一种用于晶圆检测的移动载台机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆检测的移动载台机构，涉及移动载台机构技术领域，包括移动组件

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆检测的移动载台机构


[0001]本技术涉及移动载台机构
，尤其涉及一种用于晶圆检测的移动载台机构
。

技术介绍

[0002]圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶，圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆
。
[0003]在现有技术中，在使用过程中，传统的晶圆检测移动载台一般是固定在输送装置上的，不仅高度无法调节，同时不便于对其进行移动，难以对圆晶进行多方位检测，降低了检测时的效率，不便于使用
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决上述现有技术中存在的问题，而提出的一种用于晶圆检测的移动载台机构
。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括移动组件
、
检测组件和底座组件；所述移动组件包括滑动板，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在于，包括移动组件（1）
、
检测组件（2）和底座组件（3）；所述移动组件（1）包括滑动板（
101
），所述滑动板（
101
）的上表面安装有两组固定块（
102
），两组所述固定块（
102
）的一侧安装有两个滑动杆（
103
），两个所述滑动杆（
103
）的一侧安装有两组滑动块（
104
），两组所述滑动块（
104
）的一侧安装有两个连接杆（
105
），两个所述滑动块（
104
）的顶部安装有两组电动伸缩杆（
106
），两个所述连接杆（
105
）的一侧安装有横杆（
107
），所述滑动板（
101
）的上表面安装有垫板（
108
），所述垫板（
108
）的上表面放置有电机（
109
），所述电机（
109
）的输出端安装有螺纹杆（
110
）；所述检测组件（2）包括横板（
201
），所述横板（
201
）的上表面安装有两个支撑板（
202
），两个所述支撑板（
202
）的一侧安装有两组连接块（
203
），两组所述连接块（
203
）的一侧安装有两组减震弹簧（
204
），两组所述减震弹簧（
204
）的外表壁上安装有两组减震块（
205
），两组所述减震块（
205
）的一侧安装有两个固定板（
206
）
。2.

【专利技术属性】
技术研发人员：仇旭东，陈林锋，周雅惠，王苏成，
申请(专利权)人：浙江天极集成电路技术有限公司，
类型：新型
国别省市：