一种晶圆表面处理装置制造方法及图纸

本技术提供一种晶圆表面处理装置，涉及晶圆加工技术领域，包括输送机构，所述输送机构的顶部固定安装有清洁机构。本技术在使用中，通过在清洁机构的作用下，当需要对晶圆的表面进行处理时，首先把晶圆运输到清洗箱内部，然后通过在声波发生器的作用下对晶圆表面进行清洁，完成清洁后再把晶圆输送到烘干箱内部，并通过在加热管的作用下对晶圆进行烘干处理，同时在第二电机的作用下带动扇叶旋转，使烘干箱内部的空气运动的更快，从而可以快速对晶圆进行烘干处理，通过上述结构和方法就可以对晶圆进行清洗和烘干处理，极大的减少了工作人员的搬运，从而提高了装置的工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆加工，尤其涉及一种晶圆表面处理装置。

技术介绍

1、随着半导体行业的发展，晶圆规格逐渐从以6寸为主发展为以8寸为主，与此同时，晶圆的制成设备也更新换代。目前，市场上主流的晶圆刻蚀设备是lam2300，该刻蚀设备的优势在于能够以12寸的条件刻蚀8寸的晶圆，但干法刻蚀工艺对于晶圆刻蚀表面的颗粒及离子的数量有一定要求。

2、现有技术中，晶圆在生产过程中需要经过多种不同的工序如清洗、烘干、打磨抛光，但大多的晶圆处理装置只能对晶圆进行单一的处理，无法在同一装置上完成对晶圆的多种处理，导致需要人工对完成处理的晶圆进行搬运，这样不仅会增加工作人员的劳动强度，还会影响晶圆处理的工作效率。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决上述设备在使用时，由于无法在同一装置上对晶圆进行多种处理，导致在对晶圆处理过程中会出现工作效率低的问题，从而提出的一种晶圆表面处理装置。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶圆表面处理装置，包括输送机构，所述输送机构的顶部固定安装有清洁机构，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆表面处理装置，其特征在于：包括输送机构(1)，所述输送机构(1)的顶部固定安装有清洁机构(2)，所述输送机构(1)的顶部固定安装有打磨机构(3)；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面处理装置，其特征在于：所述打磨机构(3)包括有打磨箱(301)，所述打磨箱(301)的内表壁固定安装有两组固定板(302)，两组所述固定板(302)的外表壁均开设有一组插设槽(303)，两组所述插设槽(303)的内表壁之间均活动插设有打磨轮(304)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆表面处理装置，其特征在于：两个所述打磨轮(304)的外表壁均固定套设有连接装置(305)...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆表面处理装置，其特征在于：包括输送机构(1)，所述输送机构(1)的顶部固定安装有清洁机构(2)，所述输送机构(1)的顶部固定安装有打磨机构(3)；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面处理装置，其特征在于：所述打磨机构(3)包括有打磨箱(301)，所述打磨箱(301)的内表壁固定安装有两组固定板(302)，两组所述固定板(302)的外表壁均开设有一组插设槽(303)，两组所述插设槽(303)的内表壁之间均活动插设有打磨轮(304)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆表面处理装置，其特征在于：两个所述打磨轮(304)的外表壁均固定套设有连接装置(305)，两个所述连接装置(305)的外壁一侧均固定连接有第三电机(306)，所述打磨箱(301)的内表壁固定安装有电磁铁(307)，所述打磨箱(301)的内表壁固定安装有电源(308)，且电源(308)的输出端和输入端与电磁铁(307)的输入端和输出端通过电性连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆表面处理装置，其特征在于：所述输送机构(1)包括有工作台(101)，所述工作台...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈旻，宋家伟，刘世兵，
申请(专利权)人：浙江天极集成电路技术有限公司，
类型：新型
国别省市：