具


[0001]本技术属于芯片检测
，具体地说是涉及一种芯片检验治具。

技术介绍

[0002]由于半导体芯片产品的生产工艺十分繁杂，任何工序的差错都可能导致出现大量产品质量不合格，并对终端应用产品的性能造成重大影响，因此测试对于半导体产品的生产而言至关重要，贯穿半导体产品设计、制造、封装及应用的全过程。成品测试，又称终测，是指对封装完成后的芯片进行功能和电参数测试，保证出厂的每颗芯片的功能和性能指标能够达到设计规范要求。测试时，被测芯片的引脚通过安装在测试座上的探针与测试机的功能模块进行连接，测试机对芯片施加输入信号并采集输出信号，判断芯片功能和性能是否达到设计规范要求；企业大部分都采用分选机配合测试机在线进行检测，但是对于一些小批量的定制芯片，在线检测的成本投入将会很大，为了控制生产成本，就需要通过人工进行芯片检测，为此需要开发一款方便使用、易于维护的检测治具。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种芯片检验治具，其意在解决
技术介绍
中存在的技术问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片检验治具，其特征在于：包括底座；所述底座上设置有检测平台(101)；探针组件(7)，包括多根半导体探针(701)；直线往复运动组件，包括手柄(3)、曲柄(4)、连杆(5)以及滑动座(6)，所述曲柄(4)一端与所述底座铰接，另一端与所述连杆(5)的一端铰接，所述连杆(5)远离所述曲柄(4)的一端与所述滑动座(6)铰接，所述手柄(3)固设于所述曲柄(4)上，且临近所述曲柄(4)与所述连杆(5)的铰接端；所述探针组件(7)固设于所述滑动座(6)上，待测晶圆放置于所述检测平台(101)，扳动所述手柄(3)可带动所述探针组件(7)的检测端向...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林锋，张惠萍，周雅惠，卢翠琳，
申请(专利权)人：浙江天极集成电路技术有限公司，
类型：新型
国别省市：