一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，包括环形水管和喷头，所述环形水管的内侧安装固定有喷头，且环形水管的后端顶面设置有对接管头，所述环形水管的外表面安装有限位凸球块，且限位凸球块之间安装有角度调整圆环，并且角度调整圆环套接安装在环形水管的外侧，所述角度调整圆环上安装有衔接直杆，且衔接直杆的外侧套接安装有组装调节套筒。该用于晶圆研磨抛光的辅助设备，可通过环形水管外表面设置的限位凸球块，可对角度调整圆环的位置进行定位，避免角度调整圆环在环形水管上发生晃动，同时角度调整圆环可在环形水管上旋转，可对环形水管和喷头的安装角度位置进行合适调整。适调整。适调整。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备


[0001]本技术涉及晶圆研磨抛光处理
，具体为一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备。

技术介绍

[0002]在需要对晶圆组件进行研磨抛光的工序时，整体进行研磨过程中会产生杂质，需要通过辅助设备对晶圆研磨抛光过程中的杂质处理，但是目前市场上的用于晶圆研磨抛光的辅助设备还是存在以下的问题：
[0003]一般对晶圆研磨抛光加工过程中产生的杂质，通过喷洒水进行抑制和清理的工作，同时可增加研磨的顺畅性，但是整体的辅助设备进行组装衔接时，不能根据晶圆研磨抛光区域的情况进行合适的调整。
[0004]针对上述问题，在原有的用于晶圆研磨抛光的辅助设备的基础上进行创新设计。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，以解决上述
技术介绍
中提出的目前市场上常见的用于晶圆研磨抛光的辅助设备，一般对晶圆研磨抛光加工过程中产生的杂质，通过喷洒水进行抑制和清理的工作，同时可增加研磨的顺畅性，但是整体的辅助设备进行组装衔接时，不能根据晶圆研磨抛光区域的情况进行合适的调整的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，包括环形水管和喷头，所述环形水管的内侧安装固定有喷头，且环形水管的后端顶面设置有对接管头，所述环形水管的外表面安装有限位凸球块，且限位凸球块之间安装有角度调整圆环，并且角度调整圆环套接安装在环形水管的外侧，所述角度调整圆环上安装有衔接直杆，且衔接直杆的外侧套接安装有组装调节套筒。
[0007]优选的，所述喷头在环形水管上等角度分布。
[0008]优选的，所述对接管头与环形水管为一体化结构设置，且对接管头与环形水管的内部空间相互连通。
[0009]优选的，所述限位凸球块与环形水管为一体化结构设置，且限位凸球块在环形水管上等角度对称分布。
[0010]优选的，所述角度调整圆环与环形水管的连接方式为转动连接，且角度调整圆环与限位凸球块的连接方式为贴合连接。
[0011]优选的，所述衔接直杆与角度调整圆环的连接方式为焊接固定。
[0012]优选的，所述衔接直杆与组装调节套筒的连接方式为螺纹连接，且组装调节套筒的外表面为螺纹状结构设置。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该用于晶圆研磨抛光的辅助设备，
[0014]1、可通过环形水管外表面设置的限位凸球块，可对角度调整圆环的位置进行定
位，避免角度调整圆环在环形水管上发生晃动，同时角度调整圆环可在环形水管上旋转，可对环形水管和喷头的安装角度位置进行合适调整；
[0015]2、组装过程中，可根据需要安装的高度，对组装调节套筒进行旋转，使得组装调节套筒在衔接直杆上进行旋转移动，同时组装调节套筒外表面为螺纹状结构设置，方便进行安装固定。
附图说明
[0016]图1为本技术整体立体结构示意图；
[0017]图2为本技术图1中A处放大结构示意图；
[0018]图3为本技术环形水管立体结构示意图；
[0019]图4为本技术角度调整圆环和角度调整圆环立体结构示意图。
[0020]图中：1、环形水管；2、喷头；3、对接管头；4、限位凸球块；5、角度调整圆环；6、衔接直杆；7、组装调节套筒。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，包括环形水管1和喷头2，环形水管1的内侧安装固定有喷头2，且环形水管1的后端顶面设置有对接管头3，环形水管1的外表面安装有限位凸球块4，且限位凸球块4之间安装有角度调整圆环5，并且角度调整圆环5套接安装在环形水管1的外侧，角度调整圆环5上安装有衔接直杆6，且衔接直杆6的外侧套接安装有组装调节套筒7。
[0023]喷头2在环形水管1上等角度分布，通过喷头2在环形水管1上的分布，可进行均匀的喷洒，可对晶圆研磨抛光进行辅助工作。
[0024]对接管头3与环形水管1为一体化结构设置，且对接管头3与环形水管1的内部空间相互连通，有利于通过对接管头3与外界水管进行固定，可对环形水管1内部进行输水。
[0025]限位凸球块4与环形水管1为一体化结构设置，且限位凸球块4在环形水管1上等角度对称分布，可通过限位凸球块4在环形水管1上的分布，利于后续对角度调整圆环5的限制。
[0026]角度调整圆环5与环形水管1的连接方式为转动连接，且角度调整圆环5与限位凸球块4的连接方式为贴合连接，角度调整圆环5可在环形水管1上旋转，可进行安装过程中的角度调整。
[0027]衔接直杆6与角度调整圆环5的连接方式为焊接固定，角度调整圆环5可带动衔接直杆6进行角度调整，方便进行嫁接。
[0028]衔接直杆6与组装调节套筒7的连接方式为螺纹连接，且组装调节套筒7的外表面为螺纹状结构设置，通过对组装调节套筒7的旋转，可使组装调节套筒7在衔接直杆6上旋转移动，方便对安装高度调整，同时组装调节套筒7的外表面可与外界螺孔组装固定。
[0029]工作原理：根据图1
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4，当需要进行安装工作时，可将环形水管1套在晶圆研磨抛光范围的外侧，然后根据需求可对组装调节套筒7和衔接直杆6拨动，使得衔接直杆6带动角度调整圆环5通过限位凸球块4在环形水管1上平稳的旋转，可进行不同方位调整，方便进行安装，通过对组装调节套筒7的旋转，使组装调节套筒7在衔接直杆6上进行旋转移动，方便后续组装调节套筒7与外界螺纹孔的螺纹组装固定工作，整体的组装可灵活的调整，完成安装稳固后，可将外界水管与对接管头3组装对接，可对环形水管1的内部进行输水，通过喷头2进行均匀的喷洒，可对后续晶圆研磨抛光进行辅助的清理工作，以上便是整个装置的工作过程，且本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
[0030]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，包括环形水管(1)和喷头(2)，其特征在于：所述环形水管(1)的内侧安装固定有喷头(2)，且环形水管(1)的后端顶面设置有对接管头(3)，所述环形水管(1)的外表面安装有限位凸球块(4)，且限位凸球块(4)之间安装有角度调整圆环(5)，并且角度调整圆环(5)套接安装在环形水管(1)的外侧，所述角度调整圆环(5)上安装有衔接直杆(6)，且衔接直杆(6)的外侧套接安装有组装调节套筒(7)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，其特征在于：所述喷头(2)在环形水管(1)上等角度分布。3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆研磨抛光的辅助设备，其特征在于：所述对接管头(3)与环形水管(1)为一体化结构设置，且对接管头(3)与环形水管(1)的内...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄红，宋家伟，陆海彪，
申请(专利权)人：浙江天极集成电路技术有限公司，
类型：新型
国别省市：