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本技术提供一种晶圆表面处理装置，涉及晶圆加工技术领域，包括输送机构，所述输送机构的顶部固定安装有清洁机构。本技术在使用中，通过在清洁机构的作用下，当需要对晶圆的表面进行处理时，首先把晶圆运输到清洗箱内部，然后通过在声波发生器的作用下对晶圆表...
该专利属于浙江天极集成电路技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江天极集成电路技术有限公司授权不得商用。

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